Газоразрядная лампа
О П И С А Н И Е 283405
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскиз
Социалистическими
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 21.V11,1969 (¹ 1348653 24-7) Кл. 21f, 82/01 с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
MHIg Н 01 61/90
УД1 621 327.5,032.769:
:771.448.6 (088.8) Опубликовано 06.Х.1970, Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 16.XII.1970
1тд ;т" г":.,"„:с,, ",, " ". :...
E. А. Недзвецкий, В. В. Сысун и Э. Ц. Саврушев, I
Авторы изобретения
Заявитель
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЛАМПА
Изобретение относится к газоразрядным приборам, в частности к газоразрядным лампам, предназначенным для получения многократных световых вспышек и используемым главным образом для осуществления фотохимических реакций в фотолитографии, либо для создания локальных температурных полей в технологии производства тонкопленочных схем и интегральных микроузлов.
Для этих целей обычно используются ртутные шаровые лампы с короткой дугой, хотя лампы и имеют сравнительно высокую яркость и повышенную. долю ультрафиолета в излучении.
Однако в применении к процессам фотолитографии им присущ ряд недостатков. В частности, поскольку они эксплуатируются только в режиме постоянного горения, то требуют применения автоматических затворов для установки экспозиции облучаемого объекта.
Известны также ксеноновые газоразрядные лампы с дугой, стабилизированной стенками колбы, выполненные в виде трубки, свернутой в цилиндрическую пространственную спираль, витки которой соприкасаются между собой.
Преимущество лампы такой конструкции заключается в том, что она, имея увеличенную длину разрядного промежутка, питается от высоковольтного источника (4 кв), что позволяет значительно повысить подводимую к разряду энергию.
Однако лампа имеет существенные недостатки, которые заключаются в том, что тело
5 свечения ее имеет форму полого цилиндра, что затрудняет получение направленного пучка света без применения специальных отражателей, понижающих к.п.д. использования излучения, а также усложняющих светоопти10 ческое устройство, и что лампа имеет большую собственную индуктивность.
Этп недостатки пе позволяют эффективно использовать указанную лампу для фотоэкс15 поппрования фоторезистивных слоев.
Целью изобретения является создание импульсного источника света с плоской излучающей поверхносгью, удобного для монта ка в пгроболическом отражателе и получения на20 правленного светового потока. Этот прибор отличается низкой собственной индуктпвностью, высоким напряжением самопробоя, равномерным радиальным распределением плотности излучения по большой площади и
25 повышенным сроком службы, Эта цель достигается тем, что газоразрядпая лампа выполнена в виде изогнутой в архимедову спираль разрядной трубки, витки которой примыкают один к другому и распо30 ложены в одной плоскости. Электродные узлы
283405
Предмет изобретения
Составитель Jl. О. СольЦ
Техред Т. П. Курилко Корректор Т. А. Абрамова
Редактор В, В. Фельдман
3 аказ 3588/7 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )1(-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 смонтированы в начале и в конце указаш1ой спирали перпендикулярно ее плоскости.
Это позволяет вместе с тем значительно уменьшить собственную индуктивность лампы по сравнению с индуктивностью лампы, выполненной в виде пространственной спирали с той же длннои разрядного промежутка.
Этим обеспечивается существенное снижение длительности вспышки прн эксплуатации в одном и том же разрядном контуре и соответственно повышение выхода ультрафиолетового излучения.
На фиг. 1 представлена предлагаемая газоразрядная лампа, вид спереди (часть колбы вскрыта и показан центральный электродный узел); на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1.
Лампа представляет собой свернутую в плоскую архимедову спираль трубчатую разрядную колбу 1, выполненную из плавленного кварцевого стекла или пз другого оптически прозрачного материала с внутренним д1!аыет ром трубки 6,5 н1л1, наполненной ксепоном до давления 200 л.11 рт. ст. В начале и в конце указанной спирали, перпендикулярно ее плоскости смонтированы ножки 2, в которых размещены центральный 8 и концевой 4 электродпые узлы соответственно, каждый из которых содержит герметичный токоввод в виде полого коварового держателя 5, вакуумплотно соединенного с ножкой колбы, и электрод б из тарированного вольфрама, Витки архимедовой спирали, образующей разрядную колбу, расположены в одной плоскости и примыкают один к другому, обеспечивая в процессе работы лампы образование единой излучающей поверхности с равномерным радиальным распределением плотности излучения за счет свечения стабилизирующих плазму стенок 7 кварцевой трубки.
Газоразрядная лампа, выполненная в виде изогнутой в спираль газоразрядной трубки, витки которой примыкают один к другому и в концы который введены электродные узлы, отлича оцался тем, что, с целью получения плоской излучающей повер гности большой площади с равномерным радиальным распределением плотности излучения, указанная трубка изогнута в архимедову спираль, витки которой расположены в одной плоскости.
