Патент ссср 352335

Авторы патента:

H01J9/385 - откачка баллонов

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сотоэ Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 14.Х11.1970 (№ 1498814/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 211Х.1972. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 6.Х.1972

М, Кл. Н 01j 9/38

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.3.032.94 (088.8) Автор изобретения

Ю. С. Спиридонов

Заявитель

СПОСОБ ОЧИСТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА

В ПРОЦЕССЕ ОТКАЧКИ

Изобретение относится к технологии изготовления электровакуумных и газоразрядных приборов, в частности к способам их очистки в процессе откачки.

Известен способ очистки электровакуумных и газоразрядных приборов путем ионной бомбардировки внутриламповых деталей в газовом разряде, состоящий в том, что в приборах в процессе откачки возбуждают электрический тлеющий разряд.

Недостатком известного способа является ограниченность воздействия ультразвуковой энергии на внутриламповую арматуру, например на анод, сетки, слюду, так как площадь их соприкосновения с оболочкой прибора мала.

Целью изобретения является повышение качества очистки внутриламповых поверхностей электровакуумных и других приборов в процессе их откачки.

Цель достигается тем, что прибор помещают в высокочастотное поле в диапазоне

50 кгт1 вЂ” 100 Мгт1, модулированное по амплитуде или частоте таким образом, что в плазме разряда возбуждаются ультразвуковые колебания. При амплитудной модуляции поля, питающего газоразрядную плазму, сама плазма является источником ультразвуковых волн, частота которых равна модулирующей частоте.

Поскольку ультразвуковые волны существуют как в самой плазме, так и за ее пределами, то можно удалить адсорбпрованные слои и с тех участков внутрнламповой поверхности, которые не соприкасаются с плазмой, т. е. не подвергаются электронной плп ионной бомбардировке.

Смонтированные электровакуумные приборы присоединяют к вакуумной системе и начинают эвакуацшо из Hilx воздуха плп другого газа, которым прибор был наполнен. Затем в

10 интервале давлений 100 вЂ” 10- Tof)p, определяемом конструкцией прибора, в нем возбуждается высокочастотный электрический разряд, например, путем помещения электровакуумного прибора между пластинами конденсатора, 15 подключенного к источнику высокочастотной энергии. Путем амплитудной модуляции высокочастотного поля, питающего разряд, в плазме создаются интенсивные ультразвуковые олебания. В реальных условиях напряженность

20 высокочастотного электрического поля в зависимости от конструкции обрабатываемых приборов составляет от нескольких десятков до нескольких сотен вольт на сантиметр. Несущая частота может быть равна от нескольких

25 десятков кплогерц до десятков мегагерц. Более высокие частоты применять нецелесоооразно, так как резко возрастают потери, связанные с рассеянием энергии. Частота модуляции, определяющая частоту возникающих

30 в плазме ультразвуковых волн, может менять

Мшцшышмешдябиблиотека // 337674

Способ обработки электровакуумных приборов^'^^;^:;];^ ;^лшя // 326661

Полуавтомат для откачки электровакуумныхприборов // 321871

Способ обработки электровакуумных и газоразрядных приборов // 290343

Оркачная головка // 262267

Устройство для ввода в штенгель люминесцентной лампы, через который ведется ее откачка, амальгамы // 252475

Способ поддержания вакуума в ртутных вентилях с помощью нераспыляемого геттера // 205160

Заварочно-откачной полуавтомат для сверхмини.лтюрных ламп накаливания // 200021

Автомат бесштенгельной непрерывной откачки и пайки металлокерамйческйх электровакуумныхприборов // 196206

Способ изготовления лампы высокого давления // 2094892

Изобретение относится к электротехнической промышленности, преимущественно к производству источников света

^ ^ есессоюзнля // 370676

// 400926

Устройство для откачки водородаи его изотопов // 674566

Способ изготовления электроннолучевых трубок в процессе откачки // 693464

Способ изготовления электронно-лучевой трубки // 1074299

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к технологии изготовления электровакуумных приборов с оксидным термоэмиссионным катодом

Устройство для откачки и наполнения ламп газом // 1474759

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в процессах изготовления электронных приборов, преимущественно газонаполненных ламп (Л)