Датчик температуры•:ут~нд
347594
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскнл
Социалистнческик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 04.111.1970 (№ 1407445/18-10) М. Кл. G 01k 7/22 с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 10.VI I I.1972. Бюллетень № 24
Дата опубликования описания 04.IX.1972
УДК 536.531(088.8) Авторы изобретения В. Ф. Карманов, А. В. Сандулова, А. И. Кривоносов, И. А. Кругликов, И. П. Богоявленская и Э. А. Спичак
Заявитель Опытно-экспериментальный школьный завод
ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ
Изобретение относится к тепловым измерениям.
Известные приборы для измерения температуры, содержащие поликристаллические полупроводниковые чувствительные элементы на основе окислов, характеризуются недостаточными чувствительностью, воспроизводимостью, стабильностью, точностью и ограниченным температурным диапазоном.
Предлагаемый датчик не имеет этих недостатков и отличается от известных тем, что его чувствительный элемент выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей 3 10>з—
5 10т ато»к/ с.»з.
Монокристаллические иглы и нити кремния получают по методу газотранспортных реакций (крпсталлизацией из газовой фазы с помощью компонента — растворителя) . Этот метод позволяет получить монокристаллы кремния более высокой чистоты по сравнению с исходным материалом, и в зависимости от технологических условий монокристаллы кремния различных диаметров и длин. Монокристаллы
«рсмния, полученные этим методом, имеют форму правильного шестигранника, обладают зеркальной поверхностью, лишенной поверхпостных дефектов, и не требуют дополнительной механической обработки.
Малые габариты датчика (база 2 — 10 .и,», диаметр 40 — 100 ли») улучшают динамические
5 свойства датчика. Эти датчики отличаются высоким сопротивлением (от 500 опт до 10 ко.»), концентрация примесей при этом соответственно будет равна 3. 10тз — 5 10т атом/с,»т.
Область рабочих температур составляет
10 †1 — +600 С, чувствительность — примерно в пределах О,б — бп п на градус. Допустимые токи для кремния 0,1 — 1,0 з»а.
Принципиально возможно получение монокристаллпчсскнх нитей диаметром до 1 .»и. т5 Сопротивление прибора может составлять несколько десят!.ОВ килоом и оолее.
П редм ет изобретения
Датчик температуры, содержащий полупро20 водниковый термочувствительный элемент н выводы, orëè÷oþùèéñÿ тем, что, с целью повышения чувствительности, воспроизводимости, стабильности, точности, а также с целью расширения температурного диапазона, термо25 чувствительный элемент датчика выполнен в виде монокристалла кремния нитевидной и игольчатой формы с концентрацией примесей
3 10» — 5 ° 10тз атом(с.»>.