Прогреваемый сверхвысоковакуумный затвор

 

1. ПРОГРЕВАЕМЫЙ СВЕРХВЫСО- КОВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий корпус с фланцем для подсоединения к насосу, приводной механизм, фланец для подсоединения к вакуумпроводу, сопло и подвижной гермети^зир^- |дий узел, контактный пружинящийстакан которого составляет с седлом и с нанесенным на нем слоем пластичного металла самотормозящуюся уплотняющуюся пару, о т л и ч а ю щ It й~ с я тем, что, с целью повышения надежности уплотнения и уменьщения размеров и веса вакуумных систем, подвижной герметизирунн1цй* узел выполнен в виде вибратора, жестко соединенного с пружинящим стаканом.2. Затвор ПОП.1, отличающийся гем, что в нем использован магнитострикционный вибратор.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

69) SUm>

t5g4 F 16 К 49/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 1044300/26-25 (22) 21. 12. 65 (46) 07.09.88, Бюл. Ф 33 (72) Г.Л.Саксаганский (53) 021 642.6(088.8) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И О П РИТИЙ (54) (57) 1. ПРОГРЕВАЕИЫЙ СВЕРХВЫСОКОВАКУУИНЫИ ЗАТВОР, содержащий корпус с фланцем для подсоединения к насосу, приводной механизм, фланец для подсоединения к вакуумпроводу, сопло и подвижной герметизирую1п ий узел, контактный пружинящий стакан которого составляет с седлом и с нанесенным на нем слоем пластичного металла самотормозящуюся уплотняющуюся пару, о т л и ч а ю щ И йс я тем, что, с целью повьияения надежности уплотнения и умень@ения размеров и веса вакуумных систем, подвижной герметизирующий узел вы" полнен в виде вибратора, жестко соединенного с пружинящим стаканом.

2. Затвор по п.1 о т л и ч а юшийся тем, что в нем использован магнитострикционный вибратор.

202670

ВНИКПИ Заказ 5 58

Изобретение относится к устройствам вакуумных систем электрофизических установок.

Известные прогреваемые высоко5 вакуумные затворы требуют передачи на уплотняемые элементы значительных контактных усилителей, что приводит к громоздкости, большому весу и сложности выполнения привода, например 1О пневмо- или гндромеханического,преоб" разующего подводимую мощность в малые перемещения контактных деталей. Кроме того, затворы такого типа недос" таточно надежны в работе. 15

Описываемый затвор позволяет повысить надежность уплотнения и значительно уменьшить размеры и вес вакуумных систем.

Достигается это тем, что подвижной2О герметизирующий узел затвора выпол" нен в виде вибратора, жестко соединенного с пружинящим стаканом. В качестве вибратора применено магнито стрикционное устройство., 25

На чертеже показан схематически предлагаемый затвор.

Затвор оостоит из корпуса 1 с подсоединительными фланцами 2 и 3 и фланцем 4, герметично соединенным прокладкой 5 с опорным диском 6 и направляющей втулкой 7 герметизирующего узла, крьзпки 8, жестко связанной с корпусом 1, и приводного винта 9.

Герметизирующий узел состоит иэ што,ка 10 с резьбовьм наконечнйком 11 и жестко соединенного со штоком магнитострикционного вибратора 12 * электрической обмоткой 13 и электрическими вводами, приваренного к диску 14 с фигурньж стаканом 15, сопряженным с коническим седлом 16. Вибратор 12 с обмоткой 13 и шток 10 расположены внутри полости, образованной сильфоном 17, герметично приваренным к дис- 5 кам 14 и 6. Благодаря этому все пространство внутри сильфона 17 разобщено с вакуумным объемом.

На выпуклую сфероидальную поверхность стакана f5, сопрягаемую с седлом 16, нанесен тонкий (20-50 мк) Произв.-полигр. пр-тие, г. слой пластичного металла, например меди. Электропитание на обмотку 13 йодается через контакты 18.

Затвор работает следующим образом.

При вращении приводного винта 9 герметизирующий узел, находившийся первоначально в крайнем правом положении (" затвор открыт"), перемещается, растягивая сильфон 17 по направлякяцей втулке 7 влево до соприкосновения контактных поверхностей фигурного стакана 15 и седла f6. этот момент включают вибратор 12 и дальнейшее небольшое (доли миллиметра) перемещение стакана 15 влево сонроволдается воздействием на контактные поверхности одновременно возрастающего усилия от винтовой пары и знакопеременного усилия от вибратора.Это в совокупности обеспечивает быстрое и надежное перекрытие вакуумпровода сравнительно небольшим усилием привода. Сочетание конической формы седла 16, выполнение стакана t5 в виде упругого полого конуса и придание паре "седло-стакан" свойств самотормозящегося клина дает дополнительный выигрыш в величине контактных давлений. Благодаря этому контактные усилия 8 герметизированном уплотнении сохраняются даже при последующем полном снятии осевой нагрузки и вы" ключении вибратора.

Открывается затвор в обратном по- . рядке.

Аналогичным образом могут быть выполнены конструкции затворов с рычажным, пневмо- и гндромеханическим приводом и модификации сверхвысоковакуумных шиберов..

Применение затворов предпагаемой конструкции наиболее целесообразно в крупных сверхвысоковакуумных установках, содержащих большое количество запорных устройств, так как в этом случае источник питания внбраторов всех затворов (например, ультразвуковой генератор) может быть общим.

Тираж 784 По сное

Ужгород, ул. Проектная,