Микрорефлектометр

 

Союз Советских

Социалистических

Республик ъ гjP

1 1

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 14Х.1964 (№ 901012у26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.Х.1966. Бюллетень № 20

14/01

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК G 02(j

УДК 531.713.8(088.8) Дата опубликования описания 12,XI.1966 автор изобпстения

Э. П. Янушкевич

Заявитель

МИКРОРЕФД ЕКТОМЕТР

Известные устройства, используемые в качестве бесконтактных оптических щупов (перфлектометр Лейтца) в приборах для определения размеров изделий, ограниченных полированными, отражающими свет поверхностями различной формы, содержат визирные микроскопы, осветители с маркой и непрозрачные зеркала. Однако эти устройства не позволяют получить изображения марки в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом.

Предложенное устройство отличается от известных тем, что марка установлена на оптической оси объектива микроскопа (в случае, если осветитель не имеет собственного объектива) или на оптической оси объектива осветителя и пересекает эту ось в точке, не совпадающей с фокусом объектива. Кроме того, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярно l оптической оси микрорефлектометра. Все это позволяет получить изображение марки в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом, а также использовать прибор для наведения и отсчета при измерении размерои без относительного перемещения микроскопа и объекта измерения.

На фиг. 1 представлена оптическая схема описываемого микрорефлектометра для случая, когда осветитель не имеет собственного объектива; на фиг. 2 — оптическая схема микрорефлектометра с осветителем, имеющим собственный объектив.

Мнкрорефлектометр содержит непрозрачное зеркало 1, установленное позади измеряемой детали 2. объектив 8, миру 4, полупрозрачное зеркало 5, окуляр б, конденсор 7 и источник 8 излучения. Осветитель может быть снабжен также собственным объективом 9.

Основными частями микрорефлектометра являются осветительная система, визирный микроскоп и расположенное перпендикулярно оптической оси прибора плоское зеркало.

15 Осветительная система (см. фиг. 1) состоит из источника 8 излучения, конденсора 7, полупрозрачного зеркала 5 и миры 4, на которой нанесена марка. Объектив 8, который в рассматриваемой схеме относится как к осве20 тительной системе, так и к визирному микроскопу, дает изображение марки в плоскости

А. Установленное в соответствующем месте на пути лучей плоское зеркало 1 изменяет их направление на противоположное и дает нзоб25 ражепие марки в плоскости А, которая совпадает с фокальной плоскостью визирного микроскопа. Таким образом изображение марки может наблюдаться с помощью визирного микроскопа, состоящего из объектива 8 и оку30 ляра б.

187353

Схема, приведенная на фиг. 2, принципиально ничем не отличаясь от схемы на фиг, 1, гредусматривает применение двух объективов

3 и 9 отдельно для осветительной системы и визирного микроскопа. Такая схема с пристроенным осветителем позволяет использовать в качестве микрорефлектометра обычный измерительный микроскоп.

Применение микрорефлектометра в качестве оптического щупа заключается в следующем.

При приближении детали 2 к отраженному от зеркала 1 изображению марки можно наблюдать второе изображение марки, отраженное от зеркальной поверхности Q. При перемещении детали второе изображение будет перемещаться в ту же сторону, что и деталь.

Указанный эффект может быть использован при наведении микрорефлектометра на зеркальную поверхность, расположенную параллельно или с небольшим наклоном к оптической оси прибора. Принцип может быть успешно использован для измерения отверстий, в частности глухих.

Расстояние М от плоскости А до зеркала 1, которое в основном ограничивает высоту поверяемой детали, может быть определено из следующего соотношения:

M— г (К-+-Р1 где F — главное фокусное расстояние объектива микроскопа (осветителя);

К вЂ” расстояние между плоскостями В и

С, т. е. расстояние от марки до главного фокуса О окуляра;

P — расстояние от марки до главного фокуса О объектива.

Предмет изобретения

10 1. Микрорефлектометр, предназначенный для использования в качестве бесконтактного оптического щупа в приборах для измерения размеров деталей, ограниченных полированными плоскими, цилиндрическими и кониче15 скими поверхностями, содержащий визирный микроскоп, осветитель с маркой и располохкенное перпендикулярно оси микроскопа непрозрачное зеркало, отличающийся тем, что, с целью получения изображения марки, ис20 пользуемого для наведения на объект измерения, в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом, марка установлена на оптической оси объектива микроскопа или осветителя и пересекает эту ось в точке, не сов25 падающей с фокусом объектива.

2. Микрорефлектометр .по п. 1, отличающийся тем, что, с целью использования прибора для наведения и отсчета при измерении размеров без относительного перемещения

30 микроскопа и объекта измерения, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси микрорефлектометра.

187353

Фсг Z

Заказ 3390/15 Тираж 900 Формат бум. 60X90 /8 Объем 0,24 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель В. Ванторин

Редактор Н. С. Коган Техред T. П. Курилко

6 г

Корректоры: О. Б. Тюрина и Т. Н. Костикова