Преобразователь давления

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для преобразования изменения давления в различных средах в электрический сигнал в широком динамическом диапазоне работы и может быть использовано в технологических процессах, измерении напряжения в грунтах при ударных нагрузках, экспериментальных исследованиях. Устройство состоит из корпуса, воспринимающей мембраны, передающего штока, упругих консольных балок равного сопротивления изгибу, прямого полого толстостенного цилиндра, корпусов электрохимических ячеек с электролитом, вставок, диска, металлических проводников, выходных клейм. Прямой полый толстостенный цилиндр, вставки и диск выполнены из твердых, а корпуса электрохимических ячеек из упругого электроизоляционного материала. Упругие консольные балки равного сопротивления изгибу своими основаниями жестко защемлены горизонтально в боковую внутреннюю стенку прямого полого цилиндра по окружности в два ряда попарно друг над другом с зазорами, куда в места, примыкающие к защемлению, помещены корпуса электрохимических ячеек с электролитом в виде прямых полых цилиндров. Одно основание каждого цилиндра скреплено с нижней плоскостью верхней балки, а другое - с верхней плоскостью нижней балки каждой пары. В зазорах между свободными концами пары консольных балок закреплены вставки, а на конце передающего штока - диск, касающийся свободных концов всех верхних балок. Каждая верхняя балка, с первой до предпоследней пары, соединена металлическим проводником с нижней балкой соседней последующей пары, а металлический проводник, соединенный с нижней балкой первой пары, и металлический проводник, соединенный с верхней балкой последней пары, подсоединены к выходным клеммам преобразователя давления. Технический результат заключается в расширении динамического диапазона работы и снижении энергопотребления. 1 ил.

 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для преобразования изменения давления в различных средах в электрический сигнал в широком динамическом диапазоне работы и может быть использовано в технологических процессах, измерении напряжения в грунтах при ударных нагрузках, экспериментальных исследованиях.

Известен тензометрический датчик давления (а.с. СССР, SU 1755073 А1, МПК G01L 9/04, опубл. 15.08.1981), состоящий из корпуса, воспринимающей мембраны, соединительного штока, упругой балки и наклеенных на нее тензорезисторов, входящих в смежные плечи мостовой схемы.

Недостатками такого датчика являются:

а) большое энергопотребление мостовой схемы, требующее источника питания (5÷15 В);

б) ползучесть тензорезисторов, обусловленная вязкоупругими свойствами клея и изменением его характеристик с температурой и во времени.

Известен преобразователь давления (а.с. СССР SU 883680 А1, МПК G01L 9/04, опубл. 23.11.1981), принятый за прототип, состоящий из корпуса, воспринимающей мембраны, жестко связанной с передающим штоком, упругой консольной балки равного сопротивления изгибу, полупроводниковых тензорезисторов.

Недостатками такого датчика являются:

а) большое энергопотребление мостовой схемы;

б) снижение стабильности его метрологических характеристик при импульсных нагрузках, связанное с хрупкостью применяемых кремниевых тензорезисторов и стеклоприпоя, использованного для их крепления к упругой консольной балке.

Изобретение направлено на прямое преобразование деформации нескольких упругих консольных балок в электрический сигнал, при этом достигается технический результат, заключающийся в расширении динамического диапазона работы и снижении энергопотребления.

Технический результат достигается преобразователем давления, состоящим из корпуса, воспринимающей мембраны, жестко связанной с передающим штоком, упругой консольной балки равного сопротивления изгибу, при этом в корпусе установлен прямой полый толстостенный цилиндр из твердого электроизоляционного материала, в боковую внутреннюю стенку которого жестко защемлены своими основаниями несколько упругих консольных балок равного сопротивления изгибу, расположенных горизонтально по окружности в два ряда попарно друг над другом с зазорами, куда в места, примыкающие к защемлению, помещены корпуса электрохимических ячеек с электролитом в виде прямых полых цилиндров из упругого электроизоляционного материала, одно основание каждого цилиндра скреплено с нижней плоскостью верхней балки, а другое - с верхней плоскостью нижней балки каждой пары, в зазорах между свободными концами пары консольных балок закреплены вставки, а на конце передающего штока - диск из твердых электроизоляционных материалов, касающийся всех верхних балок, каждая верхняя балка, с первой до предпоследней пары, соединена металлическим проводником с нижней балкой соседней последующей пары, а металлический проводник, соединенный с нижней балкой первой пары, и металлический проводник, соединенный с верхней балкой последней пары, подсоединены к выходным клеммам преобразователя давления.

