Способ получения покрытий
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТ-ЕН ИЯ
-, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3!8065
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое .от авт, свидетельства №
МПК Н 01Ь 19/04
Заявлено 23Л1!.1970 (№ 1417245/24-7) Приоритет
Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 23.ХП.1971
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.794.795(088.8) Авторы изобретения
Б. П. Крыжановский и Б. М. Круглов
Заявитель фД И1Я- „р.j,">1 Х RAi
@ИБДИО ° Ет
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИИ с присоединением заявки №
Известны способы изготовления электропроводящих покрытий путем одновременного вакуумного испарения и последующего осаждения на покрываемую поверхность окисладиэлектрика и металла или другого проводящего вещества (например, силицида).
Недостатком известного способа является сложность контролирования соотношения концентраций, составляющих композицию компонентов; достаточно сложной является и аппа- 1р ратура, необходимая для осуществления известного способа.
Предлагаемый способ получения электропроводящих покрытий позволяет достаточно точно контролировать состав, и, следовательно, и свойства покрытия, и не требует сложной аппаратуры для его реализации.
Способ заключается в том, что на покрываемую поверхность, преимущественно диэлектрика (плавленый кварц, керамика и 2р т. п.) вначале наносят слой из смеси двух или нескольких окислов путем гидролиза смеси легкогидролизующихся соединений, растворенных в спирте или другом летучем рас-творителе. При этом одни соединения образу-, 25 ют окислы, устойчивые- к" действию карбидизирующего реагента, другие — окислы, дающие в результате. этого, действия карбид- ме-.. " талла. Науглероживание при соответствующих температурах ведет к образованию про- зр
2 ( водящего слоя, состоящего из микрокомпози-, ции окисла-диэлектрика и карбида металла.
В качестве карбидизирующего реагента могут применяться различные углеводороды, например метан, пропан и т. п.
Как известно, карбиды металлов являются металлоподобными соединениями и обладают высокой электропроводностью. Поэтому содержание карбида в микрокомпозиции определяет величину электропроводности покрытия. Состав и, тем самым, электрические и оптические свойства, покрытия определяются его толщиной (0,01 — 0,5 мкм) и соотноше- нием концентраций гидролизующихся соединений в исходном растворителе.
Покрытия из окисла-диэлектрика и карбида металла, например, могут быть получены из растворенного в этиловом спирте этилового эфира ортокремниевой кислоты и пятихло-, ристого молибдена известным методом «Химического просветления» с последующей карбидизацией покрытия в атмосфере пропана, при 700 †8 С.
Предлагаемым способом можно получать также проводящие покрытия с составом: двуокись кремния — карбид вольфрама, двуокись титана — карбид молибдена и т. п.
Удельная поверхностная электропроводность покрытий, полученных предлагаемым способом, может в зависимости от толщины
318065
Предмет изобретения
Составитель В. Бондаренко
Редактор В. В. Фельдман Техред Л. В, Куклина Корректоры: Е, Н. Зимина и Л. В. Орлова
Заказ 3475/5 Изд. № 1463 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, K-35, Раушская наб., д, 4(5
Типография, пр. Сапунова, 2 покрытия и содержания карбида металла лежать в пределах 10- — 10 — 1 ом — . Светопропускание при этом составляет 5 — 70%.
1. Способ получения покрытий путем карбидизации, отличающийся тем, что, с целью получения покрытий с регулируемыми характеристиками электропроводности на поверхности нагревостойких диэлектриков, на покрываемую поверхность наносят композицию из нескольких окислов-диэлектриков, одни из которых устойчивы к действию карбидизиру5 ющего реагента, а другие образуют карбид металла.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что композицию окислов получают путем гидролиза смеси легкогидролизующихся соедине10 ний на покрываемой поверхности.
