Устройство для стабилизации положения алмазных отрезных кругов

Авторы патента:

Ш. Т. Френкель, В. Г. Баграмов, И. И. Животовский, В. В. Рогов

Ф. Скрипко

H01L21/304 - механическая обработка, например шлифование, полирование, резка

:,.-- * .i 1

ОП ИСА НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

255386

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21а4, 75

Заявлено 09.ll.1968 (№ 1217508/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28.Х.1969 Бюллетень М 33

Дата опубликования описания 8.IV.1970

МПК Н 05k

УДК 621.3.049.75.002.5 . (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

Авторы изобретения Ш, T. Френкель, В. Г. Баграмов, И. И. Животовский, В. В. Рогов и Г, Ф. Скрипко

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ПОЛОЖЕНИЯ

АЛМАЗНЫХ ОТРЕЗНЫХ КРУГОВ

Настоящее изобретение относится к области изготовления радиоаппаратуры, а именно к устройствам для стабилизации положения тонких (меньше 0,3 мм) алмазных отрезных кругов, используемых при резке твердых и хрупких материалов, таких как кремний, германий, рубин, кварц, стекло и др.

При резке этих материалов тонкими алмазными отрезными кругами с внешней режущей кром кой трудно добиться в отреза нных пластинах плоокопараллельных поверхностей среза из-за нестабильности положения круга по плоскости в процессе резки.

Известны устройства для стабилизации положения отрезных кругов с внутренней режущей кромкой, выполненные в виде сцентрированного на подшипниках вала, соединенного с отрезными кругами посредством стяи.ных обойм.

В подобных устройствах в процессе работы поверхность инструмента около режущей кромки несколько деформируется и эту деформацию невозможно устранить натяжением обоймы.

Целью настоящего изобретения является создание устройства, обеспечивающего точную стабилизацию отрезных кругов в процессе работы.

Для этого по окружности кругов размещают кольца с заостренными кромками, являющиеся одним полюсом круга. Вторым полюсом является сам круг, который изготавливают из магнитного материала.

На чертеже конструктивно изображено предлагаемое устройство.

На внутренней поверхности корпуса 1 по окружности установлены кольца 2 с заостренными кромками, являющиеся одним из полюсов электромагнита. К корпусу прикреплена крышка 8. Под кромками колец 2 в одной плоскости с ifèìè установлены отрезные круги 4, выполненные из магнитного материала, которые являются вторым полюсом магнита. Отрезные круги укреплены на валу 5, также изготовленном из магнитного материала. Вал 5 вращается в подшипниках, установленных в крышке 8 и в опоре б. В корпусе 1 установлена катушка 7 электромагнита, витки которой охватывают вал 5. Опора б изготовлена из немагнитного материала, а крышка 3 вЂ” из магнитного. Стабилизация положения круга осуществляется при пропускании постоянного электричеокого тока через катушку 7.

Заготовка 8 подводится к режущим кромкам кругов 4 через окно 9 корпуса 1..Предмет изобретения

Устройство для стабилизации положения

30 алмазных отрезных кругов, например, от255386

Составитель Н. Давыдов

Текред Л. В. Куклина

Корректор С. М. Сигал

Редактор В. Кузнецов

Заказ 573)10 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр, Сапунова, 2 резных кругов, предназначенных д1л разрезки полупроводниковых материалов, содержащее установленный на подшипниках приводной вал, соединенный с отрезными кругами посредством, зажимных обойм, отлипа ощееся тем, что, с целью повышения точности стабилизации, вал с отрезными кругами выпол:.сн из магнитного материала и размещен внутри полого цилиндрического магнитопровода электромагнита, снабженного с внутренней стороны кольцами, заостренные кромки которых расположены против режущих кромок отрезных кругов.

Устройство для стабилизации положения алмазных отрезных кругов

Способ разламывания проскрайбированных полупроводниковых пластин // 208135

Устройство для обработки кромок пластин // 2109370

Способ резки полупроводниковых монокристаллов на пластины // 2137251

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при изготовлении полированных пластин из полупроводниковых материалов

Способ одновременной обработки кромок пластин и устройство для его осуществления // 2143156

Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин // 2163408

Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин // 2168796

Абразив из оксида церия и способ полирования подложек // 2178599

Изобретение относится к абразиву из оксида церия и способу полирования подложек

Способ резки объемных монокристаллов карбида кремния // 2202135

Изобретение относится к технологии электронного приборостроения

Способ позиционирования пластин из полупроводниковых материалов в координатной системе отсчета установки для абразивной резки пластин на "чип"ы // 2220474

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологиях изготовления как дискретных полупроводниковых приборов, так и интегральных микросхем в процессе позиционирования исходных полупроводниковых пластин-подложек (например, на основе монокристаллического кремния) перед операцией их разделения на отдельные структуры ("ЧИП"ы)

Способ геттерирующей обработки полупроводниковых пластин // 2224330

Изобретение относится к микроэлектронике

Способ получения пластин для солнечных элементов из мультикристаллического кремния // 2231867

Изобретение относится к области полупроводниковых преобразователей солнечной энергии, в частности к получению пластин из мультикристаллического кремния для изготовления солнечных элементов (СЭ)