На фиг. 1 представлен преобразователь давления (в разрезе). На фиг. 2 - вид сверху. Преобразователь давления состоит из корпуса 1, воспринимающей мембраны 2, передающего штока 3, упругих консольных балок равного сопротивления изгибу 4, 5 прямого полого толстостенного цилиндра 6, корпусов электрохимических ячеек 7 с электролитом 8, вставок 9, диска 10, металлических проводников 11, выходных клемм 12. Прямой полый толстостенный цилиндр 6, вставки 9 и диск 10 выполнены из твердых, а корпуса электрохимических ячеек 7 из упругого электроизоляционных материалов. Упругие консольные балки равного сопротивления изгибу 4, 5 своими основаниями жестко защемлены горизонтально в боковую внутреннюю стенку прямого полого цилиндра 6 по окружности в два ряда попарно друг над другом с зазорами, куда в места, примыкающие к защемлению, помещены корпуса электрохимических ячеек 7 с электролитом 8 в виде прямых полых цилиндров. Одно основание каждого цилиндра 7 скреплено с нижней плоскостью верхней балки 4, а другое - с верхней плоскостью нижней балки 5 каждой пары. В зазорах между свободными концами пары консольных балок закреплены вставки 9, а на конце передающего штока 3 - диск 10, касающийся свободных концов всех верхних балок 4. Каждая верхняя балка 4, с первой до предпоследней пары, соединена металлическим проводником 11 с нижней балкой 5 соседней последующей пары, а металлический проводник 11, соединенный с нижней балкой 5 первой пары, и металлический проводник 11, соединенный с верхней балкой 4 последней пары, подсоединены к выходным клеммам 12 преобразователя давления.

Преобразователь давления работает следующим образом. При воздействии давления на воспринимающую мембрану 2 она прогибается, жестко связанный с ней шток 3 с диском 10 перемещаются и воздействуют на свободные концы упругих консольных балок 4, 5, которые деформируются, причем нижняя плоскость каждой верхней балки 4 сжимается, а верхняя плоскость каждой нижней балки 5 растягивается. Так как эти плоскости находятся в контакте с электролитом 8, то они будут представлять собой деформируемые электроды электрохимических ячеек. Известно [А.Я. Гохштейн. Поверхностное натяжение тел и адсорбция. Под ред. А.Н. Фрумкина. - М., Наука, 1976. - С. 33], что если при деформации электрода, находящегося в контакте с электролитом, изменяется его площадь, то возникает «эффект упругого заряжения межфазного слоя на границе раздела электрод-электролит». При этом, если заряд электрода поддерживается постоянным, например, путем введения демпфирующего сопротивления в цепь электрода, то меняется потенциал электрода (уменьшается при растяжении и увеличивается при сжатии). Причем, если в электрохимической ячейке один электрод сжимается, а другой растягивается, то на них возникает разность потенциалов, а последовательное соединение таких ячеек (по аналогии с батарейками) позволяет получить достаточный для надежного измерения электрический сигнал.

Таким образом решается проблема повышения достоверности измерений при импульсных нагрузках, при этом технический результат, заключающийся в расширении динамического диапазона работы преобразователя, обеспечивается за счет прямого преобразования деформации нескольких упругих консольных балок непосредственно в электрический сигнал, а снижение электропотребления - за счет работы преобразователя в так называемом «генераторном режиме» без внешнего источника питания.

Преобразователь давления, состоящий из корпуса, воспринимающей мембраны, жестко связанной с передающим штоком, упругой консольной балки равного сопротивления изгибу, отличающийся тем, что в корпусе установлен прямой полый толстостенный цилиндр из твердого электроизоляционного материала, в боковую внутреннюю стенку которого жестко защемлены своими основаниями несколько упругих консольных балок равного сопротивления изгибу, расположенных горизонтально по окружности в два ряда попарно друг над другом с зазорами, куда в места, примыкающие к защемлению, помещены корпуса электрохимических ячеек с электролитом в виде прямых полых цилиндров из упругого электроизоляционного материала, одно основание каждого цилиндра скреплено с нижней плоскостью верхней балки, а другое - с верхней плоскостью нижней балки каждой пары, в зазорах между свободными концами пары консольных балок закреплены вставки, а на конце передающего штока - диск из твердого электроизоляционного материала, касающийся свободных концов всех верхних балок, каждая верхняя балка, с первой до предпоследней пары, соединена металлическим проводником с нижней балкой соседней последующей пары, а металлический проводник, соединенный с нижней балкой первой пары, и металлический проводник, соединенный с верхней балкой последней пары, подсоединены к выходным клеммам преобразователя давления.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для использования в океанологии и может быть использовано в других областях. Предложена модификация гидростатического способа для измерения локальной плотности жидкости непосредственно в среде с высоким внешним давлением, например в море на глубине с помощью океанологического зонда.

