Устройство для нанесения пленок катодным распылением
ОП ИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
33638l
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 05.1Х.1969 (№ 1362575/22-1) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубл||ковано 21 1V.1972. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания 14.Х1.1972
М. Кл. С 23с 13/08
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.14.002..52 (088.8) Авторы изобретения
Б. А. Александров, И. А. Радванский, С. В. Шалимов и В. В. Квасников
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК
КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известно устройство для нанесения плеli0K катодньв| распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель.
Однако, известное устройство не обеспечивает требуемую равномерность толщины напыленного слоя покрытия.
Целью изобретения является повышение равномерности толщины пленок.
Эта цель достигается тем, что в предложенном устройстве катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра.
На чертеже показано предложенное устройство.
Устройство состоит из газоразрядной камеры 1, внутри которой размещены катод 2, анод 8 и подложкодержатель 4. Катод выполнен в виде плоских соосных с подложкодержателем колец разного диаметра. Катод соединен с минусом источника постоянного напряжения, плюс которого подключен к аноду, которым служат стенки и основание газоразрядной камеры. Натекатель 5 служит для напуска рабочего газа в камеру.
В газоразрядной камере создают давление, не выше 1. 10 мм рт. ст. Через натекатель путем напуска рабочего газа, в данном случае аргона, давление повышают до (1.—;8) 10 - мм рТ. ст. К распыляемому катоду прикладывают потенциал — (2 — 6) кв.
Положительные ионы аргона ускоряются по5 тенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые атомы материала катода осаждаются на подложках б.
Выполняя распыляемый катод нз плоских колец различного диаметра и располагая этн
10 кольца на одной оси с подложкодержателем на различном расстоянии от него, можно орректировать толщину напыляемых пленок на площади, сравнимой с площадью катода, вследствие того, что можно регулировать
15 распыление каждого кольца в отдельности.
Распыление каждого кольца в направлении к центральной части подложкодержателя будет монотонно уменьшаться, так как расстояние от колец до подложкодержателя в направлении к центру подложкодержателя уменьшается, вследствие чего уменьшается ионная бомбардировка колец в направлении к центральной части подложкодержателя.
Два эффекта — граничная потеря распыленного материала и монотонное уменьшение ионной бомбардировки катода в направлении к центральной его части — дают равномерную толщину пленки на площади, сравнимой с площадью катода.
336381
Предмет изобретения
Составитель И. Резник
Техред Е. Борисова
Корректоры Л. Новожилова и О. Тюрина
Редактор М. Макарова
Заказ 216/982 Изд. № 591 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»
Устройство для нанесения пленок катодным распылением, содержащее газоразрядную камеру, внутри которой размещены катод, анод и подложкодержатель, отличаюи4ееся тем, что, с целью повышения равномерности толщины пленок, катод выполнен в виде плоскик соосных с подложкодержателем
5 колец разного диаметра,
