Вакуумная система течеискателя

 

Использование: контрольно-измерительные вакуумные приборы. Сущность: вакуумная система содержит механический насос 1, паромаслян ый насос 2, азотную ловушку 4, масс-спектрометрическую камеру 8, вакуумные клапаны 3, 6 и 7, термодатчики 11 и 12 и устройство подачи теплового или пневматического потока в криогенный сосуд 5 ловушки 4. Термодатчики 11 и 12 размещены в нижней части криогенного сосуда 5 на различных высотах, соответствую

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (192 (112 (s1>s G 01 М 3/02

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ4-К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4914754/28 (22) 27,02.91 (46) 07,12.92. Бюл. гл 45 (72) А.Л. Гусев (56) Авторское свидетельство СССР

N. 1244396, кл. F 04 F 9/00, 1985.

Течеискатель гелиевый ПТИ вЂ” 10. Паспорт 1983. (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ (57) Использование: контрольно-измерительные вакуумные приборы. Сущность: вакуумная система содержит механический насос 1, паромасляный насос 2, азотную ловушку 4, масс-спектрометрическую камеру 8, вакуумные клапаны 3, 6 и 7, термодатчики 11 и 12 и устройство подачи теплового или пневматического потока в криогенный сосуд 5 ловушки 4. Термодатчики 11 и 12 размещены в нижней части криогенного сосуда 5 на различных высотах, соответствую1779961 щих уровню предупреждения и критическому уровню. Чувствительные элементы термодатчиков 11 и 12 выполнены в виде оболочек 14, охватывающих постоянные магниты 15 и изготовленных из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости. Вблизи чувствительных элементов размещены магнитоуправляемые контакты — герконы 16, один из которых связан с регистрирующей, суммирующей и командной аппаратурой 17 — 19 воздействия на электроИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям средств испытаний изделий на герметичность.

Известна вакуумная система течеискателя, содержащая механический насос с напускным клапаном, паромасляный насос, выход которого подключен при помощи магистрали с электромагнитным клапаном к входу механического насоса, и азотную ловушку с сосудом для хладагента, подключенную через дроссельный клапан к входу паромасляного насоса, а при помощи байпасной магистрали с запорными вентилями и масс — спектрометрической камерой — к входу механического насоса. Кроме того, система содержит магистраль с запорным электромагнитным клапаном, подсоединенную к полости сосуда для хладагента и паромасляному насосу, а дроссельный клапан снабжен электромагнитным приводом с регулируемой частотой включения. Подключение системы к испытуемому изделию осуществляется при помощи входной магистрали с контрольной гелиевой.течью. Изобретение позволяет уменьшить время останова течеискателя путем интенсификации охлаждения паромасляного насоса, Однако во время работы течеискателя при испарении криоагента понижается его уровень, и верхние части сосуда и вакуум— провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств ловушки и деконденсация с отогретых поверхностей ранее сконденсировавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый объем, загрязняют его и ухудшают вакуум, Кроме того, сильно загрязняются катод и магнитный вакуумный датчик, что приводит к существенным флюктуациям показаний

40 магнитный клапан 7, расположенный между масс — спектрометрической камерой 8 и азотной ловушкой 4, а также на системы 20 и 22 электропитания катода 21 и магнитного вакуумного датчика 23. Кроме того, на дне сосуда 5 установлен дополнительный термодатчик 24, связанный с регистрирующей командной аппаратурой 19 воздействия на коммутационное устройство 25 подачи теплового или пневматического потока в криогенный сосуд. 1 с. и 2 з. и. ф., 1 ил. последнего и большим погрешностям измерений, Загрязнение раскаленной нити катода может привести к перегоранию катода, Все это сильно снижает надежность в работе катода и магнитного вакуумного датчика, уменьшает время межрегламентного периода, снижает точность измерений, существенно повышает эксплуатационные и трудозатраты при работе с течеискателем. Известна форвакуумная криогенная ловушка, содержащая сосуд Дьюара и трубу для прохода откачиваемого газа, установ-ленную по оси сосуда Дьюара. Наружная поверхность трубы покрыта слоем пористого теплопроводного материала, например спекаемым бронзовым порошком, В этом изобретении слой пористого материала увеличивает теплообменную поверхность трубы, а за счет капиллярности обеспечивает смачивание хладагентом всей трубы независимо от уровня хладагента в сосуде Дьюара, что повышает эффективность работы ловушки. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что негативно сказывается на функционировании приборов, размещенных в масс-спектрометрической камере течеискателя.

