Оптико-электронное устройство для измерения линейных размеров деталей

 

- 433О

Goes Советскик

Социалистических

Республик

Завис (вloc от авт. свидетельства ¹

1,л, 12Ь, 12/01

42Ь, 12, 02

Заяьлснс 29.Я.1965 (А 1040315/25-28) с присоединением заявки ¹

Приоритет

МП1 G 01Ь

G 01b

УД1< 581 717.86.082 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 30.111.1967. Б!Оллстспь ¹ 8

Дата опубликованпя описания 29Х.1967

ОПТИКО-ЭЛ ЕКТРОН НО Е УСТРОЙ СТВО

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЬ1Х РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙ

Известно оптико-электронное устройство для измерения линейных перемещений. Известное устройство содержит интерферометр с подвижным отражателем, установлснпым па каретке, интерференционный модулятор с источником модулирующих колебаний, фотоэлектрический преобразователь, преобразующий выходной пучок интерферометра в электрический сигнал и соединенный с усилителем переменного тока, счетчик интерферепциош|ых полос и интерполятор полосы.

Точность известного устройства зависит ог направления движения каретки и поэтому является постоянньп! источником ошибок.

Предложенное устройство отличается от изВ cTHoro тем, ITo, с целью повышения точности измерения, опо снабжено пластиной, установленной па пути выходного пучка интерферометра и разделяющей этот пучок на два, один из которых преобразуется фотоэлсктрп чсским преобразователем и усиливается усилителем персме!1ПОГО тока, Вт013ым фотоэлек. трическим преобразователем, установленным пя H) Tè ВторОГО пу !кя, Вторых(j снлителеы пс

PCS!C«(TO(O ТОКЯ, Э 1LKTPH ICCKH СВЯЗЯННЫМ СО вторым фотоэлектрическим преобразователем, двумя щслевыми диафрагмами, ycTHHOIIлепными перед каждым фотоэлектрическим преобразователем и вырезающими из интерференционной полосы участки, сдвинутые по фазе на 90", двумя фазовыми демодуляторами, одни входы которых соединены с усилителями переменно.о тока, другие — соединены с исто Пинком модулирующих колебашш, а выходы демодуляторов соединены со входами реверсивного счетчика интерфсренциопных полос и интсрполятора «ïòñðôñpclii!Ho!Iiioi(пОлОсы.

1IH чертеже дана схема предлагаемого усrройства.

1о Оптическая часть устройстьа базируется на примепсчии интерферометра, образуемого осветителем 1, разделительной пластиной 2, неподвпжныъ(Отряжятелел(3, закреп.7снныа(HQ

IlilTcpg) cpcllllHoHHoII модуляторе 4, подвиж15 ным отражателем 5, установлснHüïl на каретке 6, на которой закрепляется и измеряемая деталь А.

Выходной пучок пнтерферомстра пластиной

20 7 разделяется па два пучка, падающие на щелевыс диафрагмы 8, вырсзающие из интерференционной полосы участки, сдвинутые на 90=.

За диа(ррагмазш установлены фотоэлектрические преоб1эязовятсли 9, сигнялъ| с которых

25 подаются на входы усилителей 10 переменного тока. На од|ш входы фазовых демодуляторов 11 поступают сигналы от усилителей 10, а на другие — от источника 12 модулнрующих колебаний. Выходы демодуляторов электриче80 ски соединены со входами реверсивного счет194330

Предмет изобретения

Составитель Г. Ф. Корчагина

Редактор Б. С, Нанкина Тсхред Л. Бриккер Корректоры: О. Б. Тюрина и Е. Н. Гудзова

Заказ !4б9!1 Тираж 535 Подписное

Ц1-1ИИП1Л Комитета по делам пзооретснпй и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типовj) ())llп, Ill). Сапу)IQBB, 2 чика И интерференционных полос и интсрполятора 14 интерференционной полосы.

При движении каретки изменяется угол сдвига фаз между модулированным и модулирующим сигналами, величина которого пропорциональна длине линейного псремсщештя каретки.

Сочетание интерференционного метода с фотоэлектрическим двухканальным устройством, работающим на переменном токе, позволяет измерять линейные перемещения в пределах монохроматичности осветителя с высокой точностью.

Оптико-электронное устройство для измере-. ния линейных размеров деталей, содержащее интерферометр с кареткой, на которой закреплен один из отражателей интерферометра и установлена измеряемая деталь, иптерфсрепционный модулятор с источником модулирующих колебаний, фотоэлектрический преобразователь, преобразующий выходной пучок интерферомегра в электрический сигнал и сосдиненный с усилителем переменного тока, реверсивный счетчик интерференциоппых полос и интерполятор полосы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено пластиной, установленной на пути выходного пучка интерферометра и разделяющей этот пучок на два, один из которых преооразуется фотоэлектрическим преобразователем и усиливается усилителем переменно10 го тока, вторым фотоэлектрическим преобразователем, установленным на пути второго пучка, вторым усилителем переменного тока, электрически связанным со вторым фотоэлектрическим преобразователем, двумя щелевы15 ми диафрагмами, установленными перед каждым фотоэлектрическим преобразователем и вырезающими из интерференционой полосы участки, сдвинутые по фазе на 90, двумя фазовыми демодуляторами, одни входы которых

20: соединены с усилителями переменного тока, другие — соединены с источником модулирующих колебаний, а выходы демодуляторов соединены со входами реверсивного счетчика интсрференционных полос и интерполятора ин25 терференционной полосы.