Способ измерения линейных размеров изделий

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров перемычек упподвесов из оптически прозрачного стекла. Цель изобретения - расширение информативности способа за счет обеспечения возможности измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла. Контролируемый подвес в приспособлении устанавливают в прозрачном стакане на стоя микроскопа. Измерение перемычки проводят в проходящем свете от лампы оптической системой, Для обеспечения возможности отсчета толщины перемычки из оптически прозрачного стекла измерение проводят в оптически прозрачной жидкости , например в воде, насыщаемой газом, а отсчет показаний производят по границе газовый пузырь - стенка рабочей перемычки. Жидкость заливают в стакан на одном уровне с торцом контролируемой перемычки. При измерении проводят совмещение визира с границей пузырь - перемычка подвеса. Отсчет показаний можно проводить и по границе металлическая пленка - стенка перемычки , напыляемой на стенки перемычки подвеса. 4 ил. fe

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕН.ЮЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4935135/28 (22) 07.05.91 (46) 23.04.93. Бюл. ЬЬ 15

P1) Научно-исследовательский институт физических измерений (72) В.Г.Кафтанатьев, В.Ф.Найко и А.И.Цапулин (56) Быстров Ю.А., Колгин Е.А., Котлецов

Б.H. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. М.: Радио и связь, 1988, с. 168.

Быстров Ю.А. и др. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. М.: Радио и связь, 1988, с. 10. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ

РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров перемычек упру их подвесов из оптически прозрачного стекла. Цель изобретения — расширение информативности способа за счет обеспечеИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров. перемычек упругих подвесов иэ оптически прозрачного стекла.

Цель изобретения — расширение информативности способа за счет обеспечения возможности измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла.

На фиг. 1 изображена оптическая схема для осуществления предлагаемого способа;

- на фиг. 2-4 — виды, поясняющие способ..... Ж„, 1810749 А1 (st)s G 01 В 11/02 ния возможности измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла. Контролируемый подвес в приспособлении устанавливают в прозрачном стакане на стоп микроскопа, Измерение перемычки проводят в проходящем свете от лампы оптической системой, Для обеспечения возможности отсчета толщины перемычки из оптически прозрачного стекла измерение проводят в оптически прозрачной жидкости, например в воде, насыщаемой газом, а отсчет показаний производят по границе газовый пузырь — стенка рабочей перемычки.

Жидкость заливают в стакан на одном уровне с торцом контролируемой перемычки.

При измерении проводят совмещение визира с границей пузырь — перемычка подвеса.

Отсчет показаний можно проводить и по границе металлическая пленка — стенка перемычки, напыляемой на стенки перемычки подвеса. 4 ил.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Контролируемое изделие — подвес 1 в приспособлении 2 устанавливают s стакане

3 на стол 4 микроскопа.

В стакан 3 заливают оптически прозрачную жидкость 5, например воду. При заливании воды в стакан 3 происходит ее гаэонасыщение воздухом атмосферы. Заливку жидкости 5 проводят до уровня 6 контролируемой перемычки подвесэ 1.

Фокусируют микроскоп на торец перемычки, совмещают визир 7 микроскопа с границей воздушный пузырь 8 — стенка перемычки 9 подвеса и производят отсчет по1810749 казаний микроскопа в проходящем свете от лампы 10 через оптическую систему, состоящую из элементов 11-19.

Наличие оптически прозрачной газонасыщенной жидкости среды, в которой производят измерение, а также наличие четкой границы газовый пузырь — стенка позволяют проводить отсчет показаний от оптически прозрачной перемычки подвеса. В проходящем свете стенки газового пузыря

8 высвечиваются в отличие от прозрачной перемычки подвеса, Это создает дополнительный контраст контролируемого изображения, что упрощает технологию контроля перемычек подвеса. Проводить контроль возможно и в воздушной среде, если на перемычки 9 подвеса нанести металлиэацию 20; что в отдельных конструкциях допустимо.

Пример, Подвесы иэ кварцевого 20 стекла КУ-1 толщиной 500 мкм и толщиной перемычек 20 мкм контролировались на микроскопе ММИ-2. Диаметр газовых пузырей, прилипавших к стенкам, составил около 50

25 мкм, что позволяет четко проводить фокусировку и отсчет показаний при измерении.

Точность измерений составила 5 мкм, что соответствовало паспортным данным микроскопа ММИ-2 для измерения оптически непрозрачных деталей, Формула изобретения

Способ измерения линейных размеров изделий, заключающийся в том, что используют измерительный оптический микроскоп и производят отсчет показаний линейных размеров иэделия, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности способа за счет обеспечения измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла, помещают подвес в оптически прозрачную жидкость, насыщают в процессе измерения жидкость газом, а отсчет показаний толщины и симметричности перемычек производят при совмещении визира микроскопа с границей воздушного газового пузыря.

1810749

Составитель В.Кафтанатьев

Техред М.Моргентал Корректор М.Максимишинец

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1439 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5