Известна охлаждаемая сорбционная ловушка, содержащая корпус с помещенными в него кольцевым медным сосудом для жидкого хладагента с антимиграционным барьером и сорбирующими элементами, причем к нижней части кольцевого сосуда герметично прикреплен патрубок, покрытый слоем сорбента — катализатора, например окисью титана, При отсутствии жидкого хладагента в кольцевом сосуде пары масла, мигрируя по стенкам ловушки, попадают на патрубок, покрытый слоем сорбента-ката5

15

20 лизатора, разлагаются на легкие фракции и откачиваются диффузионным насосом. Однако при испарении всего хладагента в сосуде Дьюара происходит резкое ухудшение защитных свойств ловушки, что отрицательН0 сказывается на функциональных и эксплуатационных характеристиках масс — спектрометрического течеискателя.

Известно устройство для охлаждения элемента, расположенного в вакуумируемом обьеме, например для захолаживания ловушки диффузионного насоса, содержащее средство, установленное снаружи объема и теплоизолираванное вакуумируемым кожухом; эти средства соединены с охлэждаемым элементом так,чтобы от него можно было отводить тепло. Кроме того, оно содержит теплоотводящее соединение, образованное охлаждающим стержнем, составляющим одно целое с охлаждающим средством. Теплоотводящее соединение вводится в абьем через трубчатую, деталь, отходящую от вакуул1ируемаго кожуха, и соединяется с обьемом так, что вакуумный обьем, и ко>кух соединяется друг с другом.

Трубчатая деталь снабжена вакуум — плотным фланцем, соединяющимся с подобным фланцем на вакуумируемом обьеме. Охлаждающий стержень выполнен в виде полого элемента, по которому течет хладагент. Охлажда ащее средство выполнено в виде резервуара-хранилигца для жидкого хладагента. Зто техническое решение существенна снижает степень вероятности испарения всего хладагента в азотной ловушке, но все же не искл очает полное опорожнение хладагента в сосуде Дь|оара криогенной ловушки, и, как следствие, загрязнение приборов масс — спектраметрической камеры, Известна вакуумная ловушка, содержащая корпус и расположенный в нем хладопровод, на котором с возможность поворота установлены жалюзи, соединенныес приводом, причем последний выполнен в виде биметаллического элемента, снабженного подогревателем, Данное техническое решение позволяет автоматически регулировать проводимость ловушки в зависимости от величины вакуума в системе. Однако при полном опорожнении сосуда Дьюара криогенной ловушки не обеспечивается полная отсечка масс — спектрометрической камеры от десорбирующихся с поверхностей ловушки летучих загрязнений, что ведет к загрязнению и повреждению приборов масс — спектраметрической камеры.

Известна система автоматического управления вакуумной установкой, содержа25

55 щая входной и выходной управляемые вен.гили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, выполненный радиометрическим и связанный с регистрирующей, сигнализирующей и к0мандиой аппаратурой воздействия на вентили, причем датчик давления установлен в зоне диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемникол1 инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия нэ входной вентиль. Данное техническое решение позволяет проводить контроль работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управления. Однако данное техническое решение не обеспечивает и не предполагает защиты вакуумируемого обьема, в частности масс — спектрометрической камеры, от загрязняющих поверхностей ловушки в случае полного испарения хладагента.

Наиболее близким по технической сущности аналогом является вакуул нэя система течеискателя, содержащая масс — спектраметрическу а камеру, паромасляный насос, пластинчато-poxopl! I»IA насос, семь клапанов, калиброванную гелиевую течь, азотную ловушку, вакуумный датчик и термопарный манометрический преобразователь, В этой системе при испарении криоагента с понижением его уровня верхние части сосуда и вакуум — провода отогреваются. При этом происходит ухудшение защитных свойств азотной ловушки и деконденсация с атогретых поверхностей ранее скондснс,,ровавшихся паров, которые, попадая обратно в откачиваемый обьем, загрязня от приборы масс — спектрометрической камерь<. В результате снижаются надежность в работе катода, магнитного BBK> уMH0I датч.",Kii, B pBM l M6>I(p8f lIBM0H7I I0f 0 периода, 10 I! I0l . г..измерений, возрастают эксплуатацl10IIIILI0 затраты, Целью изобретения является повыш -.— ние надежности в работе катода л агнитного вакуумного датчика масс-спектраметри l;.ской камеры, увеличение времени л1ежреглал ентного периода и точности измерений.

