Патент ссср 189952

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Созетскик

Сонизлистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 2 1g, 31/02

Заявлено 09.Х1.1965 (№ 1036025/26-9) с присоединением заявки №

МПК H Old

УДК 621.318.132.002.2 (088,8) Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 16.Х11.1966. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания ЗО.I,1967

Авторы изобретения

А. Г. Лесник и Г. И. Левин

Институт металлофизики АН УССР

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известный способ изготовления ферромагнитных пленок, основанный на покрытии подложки промежуточным подслоем, с последующим вакуумным напылением на него ферромагнитного материала в магнитном поле, позволяет получать пленки с достаточно высо-. кой коэрцитивной силой. Кроме того, весьма затруднено управление параметрами пленок в процессе их изготовления.

Предложенный способ позволяет увеличить коэрцитивную силу ферромагнитных пленок, а также упростить управление их параметрами. Это достигается в результате использования в качестве промежуточного подслоя термостойкого лака, например кремнийорганического, поверхность которого до напыления на него ферромагнитного материала подвергают термообработке в вакууме.

Металлическую отполированную до 12 класса чистоты поверхность покрывают подслоем кремнийорганического лака, содержащего 17% сухого продукта, разбавленного смесью, состоящей из трех частей толуола и одной части этилового спирта, до консистенции, содержащей 5% сухого продукта. После сушки в течение 12 час при 20 С толщинаподслоя должна составлять около 0,5 ик. Затем подслой подвергают термообработке в вакууме при 250 — 350 С-, во время которой на его поверхности образуются микронеровности.

Не вскрывая вакуумной камеры при температуре подложки — 250 С, на подслой напыляют ферромагнитную (например, пермаллоевую) пленку толщиной 700 — 1000 А в магнит5 ном поле порядка 100 э со скоростью 20—

40 А/сек. Наличие микронеровностей повышает коэрцитивную силу пленок, а изменение величины этих неровностей при изменении режима термообработки позволяет весьма просто управлять параметрами пленок. Бракованные ферромагнитные пленки можно снимать с подложек, не повредив при этом поверхности последних в результате растворения лакового подслоя.

Способ изготовления ферромагнитных пленок, основанный на покрытии подложки про20 межуточным подслоем, с последующим вакуумным напылением в магнитном поле на поделай ферромагнитного материала, отличаюитийся тем, что, с целью увеличения коэрцитивной силы пленок и упрощения управления

25 параметрами пленок в процессе их изготовления, в качестве материала промежуточного подслоя использован термостойкий лак, например кремнийорганический, который до нанесения на его поверхность ферромагнитного

30 материала подвергают термообработке в вакууме.