Устройство для жидкостной обработки изделий

 

Использование: для очистки фотошаблонных заготовок, может найти применение в стекольной и приборостроительной отраслях промышленности для обработки плоских изделий. Сущность изобретения: устройство содержит ванны для обрабатывающей жидкости, держатель изделий, механизм .вертикального перемещения держателя. Держатель закреплен на раме, кинематически связанной посредством цепной передачи с приводом электродвигателя, на валу которого размещены обгонная муф1 та, связанная с цепной передачей, и эксцентрик с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, взаимодействующим с нижней перекладиной рамы в процессе обработки, Это дает возможность повысить качество обработки изделий за счет обеспечения плавного возвратно-поступательного перемещения изделий в вертикальной плоскости (покачивания), что, в свою очередь, дает возможность использовать ультразвук в. процессе обработки и тем самым увеличить ее интенсивность. Кроме того, устройство позволяет использовать один привод как для подъема рамы с держателями (при выгрузке обработанных изделий и загрузке новых), так и для плавного покачивания рамы в процессе обработки. 4 ил. (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 В 08 В 3/04, 3/08

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4912854/12 . (22) 20.02.91 (46) 23,03.93. Бюл, М 11 (71) Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения (72) А. Е, Варнаков, B.À, Скрыпченко и

А.И.Струков (56) Авторское свидетельство СССР

Ь 948470, кл. В 08 В 3/04, 1982, Авторское свидетельство СССР

М 1107909, кл. В 08 В 3/08, 1983, l (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ (57) Использование: для очистки фотошаблонных заготовок, может найти применение в стекольной и приборостроительной отраслях промышленности для обработки плоских изделий. Сущность изобретения: устройство содержит ванны для обрабатывающей жидкости, держатель изделий, ме ханизм вертикального перемещения

Изобретение относится к машинострое нию, в частности к технологическому обору. дованию для очистки фотошаблонных

Заготовок, и может найти применение в сте- кольной и приборостроительной отраслях промышленности для обработки плоских изделий.

Технический результат от данного изобретения заключается в повышении качества обработки. На фиг. 1 схематично показано устройство для жидкостной обработки иэделий (в качестве примера реализации рассмотрено устройство с использованием трех ванн для обрабатывающей жидкости); на.фиг. 2 — то же, вид сбоку; на фиг, 3 — фрагмент механиэ„„5U 1803207 А1 держателя. Держатель закреплен на раме, кинематически связанной посредством цепной передачи с приводом электродвигателя, на валу которого размещены обгонная муфта, связанная с цепной передачей, и эксцентрик с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, взаимодействующим с нижней перекладиной рамы в процессе обработки, Это дает возможность повысить качество обработки изделий .за

chief обеспечения плавного возвратно- поступательного перемещения изделий в вертикальной плоскости (покачивания), что, в свою очередь, дает воэможность использовать ультразвук в процессе обработки и тем самым увеличить ее интенсивность. Кроме того, устройство позволяет использовать один привод как для подъема рамы с держателями (при выгрузке обработанных изделий и загрузке новых), так и для плавного покачивания рамы в процессе обработки. 4 ил.

Ф ма вертикального перемещения держателя; на фиг, 4 — фрагмент цепной передачи, .

Устройство для жидкостной обработки изделий состоит из корпуса 1, на котором закреплены ванны 2 для обрабатывающей жидкости, две направляющие 3 для рамы 4, на которой закреплены держатели 5 изделий-кассет 6 с изделиями 7. Кроме того, на корпусе 1 закреплены элементы механизма вертикального перемещения держателя 5— электродвигатель 8 и блок 9 цепной передачи, образованной двумя звездочками 10 (верхней-и нижней) и цепью 11, на ветви которой установлен упор 12, предназначен, ный ля взаимодействия с нижней перекла диной рамы 4. На валу привода электродвигателя 8 размещены обгонная

1803207 муфта 13, на корпусе которой установлена нижняя звездочка 10 цепной передачи, и эксцентрик 14, на внешнюю поверхность которого напрессован подшипник 15, Верхняя звездочка 10 цепной передачи размещена на оси, закрепленной на блоке 9. Цепь

11 проходит через отверстие, выполненное в теле нижней перекладины рамы 4 и фактически служит тягой рамы 4 при ее подъеме.