Кроме того, целью изобретения также является повышение достовернаст" контроля осушки азотной лавушки после с:канчания работы и его автоматизации, à 1ак>- :е снижение затрат и экономия ресурса о ка ной системы при вакуул1ной осушке азотной ловушки.

Поставленная цель достигается тем, что известная вакуумная система течеискателя, 17Т9961

10

2О

55 содержащая механический насос с напускным клап- зм, паромасляный насос, выход которог подключен при помощи магистрали с первым электромагнитным клапаном к входу механического насоса, азотную ловушку с сосудом для хладагента, подключенную через дроссельный клапан к входу паромасляного насоса, масс-спектрометричсскую камеру, подключенную через второй электромагнитный клапан к азотной ловушке, а при помощи байпасной магистрали с запорным элементом — к входу механического насоса, снабжена по меньшей мере двумя термодатчиками, размещенными в нижней части сосуда для хладагента на различных высотах, первый термодатчик— на уровне предупреждения, второй — на критическом уровне, и прикрепленными к стенке сосуда посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, первой регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой и первой командной аппаратурой воздействия на второй электромагнитный клапан и систему электропитания катода и магнитного вакуу лного датчика, а каждый из термодатчиков состоит из постоянного магнита, чувствительного элемента в виде охватывающей магнит оболочки из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения хладагента, и магнитоуправляемого контакт-геркона, вмонтированного внутри соответствующего кронштейна, контакт — гер,ont! обоих термодатчиков соединены с регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой, а KollTBKT-ãåðêoí второго

Tpð ëoäàT÷ëêà соединен с первой командной аппаратурой. Кроме того, она снабжена коммутационным устройством подачи тепJloBoI0 или пневматического потока в сосуд для хладагента, третьик термодатчиком, установленным на дне сосуда для хладагента. и соединенными с ним второй регистрирующей аппаратурой и второй командной аппаратурой воздействия на коммутационное устройство, а второй термодатчик также соединен со второй командной аппаратурой.

При этом вакуумная система течеискателя снабжена аппаратурой блокировки системы откачки по давлению и третьей командной аппаратурой вбздействия на аппаратуру блокировки, а третий термодатчик и вакуумный датчик пароструйного насоса соединены с третьей командной аппаратурой.

Сущность изобретения заключается в предварительной сигнализации и последующей автоматической отсечке объема масс— спектрометрической камеры от остальной вакуумной системы течеискателя и прекращении электропитания катода, а также магнитного вакуумного датчика при снижении уровня хладагента в криогенном сосуде ниже допустимого, Кроме того, сущность изобретения заключается также в автоматическом прекращении отогрева ловушки при испарении всего хладагента и включении после этого блокировки системы откачки по давлению, срабатывающей после восстановления рабочего давления пароструйного насоса.

Сопоставительный анализ с прототипом позволяет сделать вывод, что конструкция вакуумной системы течеискателя дополнительно содержит как минимум два термодатчика, размс ценных в нижней части криогенной емкости на различных высотах, соответствующих уровню предупреждения и критическому уровню, прикрепленных к ее стенке посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, чувствительные элементы которых выполнены в виде оболочек, охватывающих постоянные магниты, при этом оболочки изготовлены из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости, причем внутри каждого кронштейна вмонтирован магнитоуправляемый контакт-геркон, один из которых связан с регистрирующей и сигнализирующей аппа-. ратурой, другой — с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на электромагнитный клапан, расположенный между масс-спектрометрической камерой и азотной. ловушкой, а также на систему электропитания катода и магнитного вакуумного датчика. Таким образом, заявляемое техническое решение соответствует критерию "новизна".

