Интерференциональный микроскоп
Использование: для исследования и анализа неоднородностей предмета. Сущность изобретения: в интерференционный микроскоп введена маска 3, расположенная в плоскости изображения 4 и выполненная в виде последовательности прозрачных и непрозрачных полос 5, совпадающих по .форме и размерам с интерференционными полосами б от предмета без неоднородностей и совмещенных с полосами интерференционной картины от исследуемого предмета 7, изображение которого находится в плоскости изображения 4. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР
{ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4915527/10 (22) 01.03.91 (46) 15.04.93. Бюл. M. 14 (75) IO, И. Ситник, (56) Борн М., Вольф Э. Основы оптики, M.:
Наука,1 970, с, 387-389, Розенберг Г. В. УФИ, 1953, с. 50; вып. 2, с. 280-281. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП, (57) Использование: для исследования и анализа неоднородностей предмета. Сущ„„50„„1809298 А1 (siis 601 В 9/02, 6 02 В 27/50 ность изобретения: в интерференционный микроскоп введена маска 3, расположенная в плоскости изображения 4 и выполненная в виде последовательности прозрачных и непрозрачных полос 5, совпадающих по .форме и размерам с интерференционными полосами 6 от предмета без неоднородностей и совмещенных с полосами интерференционной картины от исследуемого предмета 7, изображение которого находится в плоскости изображения 4. 1 ил. 809298 (ОСТ«)1ВИ)ель О,СИТИ "«К
8 к «)8Д М, М«11Г8 НТал
Р8А8КТор Т..»,1»)1гина
Корректор H.ÊOpOël= ь>31:аз 1 )7)1 l ира)к 110ДПиСНОО.
ВЦИ 1ЛИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ f C!„P
1 "130,")5, МО;.ква, Ж-". 5, Раушская наб,. 4/5
11рОЯ88011ственно-изДат8льс кий комбинат "11атент, Г. У»кгорОД, ул.1 ЛГари1»3, 191
Изобретение относится к 00»i3cTи огттики, В частности, к интерференц1»10нным уст" ройствам и может бь1ть испол1 ":08=..110 для исследования и анализа материало ", Црл) ц изобое-рн11з явл««««1 "q умень11)рНИ8 ТРУДОЕМКОС« И КОI-«ТРОЛЯ НЕОДНОРОДНОстай предмета в пре38TIBx аио«ины орной интеГ)ференци()н110@ Г1олосы, На чертежа предсга тена скема Г1редЛ «ГВЕМОГО Т8КНИ«1«,СК ° «-0 РРШ+«НИЛ
11Редлагаемы11 l" »: М содеР)У1»ГГ .-1НтеР"
Феаомето с С чИ 1,:1; одмет 2, маску ь расппло)кеннуьо Г11"„И,. Имрк)11)уio систему пол1ос )). Г)риче1" 01)ч» сь1 б совпада10т с ИГ 6, Гголу 1еннь1ми от предмета без неаднородНОСТЕЙ, ПО фОР1- . ". " СОГ«МЕЩЕН Ы С Н И1И«И, ФЗО рпа)ке.ll»)8 Предметд T 13XOql Интесферо .81„-. 1 дает изобракконие ппол»;"-"! »; т " »111 )Г)Г«3306311ными и,эодме" Y0R 2 и ЗЬ" в i IÏЙ 4, ЫаскA . .I c полосамl»I « О, -.38pl)ат Видимыми»y;,01 Я11 КОто«)1„;8 выаьляьот 1:11<. ели 1-рец 18т 2 не имеет неоднородностей, to 11«»ле зрения будет ОД.-10РОДНЫ»«), 3 80ËÈ ПРЕДМ«ЕТ 2 Имеет Н80»)ц »родНОСТ«И -Г1«В 1,11; На Нее Л; «Op»«Л»1;1 р l H возник,1ет градиент яркости, причем чем больше неоднородносгь тем сильнее будет грсадиент яркости при достаточно BbfcOKO!»! видности ИП. Таким образом, в ИПКМ повыц1аетсл ИК изоора)к811ия с сохранением Однооодности поля зоения 8 отсутствии неоднородностей на rlð8ÄI)«IOT8 jcc)I811083IIÈß, Ф О Р м У л а и 3 0 5 P 8 T 8 II l I é Интерференционный микроскоп, соД8Р)КЭЩ14й ОСВ8ТИТСЛЬНУК) СИСТЕМУ, ОПТИЧ8ску:о систему, формирук)щук) в плоскости изобра)кения интераерен1,:;ион)1ые полосы 1,) OT предмета с неодн01)0»дностями и 810 w30ора кение, и куляр», а л,. 3 к) ь, и H., ч Тем, ТО, С ЦЕЛЬК) УМ8НЬШ8НИЯ "« РУЦОЕМКОСТИ контроля 1180днородностей поЭдмета В пределак ширины однои интер,1)еренцио IH0I)I 2Q 11ОЛУЫ В НЕГР 088ã.8I!3 Ма«ска РаамеЩ811113Л В плоскости 1 зобг)аккенил и вы » 1Ã1íåííàß ф BvA8 Гъсследовательности прозрачных и неIlp03p3÷Hûx ГОлОс, совпадаг01дик по форме и размерам с полосами интер »еренционной 25 картины от предмрта без неоднородн-)отей, П»>ИЧем ПОЛОСЫ Н3 Магкс Сов«М«ЕЩЕ«НЬ«С ПОЛОсами интерференцио11ной картины, 
