Устройство для травления кремниевых фотоэлектрических преобразователей
наЯ, - -,: - ио,-теттнмче .
: 1т отакаМЬА.
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
2445Б
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от азт. свидетельства №
Заявлено 12.!.1963 (№ 812799/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 28.Ч.1969. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 7.Х.1969
Кл. 2lg, 29/40
МПК H Oll
Комитет по делам изобретений и открытий ври Совете Министров
СССР
Ъ ДК 621.383;5.002. 2 (088.8) Авторы изобретения
Ф. X. Набиуллин, Е. М. Герцик, М. С. Сладков, Ю. Т. Родионов и В. С. Егоров
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОЬРАЗОВАТЕЛ EA
Известное устройство для травления кремниевых фотоэлектрических преобразователей, содержащее IIOBopOTHbIH стол, осветители, ванны для травления, нейтрализации, промывки и парафинирования,преобразователей, измерительный и исполнительный блоки, имеет весьма низкую .производительность.
В предлагаемом устройстве для травления кремниевых фотоэлектрических преобразователей .повышение производительности его работы достигнуто тем, что исполнительный блок снабжен шатуном с захватами, соединенным с рычагами, укрепленными на шестернях, находящихся в зацеплении с зубчатыми сектор ами, соединенными валом с трехплечим рычагом, одно плечо которого опирается на копир, второе управляет микровыключателем измерительного блока, а третье соединено с возвратной пружиной и масляным демпфером.
На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 — конструктивное выполнение исполнительного блока.
Устройство содержит поворогный стол 1, исполнительные блоки 2, измерительный блок
8, осветители 4 и расположенные по окружности стола 1 ванны 5 для травления, нейтрализации, промывки и парафинирования преобразователей.
Каждый исполнительный блок снабжен шатуном б, соединенным шарнирно с рычагами 7
2 и 8. На конце шатуна укреплены изолированные захваты 9, контактные иглы 10 которых подключаются к преобразователям (на чертеже,не показаны). Открытие захватов 9,производится клином 11. Рычаги 7 и 8 укреплены на шестернях 12 и 18, находящихся в зацеплении с зубчатыми секторами 14 и 15, укрепленными на валу 16, на котором укреплен также трехплечий рычаг 17. Плечо 18 рычага 17 снабже10 но роликом 19, опирающимся на копир 20, управляющий, шатуном б. Плечо 21 рычага 17 соединено с возвратной пружиной 22 и масляным демпфером 28, обеспечивающим плавное перемещение шатуна б. Плечо 24 рычага
17 в крайнем левом .положении нажимает на микровыключатель 25, выключающий блок контроля. В процессе работы копир 20 опускает плечо 18 вниз, вал 1б,поворачивает шестерни 12 и 18, рычаги 7 и 8 отводят шатун б от центра стола 1, копир 26 через шток 27 воздействует на рычаг 28, захваты 9 раскрываюгся и прижимают очередной преобразователь с транспортного ротора (на чертеже не показан) . Преобразователь погружается в травильный раствор, и его рабочая поверхность освещается осветителем 4. Когда к. п. д. преобразователя, измеряемый блоком 8, достигает максимума, захваты 9 .поочередно переносят преобразователь в ванны для нейтрализа30 ции, промывки и парафинирования. Для
244515 разделения элементов с различным к. п. д, используются микровыключатели 29 и 80 с рычагами 81 и 82, управляемыми копирами 88 и 84.
Предмет изобретения
Устройство для травления кремниевых фотоэлектрических перобразователей, содержащее поворотный стол, осветители, ванны для травления, нейтрализации, промывки и парафинирования преобразователей, измерительный и исполнительный блоки, отличающееся тем, что, с целью .повышения производительности работы устройства, исполнительный блок снабжен шатуном с захватами, соединенным
5 с рычагами, укрепленными на,шестернях, находящихся в зацеплении с зубчатыми секторами, соединенными валом с трехплечим рычагом, одно плечо которого опирается на копир, второе управляет микровыключателем
lo измерительного блока, а третье соединено с возвратной пружиной и масляным демпфером.
244515
Фиг. 2
Составитель Т. Козлов
Техред Л. Я. Левина Корректор Л. А. Иголкина
Редактор В. Сорокин
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 2510/13 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
