Патент ссср 337153

 

О П И С А Н И Е 337!53

Союз Советских

Социалистичесинх

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 24.IX.1970 (X 1477423/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.V.1972. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 7Х1.1972

МПК В 06Ь 1/00

Н 04r 17/00

Комитет по делам изобретений и OTMpblTHA прн Совете Министров

СССР

УДК 681.8.534.232 (088.8) -. ОЮЗМ Я

Авторы изобретения

А. И. Морозов, М. А. Земляницын и А. Д. Гингис

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Заявитель

ЭЛ ЕКТРОА КУСТ ИЧ ЕСКИ Й П Р ЕОБРАЗО ВАТЕЛЬ

ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН

Изобретение относится к технике возбуждения и приема ультразвуковых,поверхностных упругих волн и может быть использовано в физических исследованиях и для ряда практических применений, например в ультразвуковых линиях задержки и в устройствах дефектоскоп и и.

Известный метод возбуждения и приема поверхностных ультразвуковых волн с помощью клиновидяого звукопровода с укрепленным на нем пьезоэлементом характеризуется невысоким дна назоном рабочих частот и значительными потерями в промежуточных слоях преобразователя.

Цель изобретения — расширение диапазона рабочих частот и упрощение конструкции.

Для этого в предлагаемом устройстве клиновидный звукопровод выполнен из низкоомного льезополупроводникового монокристалла, ориентированного относительно кристаллографических осей, на наклонной плоскости которого создан, например эпитаксиальным наращиванием, высокоомный слой.

Иопользован не пьезополупроводниковой интегральной,структуры, в которой преобразователь создан непосредственно в материале клина, позволяет уменьшить потери преобразования и повысить диапазон рабочих частот за счет полного согласования пьезопреобразователя с клином, отсутствия промежуточного слоя на границе преобразователь — клин, большой величины константы электромеханичес5 кой связи и малого затухания ультразвуковых волн в монокристаллическом клине.

На чертеже изображен предлагаемый преобразователь.

10 Устройство содержит призму 1 из низкоомного пьезополупроводникового монокристалла, высокоомный,пьезопреобразующий слой

2, контактный электрод 3 к высокоомному слою, выводы 4 и 5 для подключения (съема)

15 радиочастотного поля, металлическое звукопоглощающее .покрытие б (омический контакт), вьгстул 7 для,поджатия .призмы к звукопроводу, дополнительные боковые омические электроды 8, рабочую плоскость 9, приле20 гающую к звукопроводу. (Вверху слева показаны направления кристаллографических осей в призме).

Преобразователь работает следующим об25 разом.

При приложении высокочастотного электрического напряжения к выводам 4 и б, вследствие большого сопротивления слоя 2, все напряжение, практически падает на этом слое, 30 который начинает работать как обычный по337153

Предмет изобретен и я

Составитель Г. Терехова

Техред A. Камышникова

Корректор Е. Зимина

Редактор Т. Иванова

Заказ 1545/9 Изд. № 684 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 луволновой пьезопреобразователь. Возникающая при этом объемная ультраззуковая волна падает .под углом О полного внутреннего отражения на грань плоскости 9, имеющую акустический контакт со звукопроводом, вследствие чего по поверхности звукочровода распространяется упругая поверхностная волна. Для ликвидации нежелательных отражений объемной ультразвуковой волны внутри клина, нерабочая плоскость покрыта толстым звукопоглощающим покрытием 6, например слоем индия, а для уменьшения электрических потерь электроды 8 нанесены также и на боковые поверхности клина, Электроакустический преобразователь поверхностных волн, содержащий клиновидный

5 звукопровод с укрепленным на нем пьезоэлементом, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона рабочих частот и упрощения конструкции, в нем клиновидный звуко,провод выполнен из низкоомного пьезополу10 проводникового MoHQKpHOTBJIJIB, ориентиро ванного относительно кристаллографических осей, на наклонной плоскости которого созда и, на при мер, э питаксиалынь1м нара щиванием высокоомный слой, служащий полуволно15 вым пьезопреобразователем.