Известно техническое решение конструкции системы автоматического управления вакуумной установкой, В этой конструкции осуществляется контроль режима работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию по одному каналу, что в целом повышает надежность системы, Однако эта схема защиты вакуум ной камеры (масс — спектрометрической камеры) от загрязняющих веществ малоэффективна в случае испарения хладагента в криогенном сосуде ловушки и отогрева ее вымораживающих стенок. Поток деконденсирующихся со стенок ловушки веществ в первоначальный момент существенно не изменяет давления в вакуумной камере, но значительно загрязняет основные рабочие элементы

1779961

10 масс-спектрической камеры, а именно ионный источник и приемник ионов. Ионный источник содержит катод, коробку ионизатора и диафрагму. Приемник ионов содержит входную диафрагму, супрессор, состоящий из двух сеток и коллектор ионов.

Загрязнение поверхностей основных рабочих элементов масс-спектрометрической камеры приводит к значительным ошибкам при измерении фона, возникновению флюктуаций при измерении давления магнитным вакуумным датчиком, образованию пленок крекинга масла на поверхностях основных рабочих элементов, выходу из строя катода, приемника ионов, вакуумного датчика, снижению межрегламентного периода. При увеличении потока деконденсирующихся веществ в вакуумной камере изменится давление и после этого система автоматического управления вакуумной установкой (6) вмешается в работу системы. Однако к этому времени значительное негативное воздействие на основные рабочие элементы масс — спектрометрической камеры уже будет оказано. В заявляемол1 техническом решении эти недостатки устраняются благодаря ведению контроля за минимально допустимым количеством хладагента в криогенном сосуде, обеспечивающим чормальное вымораживающее и удер>кивающее действие загрязняющих веществ в процессе откачки и активному вмешательству системы контроля в процессе откачки масс — спектрометрической камеры и функционирования основных рабочих элементов, находящихся в ней в случае уменьшения количества хладагента ниже минимального допустимого уровня. Таким образом, на основании анализа известных технических решений в исследуемой области, можно признать решение соответствующим критери<а "Существенные отличия".

На чертеже показана схема вакуумной системы течеискателя.

Вакуумная система течеискателя содержит механический насос 1 с напускным клапаном, паромасляный насос 2, выход которого подключен при помощи магистрали с электромагнитным клапаном 3 к входу механического насоса 1, азотную ловушку 4 с сосудом для хладагента 5, подключенную через дроссельный клапан 6 к входу паромасляного насоса 2 и через электромагнитный клапан 7 к масс — спектрометрической камере 8, а при помощи байпасной магистрали 9 с запорным вентилем 10 и масс — спектрометрической камерой 8 — к входу механического насоса 1, два термодатчика

11 и 12, размещенные в нижней части криогенной емкости на различных высотах, соот5

55 ветствующих уровню предупрежде1<ил а необходимости пополнения криогенного продукта в азотную ловушку для нормального функционирования последней и критическому уровню, при котором азотная лавушка не в состоянии качественно вымораживать пары жидкости и удерживать конденсат, накопившийся ранее на вымораживающей поверхности. Термодатчики 11 и

12 крепятся к стенке криогенного сосуда 5 посредством кронштейнов 13 из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционнаго материала. Чувствительные элементы термодатчиков выполнены в виде оболочек

14, охватывающих постоянные магниты 15, при этом оболочки 14 изготовлены из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения криогенной жидкости. Внутри каждого кронштейна

11 вмонтирован магнитоуправляемый ко<1такт — геркон 16, один из которых связан с регистрирующей 17 и сигнализирующей 18 аппаратурами, другой — с регистрирующей

17, сигнализирующей 18 и командной 19 аппаратурами, последняя воздействует на электромагнитный клапан 7, расположенный между масс-спектрической камерой 8» азотной ловушкой 4. Кроме воздействия на электромагнитный клапан 7, командная аппаратура 19 воздействует также на систел у электропитания 20 катода 21 и систему электропитания 22 магнитного вакуумного дагчика 23. Таким образом, в блоке 19 размещены три командных аппаратуры: командная аппаратура воздействия на электромагнитный клапан 7, командna.l аппаратура воздействия на систел<у з icl ропитания 20 катода 21 и кол1анднля а<1na ратура воздействия на с»стсл<у электропитания 22 вакуумного датч<1; а 23, Кроме того, вакуумная система течеь1с кателя содер>кит установленный в днищс лр,огенного сосуда 5 ловушки 4дополнительнl- и термодатчик 24, связанный с регистр: рул>щей 17, сигнализирующей 18 и командной аппаратурой воздействия на камл1утацион-. ное устройство 25 подачи тепловога»л:-". пневл1атическо<-о потока в криогеннь1й сосудловушки, npl!этом с командной anпаратурой воздействия на ".ol

1779961

Блок имитации 30 жидкого азота в ловушке 4 связан с командной аппаратурой

19, Входной вентиль 31 сообщает массспектрометрическую камеру с испытуемым объектом. Командное устройство 32 связано с регистрирующей 17 и сигнализирующей 18 аппаратурой.

