Диффузионный насос

 

Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: к орпус выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой. Нижняя часть выполнена металлической, средняя из материала с низким коэффициентом теплопередачи, верхняя связана с системой охлаждения. Нижняя часть корпуса покрыта теплоизоляционным материалом, средняя выполнена керамической, верхняя в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия. Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)л F 04 F 9/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4951791/29 (22) 28.06.91 (46) 07.05.93. Бюл.N 17 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) И,Ю.Григорьев, Е.Н,Ивашов, С.M.Oðèíчев, А.П.Паршиков, С.В.Степанчиков и П.А.Цветков (56) Авторское свидетельство СССР

N 1276856, кл, F 04 F 9/00, 1985.

Вакуумная техника. Справочник. Фролов Е.С., Минайчев R.Å., Александрова А,Т, и др. M,: Машиностроение, 1988, с.244, рис.10.25.

Изобретение относится к вакуумной технике, а более конкретно к диффузионным насосам для откачки вакуумных объемов технологического оборудования с

:контролируемыми параметрами экологии среды.

Цель изобретения — повышение производительности насоса при снижении потребляемой энергии.

Сущность изобретения поясняется чертежом, где показана конструкция диффузионного насоса.

Диффузионный насос содержит корпус

1, нагреватель 2, систему охлаждения 3 и систем улавливания паров масла 4. Корпус

1 выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя часть 5 металлическая, покрыта теплоизоляционным материалом 6, средняя часть 7 иэ материала с низким коэффициентом теплопроводности, керамическая, а верхняя часть связана с системой охлаждения и выполнена в виде цилиндрической тепловой трубы 9 радиального действия, Причем отношение, Ы, 1813933 А1 (54) ДИФФУЭИОННЫЙ НАСОС (57) Использование: в вакуумной технике.

Сущность изобретения: корпус выполнен составным из трех частей, герметично связанных между собой, Нижняя часть выполнена металлической, средняя из материала с низким коэффициентом теплопередачи, верхняя связана с системой охлаждения.

Нижняя часть корпуса покрыта теплоизоляционным материалом, средняя выполнена керамической, верхняя в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия.

Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса составляет соответственно

1/4:1,1/4:1 и 1/2:1. 1 ил. (Я . длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4;1,1/4;1 и 1/2:1.

Диффузионный насос работает следующим образом, В результате нагрева нижней части 5 насоса происходит испарение рабочей жидкости (масла), которая условно не показана. ююй

Происходит диффузия остаточных молекул Оь газа в обьем диффузионного насоса. Интен- 0 сивное охлаждение паров масла обеспечи- (ф) вается посредством тепловой трубы 9 (Д радиального действия и системы охлаждения 3. Повншеннэя эффективность окяеждения и снижение энергозатрат на нагрев и испарение масла достигается посредством использования керамического материала (материала с низким коэффициентом теплопроводности), из которого выполнена средняя часть 7 диффузионного насоса.

Наличие теплоизоляции на нижней части 5 насоса позволяет сократить до минимума энергопотери и, следовательно, снизить

1813933

Составитель С,Степанчиков.

Техред М.Моргентал Корректор М.Керецман

Редактор В.Савина

Заказ 1820 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 потребляемую энергию на эксплуатацию насоса.

Экспериментальные исследования опытной конструкции диффузионного насоса позволили предложить оптимальные соотношения между длинами каждой из частей насоса: 1/4:1/4,1/2.

Применение конструкции диффузионного насоса позволяет повысить его производительность при снижении потребляемой энергии, а также улучшить экологию остаточной газовой среды, Формула изобретения

Диффузионный насос, например для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным иэ трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых — металлическая, средняя выполнена иэ материала с низким коэффициентом теплопроводности, а верхняя связана с системой охлаждения, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности насоса при снижении потребляемой

10 энергии. нижняя часть корпуса покрыта теплоиэоляционным материалом, средняя часть выполнена керамической, а верхняя— в виде цилиндрической тепловой трубы радиального действия, причем отношение

15 длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет соответственно 1/4:1,1/4:1 и 1/2:1.