Микромам и п,улятор

 

О П И С А Н И Е 206980

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистически»

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл, 49с, 30/01

Заявлено 12.V111.1966 (№ 1098242/25-27) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 08.XII.1967. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 9.II.1968

МПК В 23d

УДК 62-229.72(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Я. И. Точицкий и В. Н. Широков

Заявитель

МИ КРОМАН И ПУЛЯТОР

Предлагаемый ми кром анипулятор может быть применен в производстве полупроводниковых и электровакуумных приборов, научноисследовательских работах в области биологии, физики твердого тела, микрогравировки и др.

Известен микроманипулятор для пространственного перемещения двухкоординатного стола, передача к которому от рычага управления выполнена в виде двух раздельно включаемых электромагнитов — для грубого и точного перемещения. Первый электромагнит связан через шарнир с рычагом управления, а второй — с пантографом, связанным шарнирно с электромагнитом грубого перемещения и с корпусом. Однако такой микроманипулятор труден в изготовлении и эксплуатации.

Особенностью предложенного микроманипулятора является то, что двухкоординатный стол выполнен в виде трех пластин, связанных между собой при помощи плоских пружин. Верхняя такая пружина закреплена на корпусе, а нижняя опирается на шаровую головку рычага управления. Последний снабжен телескопически входящим в него подпружиненным стержнем, имеющим îëîâêó,,которая шарнирно связана с регулируемым по высоте упором. Этот упор установлен на корпусе. Рабочий столик смонтирован на промежуточной плите, жестко связанной с нижней пластиной двухкоординатного стола. Это упрощает его изготовление и эксплуатацию.

На фиг. 1 изображен предлагаемый микроманипулятор, общий вид; на фиг. 2 — то же, 5 вид сверху (со снятой крышкой); на фиг. 3— крестовый плоско-пружинный стол, вид спереди.

Микроманипулятор выполнен из расположенного в корпусе 1 рабочего столика 2, опи1О рающегося сверху через шариковую опору на корпус, а снизу через шариковую опору на конусную втулку 8, упругий элемент 4 — на промежуточную плиту 5. Последняя такжечерез шариковую опору опирается на корпус.

15 Упругая втулка устраняет торцовые биения конической втулки и промежуточной плиты относительно корпуса.

Перемещается промежуточная плита 5 те- . лескопическим рычагом б, шарнирно связан20 ным с этой плитой. Верхний конец рычага шарнирно укреплен при помощи гайки 7, а нижний шарнирно соединен с рукояткой 8, которая перемещается по нижней поверхности корпуса 1.

25 Промежуточная плита при помощи плоскопружинного крестового двухкоординатного стола 9 связана с корпусом 1. В результате этого она может перемещаться только тогда, когда этому не препятствует крестовый двухкоординатный стол, представляющий собой три пластины 10, 11, 12. Каждые две соседние пластины сообщены между, собой двумя плоскими пружинами 18, в которых сделана про-, дольная прорезь. Верхняя пластина 10 жестко закреплена на корпусе, а нижняя 12 — на плите 5. Концы пружин 18 попарно соединены стержнями 14. При поворотах рычага 6 работает либо одна пара пружин, либо другая, либо обе, что позволяет этому рычагу, плите 5, а значит и рабочему столику 2 перемещаться только прямолинейно. Пружина 15 служит для предотвращения люфтов в шарнирах рычага 6.

Плоскопружинный крестовый двухкоординатный стол 9 копирует движения рукоятки 8 рабочим столиком 2 с высокой точностью. Так как можно регулировать плечи рычага, легко меняют масштаб перемещений и производят очень точные малые перемещения без разворотов.

Поворачивается рабочий столик относительно корпуса винтовым механизмом 16.

Предмет изобретения

1. Микроманипулятор, содержащий корпус, двухкоординатный стол и рабочий столик, 206980

4 а также рычаг с рукояткой управления, снабженный шаровой головкой, входящей в соответствующее гнездо, имеющееся в двухкоординатном столе, отличающийся тем, что, с целью упрощения его изготовления и эксплуатации, двухкоординатный стол выполнен в виде трех связанных между собой при помощи плоских пружин пластин, из которых верхняя жестко закреплена на корпусе, а нижняя опи10 рается на шаровую головку рычага управления, который снабжен телескопически входящим в него подпружиненным стержнем, имеющим головку, шарнирно связанную с регулируемым по высоте упором, установленным на

15 корпусе; при этом рабочий столик смонтирован на промежуточной плите, жестко связанной с нижней пластиной двухкоординатного стола.

20 2. Микроманипулятор по п. 1, отличающийся тем, что рабочий столик опирается сверху на корпус через шариковую опору, а снизу— также через шариковую опору на конусную втулку, связанную упругим элементом с про25 межуточной плитой.

Составитель В. Растрепии

Редактор В. Ф. Чулкова Техред Т. П. Курилко Корректоры: И. Л. Кириллова и С. А. Башлыкова

Заказ 467778 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мишгстров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2