Вакуумная система течеискателя работает следующим образом.

После откачки объема вакуумного насоса 1 до рабочего давления включается блок имитации жидкого азота в криогенном сосуде 5 на уровне, превышающем "предупредительный", Далее производится откачка паромасляного насоса 2. После откачки насоса 2 включается подогреватель последнего. После разогрева пароструйного насоса 2 через клапан 6 производится откачка объема азотной ловушки 4 до заданного давления. и.змеряемого датчиком 26. Затем заливается жидкий азот в криогенный сосуд

5 азотной ловушки 4 и отключается блок имитации жидкого азота 30 в ловушке 4.

После захолаживания азотной ловушки 4 открывается электромагнитный клапан 7 и производится откачка масс — спектрометрической камеры 8. Во время откачки камеры

8 включается магнитный вакуумный датчик

23 и после достижения рабочего давления в камере подается накал на катод ионного источника. После установления заданного тока эмиссии открывают входной клапан 31, соединяющий вакуумную систему течеискателя с испытуемым объектом криогенного сосуда 5.

При наличии жидкого азота в криогенном сосуде 5 герметичные контакты датчиков, находящиеся ниже уровня жидкости, разомкнуты, так как магнитные потоки Ф, создаваемые постоянными магнитами 15, экранируется ферромагнитными оболочками 14 этих магнитов, замыкая на себя их силовые линии. Для размыкания контактов геркона к ним необходимо приложить минимальную силу притяжения

Ф

2и а 0 где po — магнитная постоянная, равная 4 жх 10 Гlм; а — длина участка перекрытия пружин, м;

Ь вЂ” ширина пружин, м;

4 — магнитный поток в зазоре (в веберах).

Контакты удерживаются в разомкнутом состоянии под действием упругой силы, направленной противоположно силе магнитного притяжения

Х вЂ” х

15 магнит 15, начнет быстро нагреваться. При переходе через точку Кюри материал оболочки 14 начинает обладать свойством пара20

30

55 где Х вЂ” величина зазора между кольцами недеформированных пружин, м; х — рабочий зазор между пружинами при их деформировании в процессе срабатывания, м;

S — жесткость каждой и ружи н ы, Н /м .

В процессе работы течеискателя по мере испарения жидкого азота из криогенного сосуда 5 термодатчик может находиться выше уровня жидкости. В этом случае чувствительный элемент термодатчика 11 оболочка 14, охватывающая постоянный магнетиков и диамагнитен. Герметичные контакты датчика 11 замкнуты. Такое состояние обьясняется следующим, Магнитный поток Ф, создаваемый постоянным магнитом 15, пронизывая оболочку 14, реагирует с герконом 16. Вследствие появления магнитного потока достаточной мощности для эапирания контактов геркона 16, свободные концы пружин приближаются друг к другу, наступает состояние равновесия Fm = Гу, которому соответствует магнитный поток

После того, как под действием возрос- . шего магнитного поля Н величина зазора уменьшилась с Х до х и соответствует критическому зазору пружины продолжают сближаться и без дальнейшего возрастания Н.

Для обеспечения надежной работы геркона и большей его чувствительности целесообразно, чтобы рабочая индукция В = Фь /S была меньше индукции насыщения Bs, а коэффициенты а1 и а2 в выражениях

B1= Ф1/$ =а1 Bs и B2 = %Л =а 2 Bs находились в пределах 0,75 < а < 0 9;

0,6< а2 <0,75.

Таким образом, после замыкания контактов геркона термодатчика 11 подается электрический сигнал на командное устройство 32 воздействия на регистрирующую.17 и сигнализирующую 18 аппаратуру. При получении сигналов аппаратуры 17 и 18 оператор заливает жидкий азот в ловушку. При испарении азота в криогенном сосуде 5 до уровня, соответствующего критическому, срабатывают контакты геркона термодатчика 12, выдается электрический сигнал на командное устройство 19. Командное устройство 19 направляет воздействие на закрытие электромагнитных клапанов 7 и 31, на систему электропитания 20 катода 21 с

1779961

14 целью его обесточивания, на систему электропитания 22 магнитного вакуумного датчика 23 с целью его отключения, После срабатывания электромагнитного клапана 7 электрический сигнал о закрытии передается на электропневмоклапан 25 и только после получения воздействия от командного устройства 19 автоматически открывается электропневмоклапан 25, установленный на магистрали подачи пневматического потока в криогенный сосуд 5 ловушки 4. При этом электропневмоклапан 25 открывается только после получения сигнала о закрытии электромагнитного клапана 7. После начала отогрева азотной ловушки 4 в вакуумной полости между криогенным сосудом и непосредственно наружными стенками азотной ловушки 5 начинается процесс повышения давления, который фиксируется вакуумным датчиком 26. После достижения некоторого предельного давления и получения сигнала о полном отсутствии жидкого азота в криогенном сосуде 5 с термодатчика

24 командная аппаратура 27 направляет воздействие на включение блокировки 28 по давлению системы откачки, После того как весь конденсат испарится с вымораживающей поверхности криогенного сосуда и удалится системой откачки, давление в вакуумной полости азотной ловушки начнет снижаться. При некотором давлении в вакуумной полости, соответствующем рабочему давлению в вакуумной системе без жидкого азота в ловушке блокировки 28 выдает команду на закрытие электроклапана 6 и после этого отключит нагреватель паромасляного насоса 2. После отключения нагревателя насоса 2 блокировка 28 включит в работу реле времени 29. По истечении времени, необходимого для остывания корпуса паромасляного насоса 2, реле отключит механический насос 1. Течеискатель автоматически остановлен, Итак, предлагаемое устройство позволяет существенно повысить надежность в работе катода и магнитного вакуумного датчика, увеличить время межрегламентного периода течеискателя, повысить точность измерений, упростить процесс останова течеискателя оператором, Формула изобретения

1. Вакуумная система течеискателя, содержащая насос с напускным клапаном, паромасляный насос, выход которого подключен при помощи магистрали с первым электромагнитным клапаном к входу механического насоса, азотную ловушку с сосудом для хладагента, подключенную через дроссельный клапан к входу паромасляного

55 насоса, масс — спектрометрическую камеру, подключенную через второй электромагнитный клапан к азотной ловушке, а при помощи байпасной магистрали с запорным вентилем — к входу механического насоса, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе катода и магнитного вакуумного датчика масс-спектрометрической камеры, увеличения времени межрегламентного периода и точности измерений, она снабжена по меньшей мере двумя термодатчиками, размещенными в нижней части сосуда для хладагента на различных высотах, первый датчик — на уровне предупреждения, второй — на критическом уровне, и прикрепленными к стенке сосуда посредством кронштейнов из диамагнитного тепловлагоэлектроизоляционного материала, первой регистрирующей и сигнализирующей аппаратурой и первой командной аппаратурой воздействия на второй электромагнитный клапан и систему электропитания катода и магнитного вакуумного датчика. а каждый из термодатчиков состоит из постоянного магнита, чувствительного элемента в виде охватывающей магнит оболочки из ферромагнитного материала с точкой Кюри, близкой к температуре кипения хладагента, и магнитоуправляемого контакт — геркона, вмонтированного внутри соответствующего кронштейна, контакт-герконы обоих термодатчиков соединены с регистрирующей и сигнализирую;цей аппаратурой, а контактгеркон второго термодатчика соединен с первой командной аппаратурой.

2. Система по и. 1, отличающаяся тем, что, с целью повышения достоверности контроля осушки азотной ловушки после окончания работы и его автоматизации, она снабжена коммутационным устройством подачи теплового или пневматического потока в сосуд хладагента, третьим термодатчиком, установленным на дне сосуда для хладагента, и соединенными с ним второй регистрирующей аппаратурой и второй командной аппаратурой воздействия на коммутационное устройство, а второй термодатчик также соединен с второй командной аппаратурой.

3. Система по пп. 1 и 2, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью снижения затрат Ll экономии ресурса откачной системы при вакуумной осушке азотной ловушки, она снабжена аппаратурой блокировки системы откачки по давлению и третьей командной аппаратурой воздействия на аппаратуру блокировки, а третий термодатчик и вакуумный датчик пароструйного насоса соединены с третьей командной аппаратурой.