Геттерно-ионный насос

 

О0ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l84389

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.1Ч.1965 (№ 1003517/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21 Vll.1966. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 10.1Х.19бб

Кл. 27d, 3/02

МПК F 04f

УДЕ 533.582(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

«с 1., !

Авторы изобретения

А. С. Назаров, Э. А. Мах, Г. Ф. Ивановский и М. В. Кузн црв-..., ° 1. (l ч(:j 1„

Заявитель

ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС

10 Активные газы откачиваются за счет химического связывания свеженапыленной титановой пленкой, образующейся на внутренней поверхности корпуса насоса, Инертные газы откачиваются за счет их ионизации и внедрения

15 ионов, ускоренных электрическим полем, в титановую пленку. Высокая эффективность ионизации обеспечивается большой протяженностью электронных траекторий, которая определяется взаимным расположением и формой

20 электродов, электрического и магнитных полей.

Предмет изобретения

1 етгерно-ионный насос с нонизацией в электрическом и магнитном полях, содержащий анод II испаритель геттерного вещества, служащий одновременно катодом, отличающийся

30 тем, что, с целью повышения эффективности

Известны геттерно-ионные насосы с ионизацией в электрическом и магнитном полях, содержащие анод и испаритель геттерного вещества, служащий одновременно катодом.

Эффективность ионизации остаточных газов зависит от взаимного расположения электродов, электрического и магнитного полей. В существующих конструкциях насосов она недостаточно высока.

В предлагаемом насосе анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод из титаномолибденовой проволоки имеет П-образную форму и расположен с внешней стороны анода в плоскости его осевого сечения.

На чертеже изображен насос в разрезе, Цилиндрический корпус 1 насоса из нержавеющей стали имеет верхний и нижний фланцы и рубашку водяного охлаждения. Верхним фланцем насос присоединяется к откачиваемому обьему, нижний служит для соединения с цоколем насоса.

Цоколь насоса имеет металлокерамические вводы 2 и электроды: испаритель-катод 3 и анод 4. Анод представляет собой спираль из молибденовой проволоки, навитую на две молибденовые траверсы. Он имеет цилиндрическую форму, но может быть эллипсным, прямоугольным и т. п.

Магнитная система представляет собой ряд стержней 5 из магпинового сплава, установленных по образующим наружного цилиндра корпуса. С торцов на стержни надеты полюсные наконечники б. В качестве источника магнитного поля можно использовать соленоид.

Испаритель питается переменным напряжением, его рабочая температура 1200 С. На анод подается положительное напряжение

2 /та.

184389

Составитель Г. )Кукова

Редактор И. Г. Карпас Техред Г. Е. Петровская Корректор С. Н. Соколова

Заказ 2540/4 Тираж 1225 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 ионизации остаточных газов, анод выполнен в виде спирали, а испаритель-катод имеет П-обЗиад доды разную форму и расположен с внешней стороны анода в плоскости его осевого сечения.