Патент ссср 190493
О П И С А Н И Е l90493
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Сооетскик
Социалистическик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21g, 13/04
Заявлено 29Х1.1965 (№ 1014742/26-25) с присоедипеиием заявки №
Приоритет
Опубликовано 29.XII.1966. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 31.1,19á7
Комитет ао долом изобретений и открытий ари Совете Миниотроо .
СССР мпК í 0»
УД К 621.385.032.213: 537.
583 (088.8) В. В. Андреев, В. Н. Ильин, Ю. В. Куликов, A. Г. Родкйн и В. А. Смирнов
Авторы изобретения.КАй
Заявитель спосоБ нАнесения эмиссионных поКРытии
НА КЕРНЫ КАТОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ
Известен способ нанесения эмиссионныхпокрытий на керны катодов электровакуумных приборов путем плазменного напыления в среде инертного газа (аргона или гелия) окислов щелочноземельных металлов. Однако, окислы щелочноземельных металлов, превращаясь на воздухе в гидроокиси, ухудшаются как эмиттеры.
Предлагаемый способ отличается тем, что в плазменную струю вводят карбонаты щелочноземельных металлов. Это позволяет улучшить свойства эмиттеров, так как карбонаты щелочноземельных металлов устойчивы на воздухе, и упрощает технологический процесс
rrанесення покрытия на керне катодов.
Предлагаемый способ состоит в том, что в плазменную аргоногелиевую струю удельной мощностью 50 — 100 квт/см- вводят порошок карбонатов щелочноземельных металлов. При этом карбонаты превращаются в расплавленные окислы. Для получения однородных по толщине и составу тонких покрытий используются порошки тройного мелкозернистого карбоната (со средним размером частиц
1,5 лтклт), малая (не более 1 г/мин) подача ьещества в сопло и быстрое (не менее 0,5
-»/ñåê) перемещение покрываемого катода относительно сопла плазменной горелки. Чтобы обеспечить нанесение частиц порошка эмиттера в расплавленном виде и не допустить перегрева керна катода, расстояние от сопла горелки до керна выбирается в пределах 30—
50 мли
Химический анализ полученных покрытий
5 показал, что они полностью состоят из окислов щелочноземельных металлов. Можно получить покрытия толщиной от нескольких микрон до нескольких десятков микрон. При этом плотность покрытия составляет не менее
I0 75% от плотности компактных окислов, а шероховатость поверхности тонких (5 — 10 мкм) покрытий соизмерима с величиной частиц исходного карбоната и не превышает 2 — 3 лткм.
При обследовании свойств катода, полу15 ченных с помощью предлагаемого способа,установлено, что они могут храниться на воздухе в течение 3-х суток, имеют низкое газоотделение и по эмиссионным свойствам не уступают лучшим образцам катодов на основе
20 карбонатных покрытий.
Кроме того, предлагаемым способом можно наносить однородные =-миссионные покрытия на основе окиси тория, окиси итрия и др, Предмет изобретения
Способ rraHecerrrrsi 3»!Hcc rorrrrbrx покрытий на керны катодов электровакуумных приборов с помощью плазменной аргоногелиевой струи, отличсиощийся тем, что, с целью упрощения
30 технологического процесса нанесения покры190493
Составитель И. С. Ратенберг
Редактор В. Дербинов Техред Т. П. Курилко Корректоры О Б Тюрина и С. М. Белугина
Заказ 4460j4 Тираж 535 Подл к печ. "1.1.1967. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 тия, в плазменную струю удельной мощностью
50 — 100 квт/смв вводят порошок карбонатов щелочноземельпых металлов с размером зерна 1 — 5 мкм.