Способ изготовления электронно-лучевой трубки
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ, включающий монтаж прибора с газопоглотителем, откачку, обезгаживание, отпайку и активирование катода и газопоглотителя и тренировку прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, выхода годных и срока службы, в качестве газопоглотителя используют нераспыляемый газопоглотитель, активирование которого проводят после отпайки прибора путем нагрева газопоглотителя со скоростью 40-50oС/с, до температуры 650-750oС, после чего при этой темпераутре газопоглотителя производят активирование катода.
Изобретение относится к электронной технике, в частности, к технологии изготовления электровакуумных приборов с оксидным термоэмиссионным катодом. Известен способ изготовления электровакуумного прибора (ЭВП), включающий монтаж прибора, откачку, активирование термоэмиссионного оксидного катода, отпайку и распыление газопоглотителя. ЭВП, изготовленные этим способом, обладают недостаточной стабильностью эмиссионных параметров, имеют небольшой срок службы и высокий процент браков по эмиссионным параметрам из-за отравления катода при распылении газопоглотителя. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является способ изготовления ЭВП, включающий монтаж прибора, откачку, обезгаживание, активирование катода и газопоглотителя, распыление газопоглотителя, отпайку, тренировку прибора. Перед распылением газопоглотителя прогревают катод в течение 1-5 мин до температуры, на 10-20% превышающей рабочую температуру катода, затем между катодом и по крайней мере одним из электродов подают напряжение 100-400 В, а распыление газопоглотителя производят в течение 20-60 с. Использование этого способа для изготовления ЭВП снижает уровень брака по эмиссионным и вакуумным параметрам, приводит к значительным бракам по паразитной эмиссии, недостаточной надежности и сроку службы. Целью изобретения является повышение надежности, выхода годных приборов и продление срока службы. Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления электронно-лучевой трубки, включающем монтаж прибора, откачку, активирование катода и газопоглотителя используют нераспыляемый газопоглотитель, активирование которого проводят после отпайки прибора путем нагрева газопоглотителя со скоростью 40 50оС/с до температуры 650 750оС, после чего при этой же температуре газопоглотителя производят активирование катода. Данный режим обработки позволяет получить эффективный газопоглотитель, который создает в объеме прибора низкое начальное рабочее давление и поддерживает его в течение длительного времени. При нагреве газопоглотителя со скоростью 40 50оС/с до температуры 650 750оС молекулы газов, адсорбированные на поверхности газопоглотителя, а также продукты разложения окисной пленки с высокой скоростью диффундируют вглубь кристаллической решетки газопоглотителя, освобождая его поверхность для взаимодействия с остаточной средой. Увеличение скорости разогрева газопоглотителя приводит к его спеканию и резкому ухудшению сорбционных свойств, и кроме того к интенсивному разогреву соседних деталей, что может привести к бурному газоотделению и потере жесткости конструкции прибора, уменьшение скорости разогрева газопоглотителя приводит к замедлению диффузионных процессов в нем, что ухудшает сорбционные свойства газопоглотителя. После отпайки прибора в нем создается достаточно высокий вакуум (10-4 мм рт. ст. ), в условиях которого и производится активирование газопоглотителя, при этом при нагревании до температуры активирования из него выделяется только водород, а остаточные газы сорбируются газопоглотителями со значительными скоростями, тем самым создавая оптимальные условия для активирования катода (восстановительную среду и высокий вакуум). Эти условия поддерживаются в процессе активирования катода до его окончания за счет продолжающегося прогрева газа-поглотителя при температуре активирования, что и способствует эффективному активированию катода за достаточно короткое время. После окончания активирования газопоглотителя и катода газопоглотитель, остывая, сорбирует остаточные газы, создавая в приборе высокий вакуум, что необходимо для обеспечения высокой надежности и срока службы ЭВП. Этим способом были изготовлены различные электронно-лучевые трубки. После сборки электронно-оптической системы (ЭОС) на вывод второго анода монтируют нераспыляемый титановый газопоглотитель из высокопористого материала, которого достаточно для поглощения газов, выделившихся в процессе обработки прибора. Была изготовлена электронно-лучевая трубка 6 ЛО 1И и 8 ЛО 39 по данной технологии и известным способом. При монтаже электронно-оптических систем на вывод второго анода монтировали нераспыленный высокопористый титановый газопоглотитель. После монтажа приборов производили их заварку и откачку согласно известной технологии. В процессе откачки производили предварительную активировку катода. Затем прибор отпаивали с откачного поста и производили обезгаживание и активировку газопоглотителя путем высокочастотного нагрева, со скоростью 40-50оС/с до температуры 
700оС и выдерживали газопоглотитель при этой температуре в течение 2 мин для окончательной активировки катода. Тренировку прибора вели по известной технологии. Использование изобретения позволило повысить надежность и срок службы ЭВП, а также выход годных приборов за счет снижения брака по эмиссионным и вакуумным характеристикам.
Формула изобретения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ, включающий монтаж прибора с газопоглотителем, откачку, обезгаживание, отпайку и активирование катода и газопоглотителя и тренировку прибора, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, выхода годных и срока службы, в качестве газопоглотителя используют нераспыляемый газопоглотитель, активирование которого проводят после отпайки прибора путем нагрева газопоглотителя со скоростью 40-50oС/с, до температуры 650-750oС, после чего при этой темпераутре газопоглотителя производят активирование катода.MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000
Извещение опубликовано: 27.12.2000