Обгонная муфта 13 предназначена для "0 обеспечения сцепления вала электродвигателя 8 с нижней звездочкой 10 цепной тяги на время подъема и опускания рамы 4 с держателями 5 (для выгрузки обработанных изделий 7 из кассет 6 и загрузки новых на "5 обработку), Эксцентрик 14 с напрессован- ным на его внешнюю поверхность подшипником 15 предназначены для обеспечения плавного, без рывков вертикального возвратно-поступательного перемещения (но- 20 качивания) рамы 4 с держателями 5 во время обработки изделий 7 в ваннах 2, причем величина эксцентриситета определяет амплитуду покачивания рамы 4. В рассматриваемом примере реализации амплитуда покачивания составляет 60 мм. На чертеже не показаны средства загрузки-выгрузки изделий, цепи управления электродвигате-.. лем 8, средство подачи обрабатывающей жидкости, ультразвуковые преобразовате- 30 ли и др. элементы, не имеющие отношения к существу заявленного и технического решения, но очевидные при реализации устройства для применения его в полупроводниковом производстве.

Работа устройства для жидкостной обработки изделий происходит следующим образом.

В исходном состоянии рама 4 с держателями 5 находится в верхнем положении за счет взаимодействия нижней перекладины 40 рамы 4 с упором 12, В ванны 2 заливается обрабатывающая жидкость, а обрабатываемые изделия 7 загружаются в кассеты 6, ; которые устанавливают на опорах держателей 5. В верхнем положении держателя 5. 45 нижняя звездочка 10 цепной передачи находится в зацеплении с валом электродвигателя 8 посредством обгонной муфты 13, По окончании процесса загрузки включается электродвигатель 8, передающий вращение 50 нижней звездочки 10 цепной передачи, в результате чего упор 12 на ветви цепи 11 опускается вместе с рамой 4 и держателями

5. При таком направлении движения обгонная муфта 13 выводит звездочку 10 из за- 55 цепления с валом электродвигателя 8 и опускание рамы 4 по направляющим 3 происходит под действием собственного веса.;

При этом нижняя перекладина рамы 4 опирается на упор 12. Опускание рамы 4 и соответственно, погружение держателей 5 с обрабатывающими изделиями 7 в кассетах

6 в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью происходит до тех пор, пока нижняя перекладина рамы 4 не упрется во вращающийся вместе с эксцентриком 14 подшипник 15, препятствующий дальнейшему опусканию рамы 4. При этом держатели 5 с изделиями

7 занимают нижнее положение и полностью погружены в ванны 2 с обрабатывающей жидкостью. Поскольку рама 4 уже опирается не на упор 12, а на подшипник 15, то движение цепи 11 прекращается, а рама 4, взаимодействуя с подшипником 15, получает возвратно-поступательное вертикальное перемещение (покачивание) с амплитудой, равной величине эксцентриситета и с частотой вращения эксцентрика 14. При этом происходит жидкостная обработка изделий

7(в нашем случае с применением ультразвука в течение 3 — 5 мин). По завершении технологической операции осуществляется переключение направления вращения электродвигателя 8 (реверс), в результате чего обгонная муфта 13 снова вводит в зацепление звездочку 10 и вал привода электродвигателя 8, а цепь 11 начинает перемещаться в обратном направлении, при котором ветвь цепи 11 с упором 12 поднимается, а упор 12, взаимодействуя с нижней перекладиной ра-. мы 4, увлекает ее за собой вверх. Рама 4 по направляющим 3 поднимается до вышеопи санного верхнего положения, при котором происходит выгрузка обработанных изделий 7. Кассета 6 с иэделиями 7-снимается с опор держателя 5 и загружается новая, Далее процесс обработки происходит вышеописанным образом.

Предлагаемое устройство обеспечивает повышение качества обработки изделий за счет плавного вертикального возвратно-поступательного движения изделий, увеличивающего интенсивность обработки, особенно при использовании ультразвука.

При этом устройство позволяет одним приводом производить и подъем, и покачивание изделий, не внося загрязнений в зону обработки, поскольку над ней в отличие от устройства-прототипа отсутствуют трущиеся части, являющиеся источником загрязнений. Для перехода с одного вида движения на другой достаточно лишь переключить направление вращения электродвигателя. 8 этом состоят техническое и общественнополезное ..преимущества предложенного устройства перед прототипом. ,Формула изобретения

Устройство для жидкостной обработки изделий, содержащее ванну для обрабатывающей жидкости, держатель иэделий и

1803207 приводной механизм вертикального перемещения держателя, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что оно имеет раму. держатель изделий жестко закреплен на раме, механизм вертикального перемещения имеет цепную пере- 5 дачу, кинематически связанную с рамой, а вал привода снабжен обгонной муфтой. связанной с цепкой передачей, и эксцентриком с напрессованным на его внешнюю поверхность подшипником, установленным с возможностью взаимодействия с нижней частью рамы.

1803207

1803207

Составитель А. Варнаков

ТехРед M.ÌîÐãåíòàë КоРРектоР Н. Милюкова

Редактор Т, Куркова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1022 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитетА по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва; Ж-35. Раушская наб„4/5