Устройство для автоматического регулирования электронно- лучевой термической установки

 

Сущность изобретения: устройство содержит источник питания анода, тиристорный регулятор, повышающий трансформатор, высоковольтный выпрямитель, регулятор тока, регулятор мощности, умножитель и блок питания катода. Вход источника питания анода соединен с выходом регулятора тока, выполненного с отсечкой, за счет этого в рабочем режиме обеспечивается стабилизация тока в нагрузке и при технологических к.з. Источник не отключается, а становится под заданную токовую отсечку. 1 ил.

СО|ОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОГ1ИСЛНИЕ ИЗОЫРЕтЕНИЯ,|

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4810357/07 (22) 04.04.90 (46) 15.09.92.Бюл.М 34 (71) Узбекский комбинат тугоплавких и жаропрочных металлов им,50-летия СССР и

Государственный проектный институт

"Цветметэлектропроект" (72) А,M,Òóðåâñêèé, Д,A,Ñòðåëåöêèé и

С,M.Ìèõàéëoâ (56) Авторское свидетельство СССР М

469164, кл. Н 01 F 3/30, 1975, Авторское свидетельство СССР f4

225347 кл. Н 05 В 7/00, 196S.

Изобретение относится к специальной области электротехники, к электронно-лучевым устройствам для местной обработки объектов, например. зонной плавке и может быть использовано при получении монокристаллав тугоплавких металлов.

Целью изобретения является повышение стабильности технологического процесса путем введения обратной связи по току луча.

На чертеже представлена функциональная схема, поясняющая работу устройства, где 1 —; 2 — источник питания катода; 3 — датчик мощности луча; 4 — датчик тока луча: 5 — блок сравнения; 6 — блок задания; 7 — регулятор тока с отсечкой.

Устройство для автоматического регулирования электронно-лучевой термиче, RI„„1762423 А1 (sI)s Н 05 В 7/00, Н 01 J 37/30 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ (57) Сущность изобретения: устройство содержит источник питания анода, тиристорный регулятор. повышающий трансформатор, высоковольтный выпрямитель, регулятор тока, регулятор мощности, умножитель и блок питания-катода. Вход источника питания анода соединен с выходом регулятора тока. выполненного с отсечкой, за счет этого в рабочем режиме обеспечивается стабилизация тока в нагрузке и при технологических к.з. Источник не отключается, а становится под заданную токовую отсечку. 1 ил. ской установкой работает следующим образом.

Сигнал задания така (J»g, поступающий с блока 6 в блок сравнения 5 сравнивается с сигналом обратной связи по току (Joc) поступающим с датчика тока 4. Сигнал рассогласования подается на регулятор тока с отсечкой 7. Наличие этого регулятора в устройстве позволяет, с одной стороны, осуществлять стабилизацию тока при возмущающих воздействиях, и, с другой стороны, ограничить величину тока луча при коротких замыканиях в установке, изменяя выходное напряжение источника питания анода 1, Кроме этого, устройство содержи систему стабилизации мощности, состоящую из датчика мощности 3 и блока питания катода 2, Таким образом, в устройстве осуществляется стабилизация всех электрических

1762423

Составитель Е.Косарев

Техред M.Ìoðlåíòàë Корректор Н,внучок

Редактор

Заказ 3266 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 параметров процесса: мощности. тока луча и анодного напряжения, поскольку последнее при постоянстве мощности и тока также будет неизменным, Использование устройства повышает качество выпускаемой продукции, увеличивает производительность установки и экономию электроэнергии, Формула изобретения

Устройство для автоматического регулирования электронно-лучевой термической установки, содержащее источник питания анода, источник питания катода, управляющий вход которого соединен с выходом датчика мощности луча. о т л и ч а ю -щ е е с я тем. что, с целью повышения стабильности технологического процесса

5 путем введения обратной связи по току луча. оно дополнительно содержит датчик тока луча, блок сравнения. регулятор тока с отсечкой и блок задания. выход которого соединен с первым входом блока сравне1О ния, второй вход которого соединен " выходом датчика тока луча, а выход через регулятор тока с отсечкой — с управляющим входом источника питания анода.

Устройство для автоматического регулирования электронно- лучевой термической установки Устройство для автоматического регулирования электронно- лучевой термической установки 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электротехнике

Изобретение относится к технологии .электронноили ионно-лучевого контроля и восстановления микроэлектронных структур и может быть использовано при произИзобретение относится к технологии электронноили ионно-лучевого контроля и восстановления микрозлектронных структур и может быть использовано при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к электроннооптическим и ионно-оптическим устройствам с изменяемой формой сечения пучка и может быть использовано в установках электроннои ионно-лучевой литографии

Изобретение относится к бесконтактным методам измерения тока

Изобретение относится к элионной технике, в частности к электронному облучению мишени,и может быть использовано, в частности, в эле- .-лучевых приборах для микролитографического структурирования тонких слоев при изготовлении конструктивных элементов с размерами в субмикронном диапазоне

Изобретение относится к изготовлению прецизионных поверхностей изделий и позволяет повысить точность обработки изделий

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела и микрогеометрии поверхности

Изобретение относится к электротехнике

Изобретение относится к области электротехники, а именно к электромагнитным устройствам развертки пучка, которые используются для облучения различных объектов
Наверх