Оптико-электронное устройство для контроля прямолинейности направляющих

 

ОПИСАН И Е

ЙЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l98689

Со>са Соеетскна

Саниалистичвснил

Ресауелии

Зависимое от авт. свидетсльства ¹

Кл. 42Ь, 12/02

42Ь, 12/03

Заявлено 05 т/111.1965 (№ 1022028/25-28) с присоединением заявки ¹

МПК G 01Ь

G 01Ь

УДК 531.717.86.082 (088.8) Приоритет

Опубликовано 28 1/1.1967. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 18 VI II.1967

Комитет па делам изобретений и открытий прн Совете Министров

СССР = -: С...:,„... т „

Ю. Н. Шестопалов

> ч ъ PI)1.

1- Н Тр>0

ВСЕСОЮЗНЫЙ НауЧНО-ИССЛЕдОВатЕЛЬСКИй ИНСтИтут МЕтрОЛС ИИ пИ"ЕС>",!iI U > им. Д. И. Менделеева БЯБ-IИ07 .

Автор изобретения

Заявитель

ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ НАПРАВЛЯЮЩИХ

Известно оптическое устройство для контроля прямолинейности направляющих, работающее по фазоизмерительному способу. Такое устройство содержит ннтерферомстр, один из отражателей которого изменяет прп повороте ширину интерферснциош|ых полос, стеклянную пластину, два фотоэлектрических преобразователя, фазоизмерительное устройство с регистрирующими отсчетными приборами, счетчик интерференционных полос с регулируемым коэффициентом пересчета.

Предложенное устройство снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен один из отражателей интерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соединены с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источником компенсационного воздействия, напрнмер управляемым выпрямителем напряжения, соединенным с усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.

Благодаря такому выполнению устройства повышается точность контроля.

На чертеже приведена блок-схема описываемого устройства.

Оптико-электронное устройство представляет собой интерферометр, состоящий из осветителя 1, разделительной пластины 2, с неподвнжного призмепного отражателя 3, подвижIIîãî призменного отражателя 4, который устаIIовлсн на каретке 5, перемещающейся по контролируемым направляющим 6. Устройство содержит раздслнпгельную пластину 7, две щелевые диафрагмы 8, два фотоэлектрических преобразователя 9 и счетчик 10 интерференцнонных полос с регулируемым коэффициентом пересчета.

10 K датчику 11 линейных перемещений прикреплен отражатель 3 интерферометра. Входы фазового нуль-органа 12 соединены с фотоэлектрическими преобразователями 9. Усилитель 13 электрически связан с фазовым нуль15 органом. Источник 14 компенсационного воздействия соединен с усилителем 13 и выдает сигнал на датчик 11 и далее на регистрирующий 15 и отсчетный 16 приборы.

Выходной пучок интерферометра пластиной

20 7 разделяется на два пучка, падающие на щелевые диафрагмы 8, вырезающие из одной пространсгвенно разделенной полосы (или разных полос) участки, сдвинутые на некоторый постоянный по фазе угол, и имеющие ширину, 25 .>емпого меньшую ширины интерференционной полосы. За диафрагмами установлены фотоэлектрические преобразователи 9, сигналы которых подаются на в*ход фазового нуль-органа

12, регистрирующего отклонение от заданного

30 по фазе угла вследствие изменения ширичы

198689

Составитель Г. Ф. Корчагина

Редактор T. Рыбалова Текред Л. Я. Бриккер Корректоры: Г. Е. Опарина и Н. И. Быстрова

Заказ 2709/7 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типографии, пр. Сапунова, 2

3 интерференционной полосы. Сигнал, пропорциональный величине и знаку изменения ширины интерференционной полосы, усиливается усилителем И и поступает на вход управляемого источника 14, выход которого подключен к датчику 11. Под действием сигнала датчик наклоняет призменный отражатель до тех пор, пока ширина интерференционной полосы IIc станет равной первочачальной ширине полосы.

Сигнал компенсационного воздействия поступает на вход отсчетного прибора 16 и регистрационного прибора 15. Счетчик 10 с регулируемым коэффициентом пересчета подает импульсы на прибор 15 для получения масштабных отметок на кривой погрешности.

Предмет изобретения

Оптико-электронное устройство для контроля прямолинейности направляющих, содержащее интерферометр, один из отражателей которого установлен на каретке, перемещающ=ися по контролируемым направляющим, стсклянную пластину, разделяющую выходной пучок интерферометра на два пучка, две щелепые диафрагмы, перекрывающие эти пучки, два фотоэлектрических преобразователя, установленных за диафрагмами, счетчик интерференционных полос с регулируемым коэффициентом пересчета, обеспечивающим получение отметок линейного масштаба на графике погрешностей, регистрирующий и отсчетный приооры, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено датчиком линейных перемещений, к которому прикреплен второй отражатель интерферометра, фазовым нуль-органом, входы которого соеди15 иены с фотоэлектрическими преобразователями, усилителем, электрически связанным с фазовым нуль-органом, источником компенсационного воздействия, например, управляемым выпрямителем напряжения, соединенным с

20 усилителем и выдающим сигнал на датчик линейных перемещений и на регистрирующий и отсчетный приборы.