Группа изобретений относится к измерительной технике и может быть использована для измерения давления жидких и газообразных сред. Способ измерения давления с коррекцией динамической погрешности измерения заключается в размещении сенсора давления в исследуемой среде, измерении температуры сенсора давления, регистрации выходного сигнала сенсора давления и сигнала, соответствующего температуре сенсора давления, вычислении коэффициентов коррекции нелинейности и температурной зависимости сенсора давления, записи этих коэффициентов в постоянное запоминающее устройство.

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к полупроводниковым преобразователям давления, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных датчиков малых давлений. Сущность: полупроводниковый преобразователь давления содержит жесткозащемленную кремниевую мембрану, профиль сечения которой представляет собой сочетание широких и узких участков, расположенных симметрично относительно вертикальной оси сечения, отношение ширины участков составляет 3,6:1, а координата точки сопряжения участков определяется соотношением Y = 0,567 R, где R – радиус мембраны.

Изобретение относится к машиностроению и измерительной технике, является техническим решением безотказной работы датчиков физических величин в условиях высокого давления и газодинамического удара. Рабочая система коррекции космического аппарата с полностью вырабатываемыми из бака высокого давления остатками рабочего тела-газа (РТГ) включает бак высокого давления с РТГ, рабочие магистрали, КИПиА, исполнительный рабочий орган, пневмобаллон, выполненный из материала с упругими свойствами, расположенный в полости бака, устройства защиты датчиков температуры, датчиков высокого и низкого давлений РТГ от ударной волны в магистралях.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено при измерениях следующих физических величин: давления, ускорения, виброперемещений, тензонагрузок, действующих на элементы механизмов. Предлагаемый тензопреобразователь мостового типа, в котором за счет переключения тензорезисторов одного из полумостов полного тензомоста и синхронно с этим переключения двух регистров, в которых хранится информация о измерении в двух соседних полупериодах коммутации, исключается температурная погрешность и не требуется определение температуры моста.

Изобретение относится к измерительным приборам в области микросистемной техники. Датчик давления содержит корпус, чувствительный элемент, мембрана которого расположена на опорном кристалле, в котором выполнено сквозное отверстие и гермокомпенсационные элементы.

Изобретение относится к области измерительной техники и промышленной электроники и служит для измерения давлений на поверхности изделий дренажным методом. Предлагаемый преобразователь давления многоканальный содержит блок из 32 (возможно другое количество) кремниевых датчиков давления, блок пассивной компенсации температурной погрешности и начального разбаланса датчиков давления, мультиплексор сигналов измерительных элементов, блок управления мультиплексором от микроконтроллера, измерительный усилитель, аналого-цифровой преобразователь, микроконтроллер, термостабилизатор преобразователя, включающий датчик температуры, управляемые нагревательные элементы, равномерно распределенные по всей площади теплопроводящей рамки, ПИ-регулятор температуры, формирователь напряжений питания элементов преобразователя.

Изобретение относится к области измерительной техники и промышленной электроники и служит для измерения давлений на поверхности изделий дренажным методом. Предлагаемый преобразователь давления многоканальный содержит блок из 32 (возможно другое количество) кремниевых датчиков давления, блок пассивной компенсации температурной погрешности и начального разбаланса датчиков давления, мультиплексор сигналов измерительных элементов, блок управления мультиплексором от микроконтроллера, измерительный усилитель, аналого-цифровой преобразователь, микроконтроллер, термостабилизатор преобразователя, включающий датчик температуры, управляемые нагревательные элементы, равномерно распределенные по всей площади теплопроводящей рамки, ПИ-регулятор температуры, формирователь напряжений питания элементов преобразователя.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тензорезисторных преобразователей давления. В интеллектуальный преобразователь введен узел, отвечающий за динамическую коррекцию установочных параметров на основе измеряемого преобразователем давления.

Использование: для контроля и (или) измерения давления жидкостей и газов. Сущность изобретения заключается в том, что интегральный преобразователь давления содержит кремниевый кристалл n-типа проводимости с плоской рабочей поверхностью и тонкой квадратной мембраной в центре кристалла с обратной стороны, на рабочей поверхности кристалла сформированы радиальные тензорезисторы р-типа проводимости, соединенные с помощью металлической электрической разводки в мостовую схему, на поверхности мембраны с обратной стороны кристалла методом анизотропного травления сформирован квадратный жесткий центр, по периметру мембраны и жесткого центра с рабочей стороны кристалла выполнены одинаковые по форме и размерам тензорезисторы, соединенные попарно, образуя четыре полумоста, с возможностью выбора идентичных рабочих тензорезисторов для настройки температурных уходов выходного сигнала, на рабочей поверхности кристалла вне зоны мембраны выполнены гальванически развязанные три группы сопротивлений из последовательно соединенных резисторов, с возможностью выборки номинала сопротивления для настройки выходных сигналов, четыре последовательно соединенные терморезистора расположены на одинаковом расстоянии друг от друга по периметру рабочей поверхности кристалла.
Наверх