Установка для мойки и сушки изделий

 

Использование: для промывки при производстве изделий электронной техники. Сущность изобретения: установка содержит камеру с обечайкой, внутри которой размещены кассетодержатели. Установка снабжена опорными втулками с горизонтальными осями, толкателями, соединенными с приводом вертикального перемещения .Кассетодержатели установлены на осях с возможностью перемещения по дуге. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s В 08 В 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4883940/12 (22) 20.11.90 (46) 23.09.92. Бюл. М 35 (71) Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (72) П,ll.Çóáåíêo, А.А.Завалишин, И.И.Поярков и Д.Г.Смирнова (56) Патент Франции N 2559688, кл. В 08 В 3/02, 1985, (54) УСТАНОВКА ДЛЯ МОЙКИ И СУШКИ

ИЗДЕЛИЙ

Изобретение касается очистки поверхности плоских изделий и может быть использовано при производстве изделий электронной техники, в частности при отмывке и сушке полупроводниковых пластин.

Известна установка для отмывки и сушки пластин, содержащая ванну с крышкой, на которой укреплен распылитель (форсунка), который в процессе работы установки находится в центре центрифуги (кассетодержателя) (1). Кроме того, по периферии кассетодержателя также установлены форсунки для подачи жидкости и осушающего агента, Пластины в кассетодержателе установлены горизонтально, поток жидкости направлен вдоль плоскости пластины и омывает ее с двух противоположных сторон.

Недостатком известного устройства является низкое качество отмывки и сушки изделий ввиду того, что затруднена промывка периферийных участков (углов).

Из известных наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является установка для мойки и сушки изделий, содержащая рабочую камеру обработки с крышкой, внутри которой раэмеще„„5U „„1763055 А1 (57) Использование: для промывки при производстве изделий электронной техники.

Сущность изобретения: установка содержит камеру с обечайкой, внутри которой размещены кассетодержатели. Установка снабжена опорными втулками с горизонтальными осями, толкателями, соединенными с приводом вертикального перемещения. Кассетодержатели установлены на осях с возможностью перемещения по дуге. 3 ил. ны сопла (распылительные насадки) для рас- Я пыления жидкости (могут быть размещены в центре ванны или на крышке), сопла (коллектор) для подачи осушающего агента (азота), кассетодержатели, жестко .закрепленные в обечайке под углом к горизонтальной плоскости, размещенной в центре ванны и привод вращения обечайки.

Держатель выполнен в виде ковша, одна из сторон которого (меньшая, противоположная "ручке") закреплена с возможностью пе- О с ремещения по горизонтали (в днище ковша) () для обеспечения возможности обработки различных типоразмеров пластин (2). ц

Загрузка изделий в камеру обработку осуществляют вручную, При известной форме кассетодержателя практически невозможно реализовать автоматическую перегрузку кассет с изделиями, что ограничивает эксплуатационные возможности устройства, не позволяет широко применять его в гибком автоматизированной производстве.

Целью изобретения является устранение укаэанного недостатка. а именно повышение удобства эксплуатации.

1763055

Цель изобретения — повышение удобства эксплуатации, На фиг, 1 схематично представлена установка для мойки и сушки; на фиг, 2 — вид по стрелке А на фиг.1; на фиг, 3 — то же, в 5 момент перегрузки, Установка для мойки и сушки изделий содержит рабочую камеру 1 с крышкой 2, на которой размещены форсунки 3, соединенные магистралями 4,5 подачи моющей жид- 10 кости и сушильного агента соответственно, кассетодержатели 6,7, закрепленные в обечайке 8 под углом к оси камеры 1 (к горизонтальной плоскости), привод вращения обечайки 8 в виде ременной передачи 9, 15 соединенной с электроприводом 10, В дне камеры 1 предусмотрен отвод 11 отработанной жидкости. На обечайке 8 имеются ограничители 12 хода кассетодержателей 6,7 . при сушке. В дне камеры 1 под каждым 20 кассетодержателем 6,7 установлены толкатели 18, соединенные с механизмом вертикального перемещения 19 и обеспечивающие возможность перевода кассетодержателей в горизонтальное поло- 25 жение. В обечайке 8 имеются дополнительные форсунки 20 для промывки кассетодержателей 6,7, Кассетодержатели

6,7 установлены на горизонтальных осях 13 и опорных втулках 14, 15. которые закрепле- 30 ны в кронштейнах 16.17. Оси 13 смещены от центра тяжести кассетодержателей и о6еспечивают исходное положение их под углом

30.„40 к горизонтальной плоскости.

Таким образом. за счет обеспечения изменения положения изделий в одном объеме из наклонного(под углом к горизонтали) при мойке в положение, параллельное горизонтальной плоскости при сушке. стало возможным повышение удобства эксплуатации.

Формула изобретения

Установка для мойки и сушки изделий, содержащее рабочую камеру с крышкой, размещенные в ней сопла, связанные с магистралями подачи моющей жидкости и сушильного агента. кассетодержатели, закрепленные в обечайке под углом к горизонтальной плоскости, и привод вращения обечайки, отличающаяся тем, что, с целью повышения удобства эксплуатации, кассетодержатели в обечайке установлены свободно посредством осей, смещенных относительно центров тяжести кассетодержателей, а камера снабжена приводными толкателями, смонтированными в дне ванны с возможностью периодического взаимодействия с соответствующими кассетодержателями для поворота последних относительно осей.

1763055

1763055

Составитель Т. Киселева

Техред М.Моргентал Корректор С, Юско

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3409 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5