Способ изготовления термостойких тонкопленочных

 

I86OOl, Союз Советских, Социалистических

Респтблик

Зависимое от авт, свидетельства ¹ 171044

Заявлено 02.т 1.1965 (№ 1011117/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.1Х.1966. Бюллетснь № 18

Дата опубликования описания 15.Х.1966

1,л. 2ic, 54/05

МПЕ, Н Olc

УД К, 621.316.849(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения Д. С. Акопджанова, И. Н. Букреев, О. Е. Бондаренко, А. И. Данилина и В. П. Лаврищев

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОС1OAKHX ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

СОП POTH ВЛ ЕН И Й

Предмет изобретения

В основном авт. св. № 171044 описан способ изготовления термостойких тонкопленочных сопротивлений для микросхем, выполненных на плоской нагретой ситалловой подложке, термическим испарением металлосилицидного сплава в вакууме через маску.

По предложенному способу металлосилицидный сплав наносится на подло кку сплошным слоем. Затем путем избирательного химического травления нанесенному слою придается требуемая конфигурация сопротивления. Это значительно уменьшает градиент температуры вдоль подложки.

Сущность описываемого способа состоит в следующем.

Резистивный слой наносят на плоскую ситалловую подложку термическим испарением металлосилицидного сплава в ьакууме сплошным слоем (без применения маски и маскодержателя). После этого производят напыление контактных площадок через маски. Требуемую конфигурацию сопротивления получают избирательным химическим траьлением нанесенного слоя.

В качестве фоторезиста используют 15Я>-ный раствор смеси нафтохинондиазидсульфоэфирного лака (1 в. ч.) и ноголака (1,5 в. ч.) в диоксане. В качестве травителя используют раствор фтористого аммония (50 г) в дистиллированной воде (100 льг), причем в раствор фтористого аммония добавляют плавиковую кислоту (из расчета 15 л л кислоты на 96 лл раствора) .

Сопротивления, выполненные по ollHcBHttoìó

10 способу, характеризуются разбросом номинала сопротивления по плате размером (48)

) 60) лтл- не более 5 /, в результате чего выход годной продукции Ilo 1 резистивному слою резко повышается.

Способ изготовления термостойких тонкопленочных сопротивлений по авт. св. № 171044, 20 отяичаюи1ийся тем, что, с целью уменьшения градиента температуры вдоль подложки, металлосилицидный сплав наносят сплошным с "i0eilt, а для IIQ;I)i eHttrr требуемой конфигурации сопротивления производят избирательное

25 химическое травление нанесенного слоя.