Патент ссср 182456

 

О П И С А Н И Е l82456

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.XI.1964 (№ 931259/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 25Х.!966. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 27Л 11.1966

Кл. 47 „19/01

МПК F 06k

УДК 621.646,986(088.8) Комитет по делам иаооретеиий и открытий при Совете Мииистрае

СССР

Автор изобретения

А. А. Абуков

Заявитель

ПЛАСТИНЧАТЬ1Й ЗАТВОР ДЛЯ ПЕРЕКРЫТИЯ ЧАСТИ

ВЛКУУМНОй КАМЕРЬ! ОТ ПО11АДАНИЯ В НЕЕ ПАРОВ

ВЕЩЕСТВ

Предмет изобретения

Известны пластинчатые затворы для перекрытия части вакуумной камеры от попадания в нее паров веществ, содержащие подви>кно сочлененные между собой и расположенные в корпусе пластины.

В описываемом затворе для полного перекрытия потока испаренного в вакууме вещества пластины подвижно соединены между собой при помощи «усиков», выполненных на каждой пластине и входящих в дугообразные газы соприкасающихся пластин. Пластины установлены на общей оси веерообразно таким образом, что одна из них жестко связана с осью, имеющей шестерню, сопря>кенную с подпружиненной рейкой, приводимой в движение толкателем.

На фиг. 1 изображен описываемый затвор; на фиг. 2 — разрез по А-А на фиг. 1; на фиг, 3 — разрез по Б-Б на фиг, 2; на фиг. 4 — разрез по 8-В на фиг. 1.

Затвор состоит из корпуса 1 (см. фиг, 2), ограничительного кольца 2, оси 3 с шестерней 4, зубчатой рейки 5, сопряженной с шестерней. и пластин б, подвижно соединенных между собой.

При перемещении рейки 5 под воздействием

-,0ëêàòåëë 7 ось > поворачивается вместе с закрепленной на ней первой пластиной б.

«Усик» 8 этой пластины, перемещающийся в дугообразном пазу 9 второй пластины б, дойдя до конца паза, начинает поворачивать вторую пластину б, «усик» которой перемещает следующую пластину и т. д. Затвор закрывается прп помощи пружины 10, сжимающейся во время прямого хода — открывания.

Описываемый затвор позволяет повысить качество тонких пленок, получаемых путем папы.чения в вакууме.

Пластинчатый затвор для перекрытия части вакуумной камеры от попадания в нее паров веществ, содержащий подвижно сочлененные между собой и расположенные в корпусе пластины, отличатощийся тем, что, с целью пол, ого перекрытия потока испарепного в вакуу®0»Ie вещества, пластины затвора подвижно соединены между собой при помощи «усиков», вь полненных на каждой пластине и входящих в дугообразные пазы соприкасающихся пластин, и установлены веерообразно на общей осп таким образом, что одна из них жестко связана с осью, имеющей шестерню, сопря>кенпую с подпружиненной рейкой, приводимой в движение точкателем.

Составитель 1О. Буянов

Редактор H. Джарагетти Техред Г. Е. Петровская Корректоры: Г. Е. Опарина и Е. М. Коврижкина

Заказ 1940/5 Тираж 1325 Формат бум. 60 90 /8 Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИ11И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2