Пленочный датчик измерителя мощности свч
ОП ИСА НИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
272 6IO
Сова Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 42i, 8/02
Заявлено 02.XII.1968 (№ 1286974/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано ОЗ.VI 1970. Бюллетень ¹ 19
Дата опубликования описания 2.IX.1970
МПК G Olk 7/02
УДК 536,532(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
E. А. Баймуратов
Заявитель
ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ
Изобретение относится к области радиотехнических измерений.
Известные датчики измерителей мощности
СВЧ выполнены в виде двухпленочного элемента, одна из пленок которого (металлическая), поглощающая энергию, служит подогревателем, а другая, отделенная от нее слоем диэлектрика. представляет собой пленочную термопару. Такая конструкция имеет следующие достоинства: возможность калибровки на постоянном токе методом подачи калиброванной мощности на подогреватель, простота согласования с СВЧ-трактом.
К числу недостатков конструкции термопар ы относятся: низкая чувствительность (порядка 0,1 ив/ивт), определяемая значительной величиной постоянной рассеяния подложки; трудность согласования значительного сопротивления термопары с входным сопротивлением усилителя постоянного тока; инерционность термопары (порядка единиц секунд) .
Возможно некоторое повышение чувствительности, например, за счет уменьшения толщины подложки, что приводит к частичному уменьшению постоянной рассеяния, а также за счет включения батареи термопар. Однако эти меры приводят либо к меньшей механической прочности датчика, либо к значительному усложнению технологического процесса изготовления термопары.
Возможно также нанесение воспршшмающего мощность элемента в виде узкой полоски, приводящее к концентрации мощности, а следовательно. и к увеличению температуры под действием поглощающей мощности. Однако существенного увеличения чувствительности при этом получить не удается из-за значительной теплоотдачп В подложк .
Предлагаемый пленочный датчик измери10 теля мощности СВЧ отлп-(ается от известных тем, что, с целью повышения чувствительности и быстродействия. ветви термопары нанесены с перекрытием на отрезке стекловолокна малого диаметра. укрепленном между теплоот1 водящими контактами.
На чертеже изображена конструкция предлагаемого датчика.
Он содержит отрезок стекловолокна 1 малого диаметра (3 — 40 лк), на который после20 довательно нанесены плеши двуi разнородных металлов, например висмута и сурьмы, образующие положительную и отрицательную ветви термопары 2, 3, имеющие небольшое перекрытие в месте максимального разогрева
25 термопары под действием поглощаемой могцности. Частичное падение температуры на месте горячего спая из-за уменьшения погонного сопротивления незначительно сказывается на чувствительности термопары вследствие
30 выравнивания температуры в месте горячего сная благодаря небольшой длине горячего
272610
Составитель В. С. Агапова
Редактор А. В. Корнеев Техред А. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал
Заказ 2389/15 Тира>к 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мгшистров СССР
Москва, )К-З5, Раушская иаб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 сная и влиянию теплопередачп I..äîëü металлизированиого волокна. Для обеспечения включения в схему термоп",ðà снабжена коитактиыми слоями 4, получаемыми вакуумным распылением серебра или золота. Для исключеппя агрессивного воздеиствия окружающей среды па термопару (на слои висмута и сурьмы) нанесен слой дпэлек рической пленки, например моноокпсп кремппя (на чертеже пе показан).
Отрезок стекловолокна 1 с панесеппым!1 иа и"-о ветвями термопары 2, 8 укрепляют между теплоотводящими контактами 5, нанесенными иа слюдяную подложку б. KOHTBKT ветвей термопары 2, 3 с теплоотводящими контактами 5 осуществлен через контактный слой
4, слой проводящего клея 7 и пьедестал 8.
К числу достоинств данной конструкции относятся: малая инерционность, обусловливающая быстродействие и чалое время готовности измерителя мощности; высокая чувствительиость, линейная зависимость выходного сигнала от рассеиваемой мощности; отсутствие паразитиых иапряжеиий иа выходе термопары при изменении температуры окружающей среды; возможность простого моделирования датчиков - преобразователей с различным сопротивлеииеч, габаритами и постоянной времени.
Предмет изобретения
Пленочный датчик измерителя мощности
СВЧ, содержащий термопару, отлича!ощий1ся тем, что, с целью повышения ч) вствительиости и быстродействия, ветви термопары нанесены с перекрытием иа отрезке стекловолокна малого диаметра, укрепленном между тепло. отводящими контактами.
