Патент ссср 342101

 

342101

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зави|симое от авт. свидетельства №

М. Кл. G Oln 1/28

Заявлено 17.111 1970 (№ 1414874/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14.VI.1972. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 4Х11,1972

Комитет по делаМ изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621 923 02(088 8) Авторы изобретения

Н. H. Беспутииа и Г. Я. Шевченко

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ШЛИФА

1, Изобретение относится к методам контроля толпви ны мипсрослоев и может быть использовано в различных областях, в частности, для контроля п олупроводнико в.

Известна уэстаHQIBKB, состоящая из инстру,мента в,виде шара, пневмопри вода для разгона шара .и устройства для крепления оорабатываемой пластины. Известная установка позволяет получать,шлиф только шаро вой форумы 1вращения. Кроме того полученный шлиф нв обеспечивает контроль поBepxlHîcòных слоев глуб1и|ной менее 1 мкм.

Целью на стоящего изобретения я вляегся получение шл ифо в, обе спечи вающи х большую точнокть BBMeIpa, обеспечение контроля толщины микро слоев разликвных материалов и толщ ины. нарушенных слоев, а также у|прощение копсструкции установки и повыше ние ее тсроизводптельности.

В предлагаемой у ста новке инструмент для получения шли фа |выполнен в в яре диска с торцо|вой поверх костью формы т|ела вращения (шаровой, цили ндричес кой и т. п.). Диск укреплен на оси вращения, которая приво дит ся в движение от электуодви гателя. Возможно осуществить при вод нескольких дис ков от одного электродвигателя, что значительно по выдает произ водит ельность установки. Это обеспечивает большую точность замера, у прощает

KoIHIcTpgкцию установки и повышает ее производительноcTb. У стройство для крепления о б рабатываемой пластины вы полне но плавающиы, что,повьвша ет точность |получаемого щли,фа.

На чертеже изображена предлагаемая установка в двух проекциях.

У становка для получения шлнфа формы гела вращения включает шпиндель 1, состоящий из трех инструментов в виде ди сков со сферической поверхностью, за крепленных на одной оси, уcTpoHcTIBQ для крепления обра батываемой пластины 2, при водное во вращение от электродвигателя постоянного тока 3 и

15 гран сфо рматора 4.

YIc TBновка р Bi6oITB8T следующим обр азом.

Столики с пластина|м и о пускаются на диски шпиндел я 1. Пластина крепится с вободно, поэтому она может касаться диска. На сфе20 рическую по|верхность предварительно нано ят слой абразивной пасты или шаржируют ее алмазным порошком. При включении устзHoIaIKH в сеть дискам сообщается необходимая скорость вращения (до 850 об|мин). Матери2 ал дисконов — инструментальная сталь, медь марки Nl или дерево.

Предлагаемая установка служит для измерения микрословв глубиной 0,6 л км и менее (диффуэио нные сло|и, нартшенные) .

30 Для возможности замера слоев 0,5 мкл и

З4Ла1

Предмет изобретения

Составитель В. Хацернова

Техред 3. Тараненко

Редактор С. Титова

Корректор Т. Вабакина

Заказ 2018/15 Изд. № 856 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мин|истров СССР

Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4i5

Типография, пр. Сапунова, 2 менее диаметр инструмента по пове рх носты формы вращения принят более 452,4 мм.

Установка рдля получения шлифа формы тела вращения, содержащая иHlcTpgмент для получения шлифа,,п ри во д,инструмента и держатель с обрабатываемой пластиной, отлияаюи аяся тем, что, с целью получен ни шлифо1в, о беопечи вающ их большую точность замера, упрощения,конструкциями уста нонки и повьвшения ее лрюиз водительностиь инструмент для получения шли фа вы полнен в виде диска с торцовой поверхностью форумы тела вращения, укрепленного на оси привода, и держатель с обрабатываемой пласпиной укреплен свободно по отношению к диску.