Устройство для нанесения токопроводящего покрытия
О и и с А" н- М вЂ” В
И ЗО БР ЕТЕ Н ИЯ
28662!
Сояз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 15Л т .1969 (№ 1322590/26-9) с присоединением заявки ¹â€”
П риорптет—
Опубликовано 10.Х1.1970. Бюллетень Л" 34
Кл. 21с, 54/05
Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете 1т1ииистров
СССР
М ПК Н 01с 1/02
УДК 621.396.692 (088,8) Дата опубликования описания 4Л 1.1971
Авторы изобретения Ю. А. Стрелков, Ф. M. Саваленков, Г. Г. Петухов и А, Н. Артемов
Зая,в,итель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ
ТОI(OП РОВОДЯ1ЦЕГО ПОКРЫТИЯ
Предлягаемос изобретение относится к устройствам для нанесения металлического токопроводящего покрытия на основания резисторов безвакуумным способом.
Известны устройства для нанесения токопроводящего покрытия на основания резисторов путем термического разложения металлооргянических соединений, содержащие вакуумныс камеры, в которых вещества испаряются и осаждаются на основания резисторов.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, ITo оно снабжено дополнительHoII термостатированной камерой для испаряемого вещества, выход которой соединен с камерой разлагаемого вещества, сооощаемой с камерой металлизации посредством обогреваемого змеевика.
Благодаря этому улучшаются стабильность и управляемость процесса.
На чертеже схематично показано предлагаемое устройство.
Устройство состоит из испарителя 1 с испаряемым веществом (растворителем), например бензолом СбНе, помещенного в термостат 2 с нагревателем 8; генератора 4, выполненного в виде барботера, насадочной колонки или скруббера с разлагаемым веществом, например бисэтилбензолхромом (СейвСоЯ;,) Cr, снабженного клапаном 5 для регулирования расхода смеси паров пспаряемого и разлагаемого веществ и имеющего наружный подогрев; камеры металлизации 6 с основаниями резисторов 7, помещенной в тер5 мостат 8 с нагревателем 9 и охлаждаемой 10вт шкп 10.
Испаритель 1, генератор 4 и камера металлизации б соединены трубопроводямн 11 и 12, )С имеющими трубки И и 14 для наружного подогрева с целью исключения конденсации паров на внутренних стенках трубопроводов. Камера металлизацип 6 соединена трубопроводом 15 с охлаждаемой ловушкой 10.
15 Работает устройство следующим образом.
Пары растворителя из испарптеля 1 поступают по трубопроводу 11 в генератор 4, в котором создается двухкомпонентняя газовая смесь бензола с бпсэтилбензолхромом, ня20 пример, барботированием — перегретыс пары бензоля «захватывают» молекулы бисэтилбензолхрома.
По трубопроводу 12 полученная газовая смесь направляется в камеру металлизации б, 25 в которой хром осаждается ня основания рсзисторов 7, предварительно нагретых до температуры термического распада разлагаемого вещества (320 — 450 С). Продукты разложения и непрореагцровавшие вещества поступа3О ют в охлаждаемую ловушку 10.
286021
Прсдме r изобретения
/ /2
Составитель Л. Руоинчик
Тскрсд Л. В. Куклина Корректор В. И. Жолудева
Ре..<актор Т, 3. Орловская
Заказ 8112 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делал изобретений и открытий при Совете Мин астров СССР
Москва, 7К-35, Раушскаи наб., д. 4/5
Областная типография Костромского управления по печати
Устройство для нанесения токопроводящеТо покрывия на основания резисторов путем термического разложения металлизирующих веществ, содержащее камеру. для разлагаемого вещества, камеру металлизации, расположенную в термостате и соединенную с охлаждаемой ловушкой, отличаюшееся тем, что, с целью улучшения стабильности и управляемости процесса, оно снабжено дополнительной термостатированной камерой для испаряемоБ го вещества, выход которой соединен с камерой разлагаемого вещества, сообщаемой с камерой металлизации посредством обогреваем ого з м ее вика.
