Чувствительный элемент акселерометра

 

1. Чувствительный элемент акселерометра, содержащий пластину с центральной внутренней рамкой и периферийной внешней рамкой, которые соединены между собой расположенными симметрично относительно продольной оси пластины двумя составляющими пару упругими перемычками, осями изгиба которых образована ось подвеса, перпендикулярная продольной оси пластины и продольным осям упругих перемычек, причем в каждой упругой перемычке выполнены две изгибные поверхности, параллельные основным поверхностям пластины, отличающийся тем, что дополнительно образованы соединяющие внешнюю и внутреннюю рамки или одна упругая перемычка, расположенная в области продольной оси пластины, продольная ось которой совпадает с продольной осью пластины, и n пар (n = 1, 2,...) упругих перемычек или n пар упругих перемычек, в которых перемычки каждой пары расположены симметрично относительно продольной оси пластины, одни из изгибных поверхностей по крайней мере одной пары упругих перемычек совмещены с одной основной поверхностью пластины, одни из изгибных поверхностей других упругих перемычек совмещены с другой основной поверхностью пластины, а другие изгибные поверхностим упругих перемычек расположены в пределах толщины пластины.

2. Элемент по п.1, отличающийся тем, что находящиеся в пределах толщины пластины изгибные поверхности упругих перемычек расположены в продольной плоскости симметрии пластины, проходящей через ось подвеса и продольную ось пластины.

3. Элемент по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что он выполнен единым элементом из монокристаллического кремния методом анизотропного травления.