Способ измерения эффективного времени

 

О П И С А Н И Е 3065I2

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскик

Социалистических

Реслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ЗО.Ч11.1966 (№ 1093793/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11 VI,1971. Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования описания 21 VII.1971

МПК Н Oll 7/00

G 01r 29/00

Комитет по делам изобретений и открытий ори Соеете Министров

СССР

УДК 621.382:621.317.799 (088.8) Авторы изобретения

М. Э. Кричевский и Н. Х. Арцис

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭФФЕКТИ ВНОГО ВРЕМЕНИ

)КИЗНИ НЕОСНОВНЪ|Х НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В р-п-ПЕРЕХОДЕ

ПОЛ УПРО ВОДН И КОВОГО ПРИ БОРА

Предмет изобретения

Изобретение относится к способам измерения физических параметров полупроводниковых приборов.

Известные способы измерения эффективного времени жизни -. неосновпых носителей заряда в базе полупроводникового диода основаны или на переключении диода прямоугольным импульсом из проводящего состояния в непроводящее или на наложении малого переменного сигнала и измерении импеданса.

Основные недостатки этих способов заключаются в том, что они применимы при ограниченном диапазоне значений т; на результаты измерений влияют собственная емкость диода и диододержателя.

Кроме того, посредством этих способов определяют значение эффективного времени жизни для одного фиксированного значения уровня инжекции, в то время как во многих случаях целесообразно получать среднее значение т при различных уровнях инжекций.

Цель изобретения заключается в повышении точности измерения за счет исключения влияния собственной емкости и обратного сопротивления измеряемого р-п-перехода.

Для этого, согласно предложенному способу, определяют частоту, при которой извлеченный заряд имеет максимальное значение.

Испытуемый диод устанавливают в схему однофазного однополупериодного выпрямления с активной нагрузкой. Питание схемы осуществляется от источника с изменяющейся частотой выходного напряжения. При различных значениях частоты определяется величина заряда диода при его переключении с прямого направления на обратное. По полученным значениям заряда находят частоту, прп которой извлеченный заряд имеет максимальную величину. По найденной частоте определяют эффективное время жизни неосновных носителей заряда как величину, обратную угловой частоте.

Способ измерения эффективного времени жизни неосновпых носителей заряда в р-ипереходе полупроводникового прибора по величине извлеченного заряда, от.ш«атоатийая тем, что, с целью повышения точности измерения за счет исключения влияния собственной емкости и обратного сопротивления измеряемого p-u-перехода, на переход подают ток синусопдальной формы, частоту которого после25 довательно изменяют до достижения извлеченным зарядом своего максимального значения, и далее по полученному значению частоты определяют эффективное время жизни неосновных носителей заряда как величину, 30 обратную этой частоте.

Способ измерения эффективного времени 

 

Похожие патенты:

Тиристор // 252482

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх