Вытяжной шкаф

 

Область применения: изобретение относится к вентиляционным системам,более конкретно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий. Цель изобретения - повышение эффективности очистки воздуха рабочей зоны. Вытяжной шкаф содержит герметичный корпус с загрузочной дверью, перчатки, фильтр, пол, вытяжную систему, причем пол выполнен из 3-х зон с различной степенью перфорации по глубине рабочей камеры, площади и коэффициенты перфорации которых связаны зависимостями: FV: F2 : РЗ 0,35 : 4 : 1, КП1. Кп2, КпЗ 0,8 : 0,5: 0,4. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5I)5 В 08 В 15/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

t ! ъ р ч

Ul .,Ю Ul (21) 4739581/12 (22) 20.09,89 (46) 15.01,93. Бюл, N. 2 (71) Н ауч но-исследовательский и нститут точной технологии (72) М,M.ÁoáêoB, М.Л.Минкин, В.М,Редин.

B.È.ÓøàêoB, В.В,Колодин и К,Г,Егоров (56) Биологический шкаф с встроенными перчатками, фирма "KOJAIR", Финляндия, просп., 1986. (54) ВЫТЯЖНОЙ ШКАФ (57) Область применения: изобретение относится к вентиляционным системам, более

Изобретение относится к области вентиляционных систем, а именно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий и может быть использовано в химической, микроэлектронной, фармацевтической и других областях народного хозяйства для работы со сверхчистыми, токсичными и биологически опасными для человека веществами.

Наиболее близким техническим решением является вытяжной шкаф для работы с токсичными и биологически опасными веществами, содержащий герметичный корпус, выполненный из стального листа со стеклянной передней стенкой, герметичной дверью и встроенным резиновыми перчатками, глухой пол, фильтр очистки воздуха, включающий фильтр грубой очистки и фильтр тонкой очистки, вытяжную систему для отвода загрязненного воздуха.

Известное устройство позволяет проводить работы со сверхчистыми и биологически опасными веществами, предотвращает вредные выбросы в окружающую среду за

„„ 1 „„1787595 А1 конкретно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий, Цель изобретения — повышение эффективности очистки воздуха рабочей зоны. Вытяжной шкаф содержит герметичный корпус с загрузочной дверью, перчатки, фильтр, пол, вытяжную систему, причем пол выполнен из 3-х зон с различной степенью перфорации по глубине рабочей камеры, площади и коэффициенты перфорации которых связаны зависимостями: F); Р2; F3= 0,35: 4: 1. Кп1.

Кп2, Кпз = 0,8: 0,5: 0,4. 1 ил. счет герметизации соединений элементов конструкции корпуса и загрузочной двери.

При разгерметизации конструкции для выполнения операции загрузки-выгрузки, ñëóчайных нарушениях целостности корпуса шкафа, разрывах резиновых перчаток защита от выбросов достигается за счет созданного в рабочей зоне пониженного (относительно атмосферного) давления.

Недостатком указанного устройства является малая чистота в рабочей зоне для работы со сверхчистыми веществами из-за создаваемого в рабочей зоне турбулентного воздушного потока. препятствующего поддержанию обеспыленной рабочей атмосферы и приводящей к загрязнению вещества.

Целью изобретения является повышение эффективности очистки воздуха в рабочей зоне.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Вытяжной шкаф для работы со сверхчистыми токсическими веществами содержит корпус 1; стеклянную переднюю загруэоч1787595 ную дверь 2; резиновые перчатки 3; воздушный фильтр 4; фальшпол 5; вытяжную систему 6, Корпус 1 сделан из металла или любого другого листового материала, швы конструкции выполнены герметично. Стеклянная загрузочная дверь 2, с расположенным по периметру резиновым уплотнением, имеют герметично встроенные перчатки 3 для маниЛуЛйрования объектами в рабочей зоне и замок .;-

Воздушйый фильтр 4 изготовлен из фильтровой ткани ФПП 15-1, 5 ТУ-6-16-206276. По паспортным данным ткань имеет эффективность очистки 0,999 для частиц размером 0,5 мкм и более, Для получения сверхчистого воздуха и для оптимальной работы фильтра необходимо установить два слоя ткани. Фильтрующая ткань крепится в жестком каркасе.

Фальшпол 5 представляет из себя перфорированный металлический лист с различными зонами, отличающимися друг от друга степенью перфорации, наибольшей у загрузочной двери и наименьшей у задней стенки шкафа.

Вытяжная система 6 крепится герметично снизу корпуса шкафа 1, под фальшполом

5.

Вытяжной шкаф работает следующим образом.

Вытяжная система 6 функционирует постоянно. За счет отсоса воздуха и гидравлического сопротивления самого фильтра в шкафу создается пониженное давление на

7-8 мм рт.ст. по отношению к атмосферному. При наличии разности давлений в рабочую зону через фильтр 4 начинает поступать наружный воздух со скоростью 0,45 м/с.

Из-за разного гидравлического сопротивления зон фальшпола 5 образуется направленное движение воздушного потока 7 от фильтра к первой зоне фальшпола, Поток предотвращает проникновение пыли и загрязнений с перчаток 3 и загрузочной двери

2 в рабочую зону, Загрязненный воздух через отверстия фальшпола поступает в подфальшпольное пространство и далее в вытяжную систему 6.

Наибольшую потребность в такой конструкции испытывает электронная промыш5 ленность, выпускающая большие интегральные схемы (БИС) оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) емкостью 64, 256 Кбит и 1 Мбит. Технология изготовления

БИС предусматривает использование боль10 шого количества сверхчистых химических растворов (органические растворители: диоксан, метил целлозольвацетат, диметилформамид, органические кислоты и др.), Одной из основных причин загрязнений

15 сверхчистых растворов является их разлив из больших фляг в мелкую технологическую тару.

Во время этой операции аэрозольные частицы, взвешенные в рабочей зоне шка20 фа, попадают в раствор и вызывают его загрязнения. В дальнейшем во время технологического процесса частицы переносятся из раствора на полупроводниковые пластины и вызывает дефекты на поверхности и конечный брак продукции, Предложенное устройство устраняет указанные недостатки, Формула изобретения

Вытяжной шкаф, содержащий корпус с загрузочной дверью, рабочим отверстием со встроенными перчатками и полом. фильтр и вытяжную систему, о т л и < а юшийся тем, что, с целью повышения

35 эффективности очистки воздуха рабочей зоны, пол выполнен перфорированным из трех зон, при этом степень перфорации каждой зоны в направлении от загрузочной двери к противолежащей стенке корпуса

40 определяется по следующей зависимости

Кл . Кл, К = 0,8: 0,5: 0,4, а площади зон определяют по зависимости F; F: F=

= 0,35;1:1, при этом вытяжная система размещена под полом, а площадь пола вычис45 ляют по формуле F =П /1620, где П, производительность откачки вытяжной системы F — площадь пола.

1787595

Составитель М.Минкин

Техред M,Ìoðãåíòàë Корректор E.Êoï÷à

Редактор

Заказ 28 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская нэб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина. 101