Патент ссср 180770

 

I8 9776

Союз Советоких

Социалистических

Реопублин

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 01 VI I.1963 (№ 844829 29-14) Кл. 32Ь, 3, 08 с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 26.III.1966. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 25.V.1966

МПК С 03с

УДК 666.112 7

666.117.3 (088.8) Комитет по делан изобретений и открытиЯ при Совете Министров

СССР

А. А. Сироткин, В. И. Гаман и В. А. Пре нов Я ©С": т:з АМ

Авторы изобретения сибирский физико-технический научно-исслелоеательй и институт 1 при Томском государственном университете им. В.. уЯфт1Иева .Лй

Заявитель

%9&50% Э

СТЕКЛО

Предмет изобретения

Изобретение относится к стеклам, которые могут быть применены для защиты поверхности планарных и других полупроводниковых кремниевых структур.

Известны стекла, содержащие ЫОз, В.Оз, Na2O и АlзОз.

Описываемое стекло отличается от известных тем, что его коэффициент термического расширения близок к коэффициенту термиче ского расширения кремния.

Достигается это введением в стекло следующих компонентов (wee. %): SiO 34,65—

49,35; B>0) 42,18 — 46,66; Na O 5,8 — 6,4; АlзОз

2,38 — 2,63.

Коэффициент термического расширения стекла в диапазоне температур от — 60 до

+200 С лежит в пределах от 46 10 1/град до 49 10 1/град.

Защитную пленку любой толщины из стекла получают осаждением на поверхности кремниевых структур тонко измельченного порошка из взвеси его в спирте или ацетоне с последующим отжнгом прн 850 С B течение

10 лшн. Пленка выдерживает мгновенньш перепад температур от +850 С до комнатной и от — 160 до +300 "C.

Стекло, содержащее SiO-», B.»O;,, Ха О, А1 Оз, отличаюа ееся тем, что, с целью обеспечения получения стекла с коэффициентом термического расширения, близким коэффициенту термического расширения кремния, указанные компоненты входят в следующих количествах (в вес. %): S iO 34,65 — 49,35;

В.Оз 42,18 — 46,66; NaO 5,8 — 6,4; Аl Оз 2,38—

2,63.