Кассета для технологических спутников фотопреобразователей



Кассета для технологических спутников фотопреобразователей
Кассета для технологических спутников фотопреобразователей
Кассета для технологических спутников фотопреобразователей
Кассета для технологических спутников фотопреобразователей

 

H01L21/677 - Способы и устройства для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей (способы и устройства, специально предназначенные для изготовления и обработки приборов, относящихся к группам H01L 31/00- H01L 49/00, или их частей, см. эти группы; одноступенчатые способы изготовления, содержащиеся в других подклассах, см. соответствующие подклассы, например C23C,C30B; фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы или оригиналы для этой цели; устройства, специально предназначенные для этой цели вообще G03F)[2]

Владельцы патента RU 2479890:

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (RU)

Изобретение относится к транспортной и операционной таре изделий микроэлектроники, в частности к кассетам для технологических спутников фотопреобразователей (ФП), и может быть использовано в испытательном и сборочном оборудовании при изготовлении солнечных батарей. Технический результат - повышение надежности загрузки и выдачи спутников, сокращение брака за счет исключения травмирования ФП, снижение веса корпуса за счет уменьшения толщины боковых стенок. Достигается тем, что кассета содержит трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностей и фиксаторы спутников. Последние выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью. Размещены упоры в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок. Горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опорах в виде ползунов, выполненных с возможностью перемещения по продольным ребрам жесткости с профилем «ласточкин хвост». Окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров фиксатор. Кассета может быть снабжена элементами для штабелирования в виде выступов на крайних ребрах жесткости. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

 

Изобретение относится к транспортной и операционной накопительной таре изделий микроэлектроники, в частности, хрупких пластин фотопреобразователей (ФП) в спутниках-носителях и может быть использовано в испытательном и сборочном оборудовании при производстве фотоэлектрических панелей.

Основные требования, предъявляемые к транспортной и операционной таре изделий микроэлектроники в спутниках-носителях, высокая надежность в работе в условиях гибкого автоматизированного производства за счет исключения операции переориентации спутников путем возможности производить разгрузку (загрузку) кассеты с любого из ее торцов. В известных конструкциях выполнение этих требований достигается установкой фиксаторов на внутренней поверхности боковых стенок на концах корпуса кассеты, которые удерживают спутники от выпадения.

Известна тара для технологических спутников интегральных схем, в которой фиксаторы выполнены в виде подпружиненных упоров, которые при загрузке раздвигаются спутником (SU 1193086, МКИ4 В65Н 1/06, B65D 85/62, опубликовано 23.11.1985).

Силовой контакт спутников с упорами при загрузке в известном устройстве является одной из возможных причин травмируемости изделий в процессе производства, что особенно актуально, в частности, для хрупких и дорогостоящих ФП.

Кроме того, фиксаторы в виде подпружиненных упоров усложняют конструкцию и металлоемкость корпуса известного устройства.

Известна кассета для технологических спутников интегральных схем, включающая трехстенный корпус с направляющими выступами и пружинными фиксаторами, расположенными на боковых стенках корпуса на противоположных его концах, и подвижный упор в виде съемного элемента, установленного между пружинными фиксаторами (SU 1431658, MKИ4 H05К 13/02, Н01L 21/68, опубликовано 20.08.1995).

В известной кассете пружинные фиксаторы поочередно отжимаются спутниками при движении вверх в процессе загрузки, а при разгрузке специальным толкателем, что усложняет технологические процессы.

Наличие подвижного упора в известной конструкции не исключает полностью возможности перекоса и нарушения соосности спутников вследствие увеличения проходного сечения корпуса, необходимого для размещения пружинных фиксаторов на боковых стенках, и контакта пружинных фиксаторов с торцами спутников крайних рядов.

Кроме того, конструкция пружинных фиксаторов и способ их размещения являются причиной необходимости увеличения толщины боковых стенок в профиле корпуса известной кассеты.

Задача изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик кассет для технологических спутников путем усовершенствования фиксаторов последних.

Технический результат изобретения заключается в повышении надежности загрузки и выдачи спутников, сокращение брака за счет исключения травмирования ФП, снижение веса корпуса за счет уменьшения толщины боковых стенок

Технический результат достигается тем, что в кассете для технологических спутников фотопреобразователей, включающей трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностей и фиксаторы спутников, размещенные в боковых стенках корпуса на его концах, фиксаторы выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью, размещенных в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок, при этом горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опоре, выполненной с возможностью вертикального перемещения, а окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров.

Боковые стенки могут быть снабжены дополнительными продольными ребрами, выполненными с возможностью крепления на них опор горизонтальных осей упоров, которые могут быть с профилем «ласточкин хвост».

Кроме того, корпус может быть снабжен элементами для горизонтального штабелирования кассет, выполненными в виде выступов на ребрах жесткости.

На фиг.1 изображена кассета, загруженная спутниками, общий вид в продольном разрезе; на фиг.2 - кассета в процессе выгрузки спутников (не показаны); на фиг.3 - вид А-А фиг.2; на фиг.4 - пустая кассета вид сверху (снизу).

Кассета содержит трехстенный корпус 1, выполненный, например, в виде алюминиевого профиля с продольными ребрами 2, 3 жесткости на краях наружной поверхности боковых стенок 4, 5. На внутренней поверхности боковых стенок 4, 5 выполнены продольные направляющие выступы 6, 7 для спутников 8.

