Способ изготовления носителя магнитной аудиозаписи
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных магнитных аудиолент методом термического напыления рабочего слоя под углом к основе. С целью повышения качества магнитной ленты , подслой InGa напыляют под углом, равным углу пыления пленки, при этом в качестве разделительного слоя используют хром. 1 ил.
СОЮЗ COBE T СКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4886907/10 (22) 30.11.90 (46) 23.11.92. Бюл. N. 43 (71) Институт проблем управления (72) С.И.Касаткин и B.B.Ìàëüöåâ (56) Патент Японии М 60- 237625 кл. G 11 В 5/85, 1986. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НОСИТЕЛЯ
МАГНИТНОЙ АУДИОЗАПИСИ
Изобретение относится к области магнитной записи и может быть использовано при изготовлении носителя магнитной записи на гибкой основе, в частности магнитных лент для звукозаписи.
Известен способ изготовления носителя магнитной записи из Со-Ni для звукозаписи путем наклонного напыления и использования в качестве разделительного слоя — алюминий.
Этотспособ позволяет получить магнитный носитель с приемлемыми характеристиками для звукозаписи. Однако пленки из
Co — Ni. обладают недостатками для звукозаписи, в первую очередь, имеют нелинейную амплитудно-частотную характеристику. Использование алюминия не приводит к увеличению. коэрцитивной силы носителя, к тому же он обладает не наилучшей адгезией.
Известен способ изготовления носителя магнитной записи, заключающийся в напылении FeN пленки электронно-лучевым испарением Fe и ионами азота, Пленки FeN обладают хорошими техническими характеристиками и коррозионной стойкостью.
„„ Ы„„1777171 А1 (57) Изобретение относится к приборостроению и может быть. использовано при изготовлении тонкопленочных магнитных аудиолент методом термического напыления рабочего слоя под углом к основе. С целью повышения качества магнитной ленты, подслой InGa напыляют под углом, равным углу пыления пленки, при этом в качестве разделительного слоя используют хром. 1 ил.
Недостатком данного способа является существенное усложнение конструкции вакуумной камеры.
Известен и наиболее близок к технической сущности способ изготовления носителя магнитной записи, заключающийся в прямом (перпендикулярно к основе) напылении на гибкую основу подслоя InGa или других сплавов галия и магнитной пленки
Со, Ni, Fe или их сплавов. Достоинством данного способа является высокая эффективность процесса изготовления носителя, недостаток — трудности, связанные с жесткими требованиями к напылению подслоя, очистке основы, оборудованию.
Цель изобретения — повышение качества носителя магнитной аудиозаписи.
Указанная цель достигается тем, что в способе изготовления носителя магнитной аудиозаписи, заключающемся в напылении на гибкую диэлектрическую основу в атмосфере азота подслой InGa толщиной 10-20 нм, с последующим напылением магнитной пленки FeN толщиной 30-50 нм под углом не менее 50 относительно нормали к осноо ве, на которую напыляюсь разделигельный слой толщиной 10 — 20 нм под углом, равным углу пыления магнитной пленки, причем
1777171 этот процесс пыления трех слоев повторяют от трех до пяти раз, после окончания которого наносят защитный слой, отличающийся тем, что подслой InGA напыляют под углом, равным углу пыления пленки, а в ка- 5 честве материала разделительного слоя используют хром.
Существенными отличительными признаками в указанной выше совокупности являются напыление подслоя InGa под углом 10 к основе, равным углу пыления магнитной пленки и использование хрома в качестве разделительного слоя.
Указанные выше признаки; отличающие заявляемый способ изготовления носи- 15 теля магнитной записи, обусловили появление в заявляемом объекте нового свойства: увеличение коэрцитивной силы и улучшение электроакустических характеристик, что позволяет уменьшить угон напы- 20 ления и предопределяет положительный эффект предложения.
На чертеже приведена схема поэтапного изготовления носителя магнитной записи. 25
Носитель магнитной записи состоит из немагнитной основы 1, на которую напылен подслой imga 2. На подслой напылена магнитная FeN пленка 3, на которую напылен разделительный слой хрома 4. Сверху маг.— 30 нитную ленту закрывает защитный слой 5.
Предложенный способ осуществляется, следующим образом.
На тщательно очищенную и обезжиренную диэлектрическую основу 1 под углом 35 не менее bU". по нормали к основе вакуумно напыляются подслой Ьба 2 толщиной 1020 нм, на который напыляются под тем же углом магнитная пленка FeN 3 толщиной
30 — 59 нм и разделительный слой хрома тол- 40 щиной 10-20 нм. Bce процессы пыления проводятся в атмосфере азота и без вскрытия вакуумной .камеры. Процессы напыления этих трех слоев могут повторяться до пяти раз. Данную структуру закрывает за- 45 щитный слой 5.
Использование подслоя InGa позволяет резко ослабить один из существенных недостатков пленок — необходимость достаточно больших углов пыления для получения на- 50 правления намагниченности пленок вдоль ленты и требуемых значений коэрцитивной силы. Наличие подслоя InGa приводит (в случае вертикального пыления) к получению изотропных магнитных пленок практически независимо от угла пыления, а при наклонном пылении — к появлению некоторой анизотропии вдоль ленты. Таким образом, введение подслоя InGa позволяет получать магнитные пленки FeN с,требуемым значением коэрцитивной силы при меньших углах пыления, что увеличивает эффективность, процесса.
Использование хрома в качестве разделительного слоя позволяет улучшить две ха- . рактеристики: адгезию слоев и несколько повысить коэрцитивную силу. Дело в том, что процесс пыления представляет собой определенные трудности в связи с черезвычайно малыми температурами плавления и пыления, подслой обладает низкой адгезией, высокими диффузионными свойствами, что ухудшает магнитные свойства пленок. Использование хрома уменьшает эти недостатки лучше чем использование, например, алюминия.
Использование предлагаемого изобретения позволяет уменьшить угол пыления на величинудо 10О, что существенно повышает эффективность процесса, т.е. предельные параметры процесса пыления, что приводит к упрощению установки напыления, самого процесса.,напыления и, в конечном счете, к удешевлению продукции.
Формула изобретения
Способ изготовления носителя магнитной аудиозаписи, заключающийся в напылении на гибкую диэлектрическую основу в атмосфере азота подслоя InGa толщиной
10-20 нм, с последующим напылением магнитной пленки FeNI, толщиной 30-50 нм.и под углом не менее50 относительно нормали к основе, на которую напыляют разделительный слой толщиной 10 — 20 нм под углом, равным углу пыления магнитной пленки, причем этот процесс напыления трех слоев повторяют от 3 до 5 раз, после окончания которого наносят защитный слой, отличающийся тем, что, с целью повышения качества, подслой inGa напыляют под углом, равным углу пыления пленки, при этом в качестве разделительного слоя используют Cr, 1777171
Составител ь С. Касаткин
Техред М.Моргентал Корректор Н.Тупица
Редактор
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Заказ 4124 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
