Способ снятия тонкослойных покрытий со стеклянных подложек
п ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 11. IV.19i69 (№ 1326465/29-33) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21,V111.1970. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 17.XI.1970
Кл. 32Ь, 23/00
32b, 15/00
М П К, С 0 3 с 23/ОО
С 03с 15/00
УДК 666.1.056 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
М. Х. Ахмадеев, С. О. Мирумянц и О. Д. Караулова
Заявитель
СПОСОБ СНЯТИЯ ТОНКОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ
СО СТЕКЛЯННЫХ ПОДЛОЖЕК
Предмет изобретения
1. Способ снятия тонкослойных покрытий, например чередуюгцихся пленок германия и
15 моноокиси кремния, со стеклянных подложек путем травления в кислотной ванне, отличаюи1айся тем, что, с целью повышения эффективности и ускорения процесса, травление ведут в кислотной ванне, содержащей 70 — 80% НСI
20 и 20 — 30% HNO3 в течение 5 — 8 час, после чего промывают водой и .обрабатывают 20— б0 мин щелочно-перекисным раствором с добавкой бериллия с последующим промыванием в воде.
25 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что щелочно-,перекионый раствор с добавлением бериллия содержит 20 — 30% по весу перекиси водорода, 2 — 4% едкой щелочи и не менее
0,01 экв л ионов бериллия.
Изобретение относится к технологии изготовления тонкослойных оптических покрытий.
Известен способ снятия тонкослойных покрытий со стеклянных подложек путем травления в азотной кислоте, содержащей ионы бериллня, алюминия и циника.
Основным недостатком этого способа является его низкая производительность.
Цель изобретения — сокращение времени проведения всего комплекса технологического процесса снятия покрытий, нанесенных на подложки, в кислотном и перекисном растворах и промывкой водой и спирто-эфирной смесью.
Способ осуществляют следующим образом.
Образцы с неудачными покрытиями укладывают в гнезда приспособления и заливают свежеприготовленным раствором, содержащим
70 — 80% НСI и 20 — 30% НКОз на 5 — 8 час.
После такой обработки на некоторых подложках остаются лишь отдельные точки недоснятого покрытия. Затем раствор сливают, и детали, не вынимая из приспособления, тщательно промывают проточной водопроводной, а затем дистиллированной водой. Далее, подложки в приспособлении заливают щелочноперекисным рас1 вором. Раствор готовят непосредственно перед заливкой путем смешения каждых 90 мл «перегидроля» с 10 мл 40%-ного раствора КОН. В щелочно-перекисный раствор добавляют 0,01 экв/л ионов бериллия.
Спустя 5 — 10 мин после заливки начинается каталитический распад перекиси водорода.
5 С этого момента подложки выдерживают в данном растворе 30 — 45 мин. По истечении этого времени раствор сливают, и подложки вновь промывают последовательно водопроводной, дистиллированной водой, спирто10 эфирной смесью.
