Техническая '' ви&лйоп^к*

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патента Ме

Кл. 12g, 17/18

МПК В Olj

Заявлено 11.1.1968 (№ 1209530/22-1) Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УД К 669.046-172:621. .315.592 (088.8) Опубликовано 10.11.1970. Бюллетень ЛЪ 8

Дата опубликования описания 10Х1.1970 ю ъi;,g

Автор изобретения

i ПАТЕН Г1 0ТЕХНЙ ЕСЫАЙ

БИ Ь. 1 ИОТР Е A.

Иностранец

Ихиро Като (Япония) Иностранная фирма

«Токио Сибаура электрик Ко., Лтд» (Япония) Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ВЫТЯГИВАНИЯ ИЗ РАСПЛАВА

МОНОКРИСТАЛЛОВ

Известны установки для вытягивания из расплава монокристаллов, включающие герметичную камеру, в полости которой установлен тигель с исходным материалом и помещен затравкодержатель, укрепленный на приспособлении для подвешивания его по оси тигля, устройство для возврагно-поступательного перемещения приспособления для подвешивания затравкодержателя по вертикали, выполненное в виде приводного барабана с горизонтальной осью вращения, и устройство для сообщения затравкодержателю вращения вокруг вертикальной оси, изготовленное в виде расположенной коаксиально приспособлению для подвешивания затравкодержателя приводной втулкой с вертикальной осью вращения, В известной установке приспособление для подвешивания затравкодержателя состоит из стержневого элемента, на котором укреплен затравкодержатель, и связанного с ним гибкого элемента, верхняя часть которого наматывается на приводной барабан.

Отличием предлагаемой установки является то, что приспособление для подвешивания затравкодер>кателя выполнено в виде цепи из ряда сферических полых элементов с внешним диаметром сфер, обеспечивающим их фрикционное зацепление с втулкой, соединенных друг с другом подвижно при помощи жестких соединительных элементов, имеющих поперечные размеры, меньшие диаметра сфер.

Это дает возможность исключить маятниковое движение затравкодержателя относительно оси тигля и устранить передачу ему виб5 рации от приводных двигателей.

На черте>ке показана описываемая установка.

Она содержит герметичную камеру 1, в полости которой находится тигель 2 с исходным

10 материалом. В крышке камеры имеется отверстие 3, предназначенное для установки в нем втулки 4, соединенной гибкой связью 5 с приводом б вращения, помещенным на крышке камеры. Втулка может быть установ15 лена в отверстии > при помощи подшипника.

В полости втулки расположен вкладыш 7 из материала с высоким коэффициентом трения и хорошими термостойкими свойствами, например из тефлона. П. оси тигля в полости

23 камеры размещен затравкодержатель 8, служащий для крепления затравки.

Приспособление для подвешивания затравкодержателя по оси тигля выполнено в виде

25 цепи из ряда полых сферических элементов 9, подви>кно связанных друг с другом при помощи соединительных элементов 10, имеющих поперечные размеры, меньшие диаметра сфер.

Внешний диаметр сфер обеспечивает их фрикЗО ционное зацепление с вращающейся втулкой

264250

Заказ 1392/16

Тираж 500

Подписное

Типография. по. Гапчиова. 2

4. Сферические элементы соединены таким образом, что их центры,находятся на вертикали, являющейся осью тигля.

Поступательное перемещение затравкодержателю сообщается путем намотки верхней части приспособления для подвешивания затравкодержателя на приводной барабан 11 с горизонтальной осью вращения. При вращении втулки в процессе вытягивания вращающий момент затравкодержателю передается посредством фрикционного зацепления сферических элементов с вкладышем втулки.

Регулирование силы трения может производиться путем изменения внутреннего диаметра вкладыша.

Для улучшения условий герметизации камеры в полости сферических элементов могут быть встроены герметичные перегородки, плоскости которых составляют с на правлением ориентации соединительных элементов угол, близкий к 90 .

Предмет изобретения

Установка для вытягивания из расплава монокристаллов, включающая герметичную камеру с установленным в ее полости тиглем, содержащим исходный материал, и расположенным над тиглем по его оси затравкодержателем, приспособление для подвешивания затравкодержателя, устройство для возврат5 но-поступательного перемещения затравкодержателя, выполненное в виде приводного барабана с горизонтальной осью вращения, служащего для намотки верхней части приспособления для подвешивания затравко10 держателя, и устройство для сообщения затравкодержателю вращательного движения, выполненное в виде приводной втулки с вертикальной осью вращения, расположенной коаксиально приспособлению для подвешива15 ния затравкодержателя, отличающаяся тем, что, с целью исключения маятникового движения затравкодержателя и устранения передачи ему вибрации, приспособление для подвешивания затравкодержателя выполнено

20 в виде цепи из ряда сферических полых элементов с внешним диаметром сфер, обеспечивающим их фрикционное зацепление с втулкой, соединенных друг с другом подвижно при помощи жестких соединительных элементов, имеющих поперечные размеры, меньшие диаметра сфер.