Способ получения тонких металлических или керамических пленок

 

Использование: в электронной промышленности и в химии. Сущность изобретения: способ получения тонких пленок путем очистки подложки, нанесения на нее водорастворимой полимерной пленки, затем напыления металлического или керамического порошка и после образования металлической или керамической пленки осуществляют удаление полимерной пленки путем растворения ее в воде, а остатки подорастворимой пленки удаляют термообработкой. 1 табл.

Изобретение относится к технологии изготовления тонких пленок твердых тел, легко отделяющихся от подложки. Такие пленки могут использоваться в электронной промышленности и в химии.

Известен способ изготовления тонких пленок, заключающийся в напылении тонкого слоя порошка материала на подготовленную соответствующим образом подложку (1). Однако такой способ не предусматривает возможности снятия пленки с подложки без ее повреждения, любые попытки снятия приводят к разрушению или повреждению пленки.

Цель изобретения облегчение снятия сверхтонкой пленки с подложки.

Цель достигается за счет того, что при осуществлении способа изготовления тонких пленок твердых тел, заключающемся в том, что традиционным образом подготавливают поверхность подложки и формируют на ней тонкую пленку, на поверхность подложки наносят полимерную водорастворимую пленку, на которую затем наносят требуемую тонкую пленку, после получения которой полимерную пленку растворяют.

Способ заключается в том, что на водорастворимую полимерную пленку напыляется или наносится из газовой фазы сверхтонкие пленки из металлов, полупроводников или керамик, в том числе и сверхпроводящих. Затем производится растворение подложки в дистиллированной воде (бидистиллят) и получаются сверхтонкие пленки указанных нанесенных твердых тел. При этом толщина тонких полученных пленок может составлять даже сотни ангстрем (не более). Остатки полимерной подложки удаляются последующей термообработкой, так как температура разложения полимеров гораздо ниже, чем температура плавления металлов или керамик.

В качестве полимерных растворимых пленок могут использоваться пленки поливинилового спирта и простых водорастворимых, эфиров целлюлозы, метилцеллюлоза и карбоксиметилцеллюлоза. Напыление твердых тел может осуществляться на объемные изделия из водорастворимого полимера (в форме куба, шара, полусферы и т. п. ). Затем полученный "сэндвич" прокалывают иглой и помещают в дистиллированную воду. Происходит растворение полимера и вытекание его из "емкости". В таблице показаны возможные толщины съемных пленок, получаемых на конкретных растворимых подложках.

П р и м е р 1. Получение плоских пленок.

На водорастворимую полимерную пленку, нанесенную на подложку, напыляют или наносят из газовой фазы сверхтонкие пленки из металлов, полупроводников или керамик, в том числе и сверхпроводящих). Затем производят растворение полимерной пленки в дистиллированной воде (бидистиллят) и получают сверхтонкие пленки указанных нанесенных твердых тел. То есть предложен метод "съема" сверхтонких пленок с подложек, что не представлялось осуществить ранее. Толщина тонких полученных пленок может составлять даже сотни ангстрем (не более). Остатки полимерной подложки удаляют последующей термообработкой, так как температуры разложения полимеров гораздо ниже, чем Т_пл металлов или керамики. В качестве полимерных пленок использовались пленки поливинилового спирта и простых эфиров (водорастворимых) целлюлоз метилцеллюлоза и карбоксиметилцеллюлоза.

П р и м е р 2. Получение объемных пленок.

Напыление твердых тел производят на объемные изделия водорастворимого полимера (в форе куба, шара, полусферы и т.п.). Затем полученный "сэндвич" прокалывают иглой и помещают в дистиллированную воду. Происходит растворение полимера и вытек его из "емкости". Остальная методика аналогична примеру 1.

Формула изобретения

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЛИ КЕРАМИЧЕСКИХ ПЛЕНОК путем напыления на очищенную подложку металлического или керамического порошка с последующим снятием образовавшейся пленки, отличающийся тем, что, с целью облегчения снятия тонкой пленки, на очищенную подложку предварительно перед напылением порошка наносят водорастворимый полимер и после образования металлической или керамической пленки удаляют полимерную пленку, помещая ее в воду, а остатки полимерной пленки удаляют путем термообработки до температуры ее разложения.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2