Мшцшышмешдябиблиотека

 

О П И С А Н И Е 337674

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.И!1.1969 (№ 1358546, 26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05Х.1972. Бюллстснь № 15

Дата опубликования описания 31 V.1972

М. Кл. б 01/ 23/00

Н Olj 9/38

Комитет по делам изо4ретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.385.002(088.8) Авторы изобретения

А. И. Пипко, В. Я. Плисковский, И. В. Златкис и Л. Н. Шелихов

Заявитель

ВСЕСОЮЗНАЯ

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ

В ВАКУУМНОМ ОБЪЕМЕ

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению газовых потоков в вакуумных, объемах.

В известном способе определения скорости газовыделения, при котором измеряют .исходное давление, установившееся в вакуумной системе, содержащей исследуемый объем, вентиль и датчик давления, имеет место малая чувствительность измерений.

По предлагаемому с!пособу, с целью повышения чувствительности измерений, участок вакуумной системы с датчиком давления непрерьгвно QTIKà÷èBàþò, интегрируя выходной сигнал датчика.

На фиг. 1 предста!влена !принципиальная блок-схема поста откачки электровакуумного прибора; на фиг. 2 показана динамика изиенения давления в вакуумной системе (точки

А и В соот!ветству!от началу закрытия и открытия выcîêoâàêóóìíoãо вентиля; кривая I характеризует изменение давления,в объеме откачи!ваесмого .прибора; кривая II — изменение да влен!!я под вентилем; кривая III — изменение давления в области датчика давлеи!я) .

Пред!варптельпая опкачка вакуумного !прибора 1 (см, фиг. 1) производится через вентиль 2 и ловушку 8 насосом 4 предварительного разрежения. Высоковакуумная откачка прибора производится, насосом 5. Давление в системе измеряют !датчиком 5 давления, сигнал с которого поступает ла вакууметр 7, а затем — на электронный интегратор 8. Часть вакуумной системы, !включающая насос 5, 5 изолируется от исследуемого прибора 1 вентилем 9. ,При откачке, прибора в вакуумной системе устана!вливается давление Р3. При закрытии вентиля 9 на фиксированный !промежуток

10 !времени Л1 в изолированной части вакуумной системы,со стороны насоса 5 давление снижается на величину

К где Р!„„„— остаточное давление в насосе 5 при закрытом вентиле 9.

В изолированной части вакуумной системы со стороны прибора 1,в резульгате газовыделения произойдет .повышение давления на !ве20 личину 3Рмакс 4макс

При быстром от!крыти!! вентиля 9 через промежуток времени At .в системе будет наблюдаться нестационарный процесс, характеризующийся повышением давления на велич ! н y

/ 2 макс = Р2 макс

Площадь F, ограниченная кривой измене30 пня давления К<Р и горизонтальной линней, 337674 соответствующей значению остаточного да вления Р1„„„, характеризует количество газа, откачиваемого насосом 5 после закрытия вентиля 9 до установления, давления Р,„„„ .

5 Площади Р1 и F3, ограниченные,кривои из1менения давления

A3P = P3 — P3 и горизонтальной линией, соот1ветст1ву1ощей давлению Р3, характеризуют количество на- 10 топленного в течение промежутка времени

Л1 газа, откачиваемого насосом 5 IIOlcJle открытия вентиля 9. Текущая разность давлений

1 3Р— Р4 Р3 характеризует изсменение давления в объеме

1прибора 1.

Измерение скорости газовыделения производят следующим обр азом. 20

Измеряют установившиеся в системе давление Р3 датчиком 6. Затем за крывают,вентиль 9 на фиксированный промежуток времени М и, .из меряя с помощью того же датчика

6 новое устано1вившееся давление Р,„„„, опре- 25 деляют разность давления 1Рмакс — РЗ Р1мин

Одновременно, интегрируя выходной сигнал датчика 6 с,помощью электронного интегра- 30 тора 8, о1пределяют площадь F(AIP), Затем открывают вентиль 9 и с помощью датчика 6 и тото же интегратора определяют площадь

Г1(ЛЗР).

Зная объем вакуумной системы U со стороны насоса 5 до вентиля 9, искомую .величину скорости газо вы деления Q находят по уравнению

А>Рмакс F>(AzP)

At Г(Ь,P)

Предмет изобретения

Способ определения скорости газовыделения в вакуумном объеме, например,в вакуумном при боре на откачном посту, при котором из меряют исходное,давление, установившееся в вакуумной системе, содержащей исследуемый Объем, вентиль и датчик 1давления, изолируют исследуемый объем от участка с датчиком давления .на фиксиро1ванный пр омежуток времени, по истечении которого исследуемый объем подсоединяют к вакуумной системе и,повторно измеряют давление, отличаюи3ийся тем, что, с целью повышения чу1вст вительности измерений, участок вакуумной системы с датчиком давления непрерывно откачивают, интегрируя выходной сигнал Bàòчика.

337674

g)Hr.

> мин скрепи 8, сею фиг.2

Составитель В. Мирошкина

Техред T. Курилко

Редактор А. Батыгин

Корректор Л. Орлова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1414)14 Изд. № 627 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5