На концах корпуса 1 в боковых стенках 4, 5 выполнены окна 9 для размещения упоров 10 для фиксации крайних спутников 8 в корпусе 1. Упоры 10 установлены с возможностью поворота в вертикальной плоскости на горизонтальных осях 11 попарно и размещены в окнах 9 симметрично относительно продольной и поперечной осей боковых стенок 4, 5. Окна 9 выполнены с возможностью установки концов упоров 10 в их проемах при вертикальном перемещении осей 11 и повороте упоров 10.

Оси 11 упоров 10 закреплены с наружной стороны боковых стенок 4, 5 на опоре 12 в виде подпружиненного ползуна 13 с пружиной 14 внутри, установленной с возможностью сжатия при перемещении ползуна 13 вверх. Ползуны 13 закреплены на боковых стенках 4, 5 винтами 15 на направляющих в виде дополнительных продольных ребер 16 жесткости с профилем «ласточкин хвост» с возможностью вертикального перемещения. Ребра 16 дополнительно позволяют уменьшить толщину боковых стенок 4, 5, не снижая при этом жесткость корпуса 1.

Для штабелирования кассет корпус 1 может быть снабжен элементами, выполненными в виде выступов 17, 18 соответственно на крайних ребрах 2, 3 жесткости.

В процессе загрузки или разгрузки кассету с необходимого торца устанавливают в вертикальном положении на жестких внешних упорах 19, приводя их в контакт с ползунами 13. Под действием упоров 19 ползуны 13 и размещенные на них оси 11 упоров 10 перемещаются вверх. При этом пружина 14 сжимается, а пары упоров 10 поворачиваются вниз до установки их концов в проемах соответствующих окон 9, освобождая проход спутникам 8. Далее осуществляют беспрепятственное поочередное размещение в корпусе 1 (или извлечение из него) спутников 8 специальными устройствами (не показаны). Спутники 8 в корпусе 1 размещаются с образованием минимального зазора в вертикальных плоскостях, что исключает возможность их перекоса и нарушения ориентации, и перемещаются по направляющим продольным выступам 6, 7.

По завершении процесса загрузки или частичной выгрузки корпус 1 приподнимают вертикально вверх до вывода из контакта ползунов 13 с внешними упорами 19. Ползуны 13 и размещенные на них оси 11 упоров 10 перемещаются вниз. При этом пружины 14 разжимаются, а пары упоров 10 поворачиваются вверх и занимают горизонтальное положение, опираясь на ближайшие к нижнему торцу корпуса 1 горизонтальные стенки соответствующих окон 9 и перекрывая выступающими из окон концами проход крайнему снизу и опирающимся на него спутникам 8.

Таким образом, спутники 8 устанавливаются в корпусе 1, не испытывая силового воздействия на боковые торцы со стороны фиксаторов.

В процессах межоперационной транспортировки и хранения кассеты могут штабелироваться, соединяя выступы 17 одного корпуса с выступами 18 на соседних.

1. Кассета для технологических спутников фотопреобразователей, включающая трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностями и фиксаторы спутников, размещенные в боковых стенках корпуса на его концах, отличающаяся тем, что фиксаторы выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью, размещенных в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок, при этом горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опоре, выполненной с возможностью вертикального перемещения, а окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров.

2. Кассета по п.1, отличающаяся тем, что боковые стенки снабжены дополнительными продольными ребрами, выполненными с возможностью крепления на них опор горизонтальных осей упоров.

3. Кассета по п.2, отличающаяся тем, что дополнительные ребра выполнены с профилем «ласточкин хвост».

4. Кассета по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена элементами для штабелирования в виде выступов на ребрах жесткости.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при монтаже радиоэлектронных компонентов. .

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при монтаже радиоэлектронных компонентов. .

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при монтаже радиоэлектронных компонентов. .

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при монтаже радиоэлектронных компонентов. .

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при монтаже радиоэлектронных компонентов. .

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано при построении принципиально новых малогабаритных автоматов поверхностного монтажа.

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано при построении принципиально новых малогабаритных автоматов поверхностного монтажа.

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа. .

Изобретение относится к подаче изделий для поверхностного монтажа. .

Изобретение относится к области радиоэлектронных технологий и может быть использовано в малогабаритных автоматах поверхностного монтажа. .

Изобретение относится к области изготовления микросхем и может быть использовано для изготовления многоуровневых тонкопленочных гибридных интегральных схем и анизотропных магниторезистивных преобразователей.

Изобретение относится к захвату, в частности захвату Бернулли, для приема плоскостных элементов, например, кремниевых полупроводниковых пластин, с обеспечением низкой нагрузки на них.

Изобретение относится к способу обработки жидкости, который включает удаление компонента смолы из жидкости, используемой для отслаивания компонента органической смолы с поверхности подложки.

Изобретение относится к способам получения наноразмерных структур и может найти применение, в частности, в микроэлектронике, а также при изготовлении модулей памяти со сверхвысокой плотностью записи, наносенсоров, молекулярных сит, игл-зондов сканирующих туннельных микроскопов.
Изобретение относится к технологии изготовления микросхем и микроэлектромеханических приборов. .
Изобретение относится к теплоотводящим элементам. .

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования.

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования.
Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления
Наверх