Устройство для изготовления радиоэлектронных
1 -.с 1 т p тJ
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
208058
Союз Советскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.Х1.1966 (№ 1114474/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 29.XII.1967. Бюллетень № 3
Дата опубликования описания 6.111.1968
Кл, 21а, 75
МПК Н 01п
УДК 621.3.049.75 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения В. М. Суминов, Е. В. Промыслов, А. К. Скворчевский и Б. Г. Кузин
Заявитель
Московский авиационный технологический институт
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ
СХЕМ И МАСОК
Предмет изобретения
Известные устройства для изготовления радиоэлектронных схем и масок, содержащие оптический квантовый генератор (ОКГ) и роторный держатель подложки, малопроизводительны.
В предлагаемом устройстве использована оптическая проекционная система, раоположенная между, вращающимися дисками, один из которых служит для размещения масок, а другой, изготовленный из стекла, — для заШиты оптической проекционной системы. Это позволяет значительно повысить производительность и упростить, процесс .изготовления радиосхем и масок.
На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.
Луч от ОКГ 1 проходит через открытые элементы исходной маски 2. Маску располагают в диске 8, имеющем четыре гнезда. Поворот диска осуществляется оператором. Положение диска строго фиксируется относительно светового луча. Луч, пройдя оптическую проекционную систему 4 и стекло б, необходимое для загциты проекционной системы от загрязнения, прожигает заготовку б в местах, соответствующих открытым элементам исходной маски. Заготовки располагают в диске 7, имеющем шесть гнезд.
Диск 7 и защитное стекло 5 поворачиваются шаговым механизмом 8. Поворот диска 7 осуществляется синхронно с импульсом излучения ОКГ. В тот момент, когда заготовка находится в исходном положении, с выхода шагового механизма 8 подается сигнал на вход
5 блока 9 синхронизации. С блока 9 сигнал поступает на вход блока 10 инициирования высоковольтного разряда,,который поджигает лампы накачки генератора I. Основной высоковольтный заряд на лампы подается с кон10 денсаторной батареи блока 11 автоматической накачки.
Продолжительность цикла работы установки составляет 1 — 2 сек.
Изображение рисунка исходной маски на
15 заготовку б проецируется с помощью подсветки 12 и оптической системы 4.
20 Устройство для изготовления радиоэлектронных схем и масок, содержащее оптический квантовый .генератор и роторный держатель подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройст25 ва, в нем использована оптическая проекционная система, расположенная между вращающимися дисками, один из которых служит для размещения масок, а другой, изготовленный из стекла, — для защиты оптической проек30 ционной системы.
208058
i2
Составитель М. Порфирова
Редактор Н. О. Громов Техред Т. П. Курилко Корректоры: Т. П. Лаврухина и С. П. Усова
Заказ 188/11 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
