Патент ссср 245934
(ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВйдЕТЕЛЬСТВУ
245934
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт, свидетельства №
Заявлено 29.1,1968 (№ 1213353/26-25) с присоединением заявки №
Кл. 21h, 16/60
По иоритет
ЧПК H 05h
УДК 533.9.99(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 11,Х1.1969. Бюллетень № 35
Дата опубликования описания 10.1V.1970
Авторы изобретения
Я. А. Угай и Н, Е, Соловьев
Заявитель
СПОСОБ ПОДЖИГА ПЛАЗМЫ В ВЬ!СОКОЧАСТОТНОМ
П JIA3MATPO H Е
Известен способ поджига плазмы, заключающийся в том, что в рабочей камере плазматрона создают вспомогательный высокочастотный дуговой разряд, который затем переходит в высокочастотный плазменньш разряд. Данный способ успешно применяется в
iiлазматронах с кварцевыми рабочими камерами. Однако в процессе поджига .плазмы в металлической камере переход вспомогательного дугового разряда в высокочастотный плазменный разряд в значительной мере затруднен, а иногда и невозможен из-за влияния, оказываемого металлической камерой, Предлагаемый способ обеспечивает стабильный поджиг плазмы в плазматроне с металлической камерой. Способ заключается в том, что предварительный разряд, переходящий в плазму, создают за пределами металлической камеры, после чего плазму переводят в рабочую зону.
Для иллюстрации на чертеже представлена принципиальная схема плазматрона с металлической рабочей камерой.
В кварцевую трубу 1, имеющую штуцер 2 для тангенциального входа плазмообразующего газа, помещают водоохлаждаемую металлическую камеру 8, являющуюся рабочей камерой плазматрона. Рабочая камера изготовлена из медной трубки, изогнутой в форме змеевика, расположенного параллельно оси кварцевой трубы по образующей коаксиаль5 ного с кварцевой трубой цилиндра. Металлический электрод 4, служащий для создания предварительного разряда, неподвижно закреплен в верхней части кварцевой трубы 1.
Индуктор 5 с помощью подъемного механиз10 ма может перемещаться в вертикальном направлении. Перемещение индуктора íà ipeжим работы генератора заметного влияния не оказывает.
Поджпг плазмы осуществляют следующим
15 образом.
Кварцевую трубу 1 в течение определенного промежутка времени продувают аргоном.
Индуктор о высокочастотного генератора устанавливают в положение А, т. е. за предела20 ми металлической камеры, после чего на него подают напряжение:высокой частоты. Возникающий в кварцевой трубе за пределами металлической камеры вспомогательный разряд сразу же переходит в высокочастотный плаз25 менный разряд б. Индуктор 5 перемещают из положения А в положение А . Совместно с индуктором происходит перемещение плазмы, 245934
Предмет изобретсния
Составитель Б. П. Кононов
Тскред 3. И. Тараненко Корректор Л. И. Гаврилова
Редактор Н, С. Коган
Заказ 735, 10 Тираж 48 3 Подписное
ЦНИИГ И Комитета по делам изобрстеии и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раун)ская иаб., д. 4.5
Типография, пр. Са"уиова, 2 причем при дости>ке п41 инду ктором положения А плазма б занимает положение внутри металлической камеры 8.
Для помещения плазмы после ее поджига в рабочую металлическую камеру можно использовать не только перемещение индуктора относительно неподвижной кварцевой трубы, но и перемещение кварцевой трубы при неподвижном индукторе. Вместо электрода, закрепленного в верхней части кварцевой труobI, возможно использование электрода, ВВ0димого в зону поджига снизу, т. е. через открытый конец KBBpIIBBofI трубы.
Способ o ига rt tt B высокочастотном
Гплазматроне в камере с металлическими во5 доохлаждаемыми трубками путем создания разряда с помощью вспомогательной дуги в области расположения индуктора, отлачаюи ийся тем, что, с целью повышения надежности поджига, разряд возбуждают за предела10 ми зоны камеры с металлическими водоохлаждаемыми трубками, после чего индуктор леремещают относительно оси камеры и переводят плазму в рабочую зону.
