Способ получения вакуумноплотного соединения металл —полупроводник
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
35I266
Соьъ Соаетскиа
Сопиалистинеснив
Респуолин
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 28.XI I.1970 (Л" 1608601/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 1 ЗЛХ.1972. Бюллетень N 27
Дата опубликования описания 25.IX.1972
М. Кл. Н OIL 1/10
Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621 382(088.8), Автор изобретения
В. М. Рюмшин
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМНОПЛОТНОГО СОЕДИНЕНИЯ
МЕТАЛЛ вЂ” ПОЛУПРОВОДНИК
Предмет изобретения
Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и может быть использовано для получения вакуумноплотных паяных соединений полупроводников с металлами, надежно работающих в условиях повышенных температур.
Дальнейшее повышение мощности газовых квантовых генераторов, работающих в ИК-ооласти спектра в значительной мере сдерживается технологическими трудностями, связанными с получением вакуумноплотных паяных соединений выходного окна (например, в германии) с металлической (например, коваровой) оправой, выдерживающих нагрев до
250 †3 С.
Известные припои обеспечивают устойчивую работу приборов лишь при температуре не более 60 — 70 С. При использовании известных пластичных тугоплавких припоев на основе свинца и кадмия образующиеся паяные соединения германий — ковар не отвечают требованиям эксплуатации по вакуумной плотности.
Трудности получения вакуумноплотных паяных соединений связаны с тем, что скорость взаимодействия этих припоев с германием значительно превышает их скорость взаимодействия с коваром. В результате имеет место сильное проплавление германия и локальное смачивание ковара.
Цель изобретения — выравнивание скорости взаимодействия припоя с паяемыми материалами, коваром и германием, и обеспечение условий фронтального смачпвания коварового корпуса, т. е. снижение температуры пайки и увеличение надежности.
Цель достигается тем, что по предлагаемому способу коваровый корпус по месту спая облуживают тонким слоем индия, а в качестве припоя используют чистый свинец илп припои на его основе.
Выбор пары свинец — индий объясняется тем, что в бинарной диаграмме состояния этих металлов со стороны свинца имеется широкая область твердых растворов, и появление легкоплавкой эвтектики в шве возможно только
15 при условии больших концентраций индия.
Спаянные таким образом узлы германий— ковар получаются вакуумноплотнымп и выдерживают нагрев до 270 — 300 С.
Изобретение позволяет в 2 — 3 раза повы20 сить мощность конструкций газовых квантовых генераторов.
25 Способ получения вакуумноплотного соединения металл — полупроводник путем пайки, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры пайки и увеличения эксплуатационной надежности, поверхность металла об30 луживают пндием с последующей пайкой свинцом.
