Способ изготовления деталей

 

Использование: электроэрозионнре изготовление точных деталей непрофилированным электродом-инструментом. Сущность изобретения: на поверхности детали по длине вырезаемого контура предварительно формируют канавки, ширина которых в 1,5-2,0 раза превышает диаметр электрода-инструмента, а ее глубина превышает 50 мкм. Электроэрозионную вырезку производят по дну данной канавки, чем исключется образование наплывов от электроэрозионной обработки на лицевой стороне детали. 1 з.п. ф-лы, 2 ил... ........

,кз ф . фф,а

) м Фт

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИНЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ч)з В 23 Н 7/02

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР),а Ь Li 4!!, д а, йз)3 (у ) П т" . т домтч .(т(д

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4945861/08 (22) 14.06.91 (46) 28.02.93. Бюл. N. 8 (71) Научно-исследовательский институт физических измерений (72) В.Г.Кафтанатьев и А.И.Цапулин (56) Смоленцев В.П. Изготовление инструмента непрофилированным электродом. M.:

Машиностроение, 1967, с.88 — 99. оис 3П (54).СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ (57) Использование: электроэрозионное изготовление точных деталей непрофилироИзобретение относится к машиностроению, в частности к электрическим методам обработки токопроводящих материалов, и может быть использовано для электроэрозионного вырезания непрофилированным электродом-инструментом мембран датчиков давления из кремниевых пластин.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей способа за счет повышения .уровня . миниатюаризации изготавливаемых деталей из токопроводящих пластин.

На фиг,1 показана обрабатываемая деталь, разрез; на фиг,2 — то же, план.

На лицевых сторонах обрабатываемых пластин 1 предварительно изготавливают канавки 2 по траектории контура вырезаемых пластин 3. Далее при помощи непрофилированного электрода-инструмента 4 производят электроэрозионную, вырезку этих контуров по дну канавок 2.

Формирование канавки в зоне реза с планарной стороны позволяет устранить

„„5U „„1798068 А1 ванным электродом-инструментом. Сущность изобретения: на поверхности детали по длине вырезаемого контура предварительно формируют канавки, ширина которых в 1,5 — 2,0 раза превышает диаметр электрода-инструмента. а ее глубина превышает 50 мкм. Электроэрозионную вырезку . производят по дну данной канавки, чем исключется образование наплывов от электроэрозионной обработки на лицевой стороне детали. 1 з.п, ф-лы, 2 ил. появление дефектной зоны на планарной стороне вырезаемой микродетали, Это обусловлено тем, что при электроэрозионном резании материала движущейся электрод-проволокой в зоне реза происходит вытеснение материала обрабатываемой пластины из зоны реза на края пластины, способствуя образованию наплыва материал (Образования окисла кремния при вырезке мембран из кремниевых пластин) на рабочей стороне пластины. Нали- 4 чие предварительной канавки исключает 49 попадания наплыва материала на рабочую СО поверхность микродетали. Это позволяет (. ) изготавливать микродетали датчиков с вы- ©, соким качеством рабочих поверхностей. Оъ

Вырезка микродетали по дну канавки обеспечивает максимальную производительность вырезки при сохранении качества смежной вырезаемой микродетали. Формирование канавки на пластине путем травления обеспечивает высокую точность и производительность, 1798068

cvиг..8

Составитель А.Цапулин

Техред М.Моргентал Корректор И.Шмакова

Редактор Л.Народная

Заказ 737 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент". г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Геометрические размеры канавки по поперечному сечению выбраны из технологических соображений исходя из требований миниатюризации вырезаемой детали, Пример, Круглые мембраны вырезаают из кремниевой пластины 1 (фиг,1) толщиной 300 мкм на электроэрозионной установке А 287. Перед вырезкой мембран

3 в зоне реза на пластине формируют травлением канавки 2 глубиной 50 мкм и шириной 50 мкм. Диаметр проволоки-электрода

25 мкм. После формирования канавок проводят вырезку мембран 3 электрод-проволокой 4 по дну канавок 2. Канавки формируют на планарных (рабочих) сторонах пластин, где недопускается наличие дефектных зон. по краю реза.

Положительный эффект заключается в повышении уровня микроминиатюризации .вырезаемых деталей. Дополнительным npez имуществом является повышение производительности вырезки тонких микродеталей за счет уменьшения поперечного сечения детали в зоне реза.

5 Формула изобретения

1, Способ изготовления деталей, включающий электроэрозионную вырезку контура непрофилированным электродом-инструментом и устранение дефектов электроэро10 зионной вырезки, от л и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, предварительно на поверхности детали по длине контура формируют канавку, ширина которой превышает диа15 метр электрода-инструмента, а вырезку производят по дну этой канавки, 2. Способ по п,1, б т л и ч а ю шийся тем, что канавку формируют шириной, равной, 1,5 — 2,0 диаметрам электрода-инстру20 мента, и глубиной более 50 мкм.