Вибрационный доводочный станок

 

Использование: для притирки тонких и хрупких деталей, например полупроводни .-. 2 ... . : - .. крвых пластин. Сущность изобретения: электромагнитные вибровозбудители сообщают соосным доводочным дискам, установленным на упругих стержнях, антифазные круговые колебания. На обоих антифазно колеблющихся дисках собсно закреплены два кольца, а на водиле установлен жесткий обод с возможностью одновременных контактов с обоими приводными кольцами через фрикционные упругие элементы. 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 В 24 В 37/04

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4819360/08 (22) 25,04.90 (46) 30.04,93, Бюл. Иг 16 (75) В.А,Повидайло и P.ß.Ñàxíî (56) Авторское свидетельство СССР

N 1458187, кл, В 24 В 37/04, 1987. (54) ВИБРАЦИОННЫЙ ДОВОДОЧНЫЙ

СТАНОК (57) Использование: для притирки тонких и хрупких деталей, например полупроводниИзобретение относится. к станкостроению и может быть использовано в электронном машиностроении для 2-сторонней обработки полупроводниковых пластинподложек.

Цель изобретения — повышение качества обработки.

На фиг,1 изображен вибрационный доводочный станок, общий вид. на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; фиг.3 и фиг. 4 — схема усилий, действующих в точках контакта колец с кожухом.

Вибрационный доводочный станок содержит соосно расположенные верхний 1 нижний 2 доводочные диски, установленные на соответствующих упругих системах из вертикальных цилиндрических стержней

3 и 4, верхние концы которых жестко связаны с фланцами 5 и 6, а нижние закреплены в общем основании 7, В нижней части упругих систем, граничной с основанием, на цилиндрических стержнях 3 и 4 жестко закреплены фланцы 8 и 9 с установленными на них элементами вибровозбудителей круговых колебаний — якорями и электромагнитами, выполненными из одинаковых магнитопроводов 10 и кату. Ж 1812079 А1 ковых пластин. Сущность изобретения: электромагнитные вибровозбудители сообщают соосным доводочным дискам, установленным на упругих стержнях; антифазные круговые колебания. Йа обоих антифазно колеблющихся дисках соосно закреплены два кольца, а на водиле установлен жесткий обод с возможностью одновременных"контактов с обоими приводными кольцами через фрикционные уп ругие элементы. 4 ил. шек с обмотками 11. Нижний доводочный диск крепится непосредственно к фланцу 6, а верхний соединен с фланцем 5 посредством труб 12 и плоской фасонной пружины

13. Периферийная часть пружины 13 жестко прйкреплена к диску, а центральная — к конической втулке 14, присоединенной к трубе 12 посредством цанги 15 с зажимной гайкой 16.

На обеих антифазно колеблющихся массах соосно закреплены два кольца: кольцо 18, закрепленное на доводочном диске 2, и кольцо 19, прикрепленное к фланцу 5 посредством кронштейнов 20. Кольца 18 и 19, снабженные ободами из фрикционного упругого материала охватывает кольцевой кожух 21, к которому прикреплено водило 22 с отверстиями для обрабатываемых деталей.

Кожух 21 размещен с возможностью взаи- модействия с каждым из колец 18 и 19 в диаметрально расположенных точках через фрикционные упругие ободы 23.

Вибрационный доводочный станок работает следующим образом. На нижний доводочный диск 2 при снятом верхнем диске, 1 устанавливается водило 22 с жестким кольцевым кожухом 21. В водиле размещают подлежащие обработке детали — пластины. На центральную трубу 12 надева от верхний доводочный диск 1 и закрепляют на трубе посредством цангового зажима 16.

Обработка ВВДется алзмано-абразивной пастой, наносимой на рабочие поверхности

ДОВОДОЧНЫХ ДИСКОВ.

При включении электромагнитных вибровозбудителей 10 на фланцы 8 и 9 воздействуют силы, возбуждающие круговые антифазные колебания доводочных дисков, при которых кольца 18 и 19 контактируют через фрикционный упругий обод 23 с рабочей поверхностью жесткого кольцевого кожуха 21 в диаметрально противоположных точках (фиг.3), Внутренний диаметр кожуха 21 ограничивает возможность радиальных перемещений колец 18 и 19 В противоположные стороны, "а следовательно, возможность возрастания связанных с ними амплитуд колебании Дисков. Величина амплитуды Воз" буждающей силы вибровозбудителя:

„. М А сО

p Z а величина амплитуды колебаний доводочных диСкОВ

М Г d = Й Ы где F — сила трения; Π— диаметр жесткого кожуха; и — сила нормального давления, f— коэффициент трения.

В следующую четверть периода силы нормального давления, как и силы трения, будут приложены к точкам жесткого кожуха, смещенным на 90О, как показано на фиг,4, и образу от крутящий момент такой же величины и направления, как и в предыдущем случае.

5 Жесткий кольцевой кожух 21, ограничивая воэможность возрастания амплитуд, стабилизирует колебания доводочных дисков, что обеспечивает повышение качества обработки на 10-157, а также, позволял

"0 настраивать систему ближе к резонансу, снижает потребляему о мощность и повышает КПД станка, Одновременно стабилизируется вращение водила и повышается в

2 раза крутящий момент по сравнению с величиной крутящего момента, имеющемся в конструкции по основному изобретени о.

Формула изобретения

Вибрационный доводочный станок, со20 держащий закрепленные на упругих стержнях два соосных доводочных диска; расположенные на стержнях вибровозбудители круговых колебаний и водило для обрабатываемой детали, о т л и ч а ю щ и и с я

25 тем, что, с целью повышения качества обработки, станок снабжен двумя кольцами с внешними ободами из фрикционного упругого материала, установленными на сооТветствующих дисках, и охватывающим

30 кольца и размещенным с возмо>кностью

Взаимодействия с каждым иэ них в диаметрально расположенных точках кожухом, предназначенным для закрепления на водиле для обрабатываемой детали.

В

1812079

Составитель В. Повидайло

Техред M,Mîðãåíòàë Корректор С. Лисина

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 1552 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Уосква, Ж-35, Раушская наб., 4/5