Патент ссср 191002
О П И С А Н И Е l9IGG2
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскиз
Сопиапистнчесииз
Республин
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 22,III.1965 (№ 947903/26-25) Кл. 21д, 21/01 с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.I.1967. Бюллетень № 3
Комитет по делам
MHK H 0II
У Д К 66.041.456-982:
: 621.389 (088.8) изобретений и открытии при Совете Министров
СССР
Дата опубликования описания 9.III.1967
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ
Описываемое изобретение может быть использовано в электровакуумной промышленности для получения многослойных особочистых пленочных покрытий методами вакуумного напыления.
В известных автотигельных испарителях с нагревом штабикового материала электронной бомбардировкой невозможно последовательное испарение ряда различных материалов из одного охлаждаемого тигля при нагреве штабиков одним источником нагрева без загрязнения распыляемого материала остатками от предыдущего испарения, которые могут находиться на стенках тигля в виде брызг и пленки. Для устранения этого недостатка предлагается ввести в устройство тигли-спутники для набора испаряемых веществ.
На чертеже изображено описываемое устройство, общий вид.
Оно содержит электронную пушку 1, которая доводит испаряемый материал до требуемой температуры; магнит 2, направляющий и фокусирующий электронный пучок; стационарный, охлаждаемый водой, тигель 3; поворотную головку 4 с тиглями-спутниками 5, число которых и материал определяются испаряемыми штабиками б; устройство 7 для периодического вращения поворотной головки на угол, соответствующий углу совмещения отверстия охлаждаемого тигля 3 и тигля-спутника 5.
Механизм поступательного движения для непрерывной или периодической подачи штабиков в зону испарения состоит из привода 8, штока 9, толкателя 10 и компенсатора 11.
Многокомпонентный автотигельный испаритель собирается на отдельном фланце с металлическими уплотнителями. Конструкция допускает прогрев для обезгаживания всего устройства до 400 — 450 С.
Работает данное устройство следующим образом. Поворотная головка 4 с тиглями-спутниками 5, выведенными из охлаждаемого тигля 3, поворачивается от устройства 7 поворота головки таким образом, что необходимый штабик для испарения в своем тигле-спутнике устанавливается против отверстия охлаждаемого тигля 3. Далее механизм подачи штабиков досылает головку вверх по упора в охлаждаемый тигель. Включается электронная пушка 1 и начинается процесс испарения. По мере испарения штабик подается с необходимой скоростью непрерывно или периодически в зону фокуса электронного луча, т. е. в зону испарения, толкателем 10.
По окончании испарения подающий механизм возвращается в исходное положение и выводит тигель-спутник пз охлаждаемого тиг30 ля. Затем цикл повторяется. но уже с другим
1910О2
Составитель В. А, Багданова
Редактор Н. Джарагетти Техред Л. Бриккер Корректоры: М. П. Ромашова и С. М. Белугина
Заказ 26877 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр, Сапунова, 2 тиглем-спутником, в котором установлен очередной испаряемый штабик.
Таким образом, каждый материал испаряется из своего тигля-спутника, охлаждаемого в процессе испарения вследствие контакта с холодными стенками одного неподвижного тигля, охлаждаемого водой.
Предмет изобре-ения
Устройство для испарения материалов в вакууме, содержащее электронную пушку, механизм подачи испаряемого материала в зону испарения и охлаждаемый тигель, отличаюи ееся тем, что, с целью устранения загрязнения испаряемого материала, оно содержит диск с укрепленными в нем тиглямиспутниками для различных испаряемых веществ, которые поочередно вводятся в стационарный охлаждаемый тигель.
