Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления

Авторы патента:

G01B7/06 - для измерения толщины

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

238169

Союз Соввтскив

Социалистические

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от а|вт. свидетельства ¹

Заявлено 02.III.1967 (№ 1137421/25-28) с присоединением заявки ¹

Пр,иоритет

Опубликовано 20.11.1969. Бюллетень ¹ 9

Дата опубликования описания 9Л 11.1969

Кл, 42Ь, 11

МПК G 01Ь

УДК 531.717.11:658. .562.62 (088.8 ) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. А, Дарвин и И. M. Каплан

Минский радиозавод

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК

В ПРОЦЕССЕ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Предмет изобретения

Известны способы измерения толщины пленки, нанесенной на, кварцевый резонатор с .помощью двух кварцевых генераторов,,и о толщине пленки судят по приращению частоты на выходе кварцевого резонатора.

Предложенный способ измерения отличается от известных тем, что, с целью упрощения процесса измерения, для определения толщины плеяки регистрируют .приращение напряжения на выходе кварцевого резонатора.

На чертеже изобра кена блок-схема устройства для измерения толщины, пленки предложенным способом.

Измеряют толщину тонкой пленки следующим образом.

Напряжение с кварцевого резонатора 1 генератора 2 подается на усилитель 8. Выходное на пряжение с усилителя т преобразуется в постоянное детектором 4 и подается на измерительный прибор 5. Одновременно на измерительный прибор 5 подается постоянное, регулируемое сопротивлением 6, напряжение с блока, 7 питания. Величину этого напряжения устанавливают такой, чтобы измерительный прибор 5,показал нуль. При нанесении тонкой пленки на кварцевый резонатор 1 напряжение на выходе резонатора 1 меняется пропорционально толщине пленки, Это изменение напряжения фиксирует измерительный приоор 5.

5 В предложсHHом способе измерения тîт щины тонких .пленок используют кварцевые резонаторы с частотой резонанса 50 вЂ” 100 кги, а схему генератора 2 выбирают такой, чтобы напряжение на выходе кварцевого резонатора

10 изменялось пропорционально изменению напряжения на входе генератора 2,и блока питания.

Ре гистрация приращения напряжения на выходе кварцевого резонатора упрощает про15 цесс измерения.

Способ измерения толщины тонких пленок

20 в процессе их изготовления, заключающийся

B том, что измеряют сипнал на выходе кварцевого резонатора, соприкасающегося с пленкой, отлипаюитийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, регистрируют

25 приращение напряжения на выходе кварцевого резонатора.

238)69

Составитель В. Мартынов

Редактор В. Кузнецов Техред T. П. Курилко Корректор С. М. Сигал

Заказ 1458il6 Тираж 480 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления

Способ исключения систематической погрешности измерений электрических величин при воздействиипомехи // 232583

Патент 221310 // 221310

Фазовый способ отстройки от влияния зазора // 217655

Устройство для регулирования толщины слоявязкого // 213137

Устройство для исследования скользящего // 213105

Патент 212555 // 212555

Установка для испытания на износ // 211854

Способ определения толщины поверхностно-обработанных слоев металла // 211130

Прибор для автоматического определения концентрации // 211120

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе