Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельсп;;I ¹вЂ”
Заявлено 11.Ч1,1971 (№ 1668417/26-9) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 21.XI.1972. Б1оллетень № 35
Дата опубликования описания 24.1.1973
>Ч. Кл. П Olg 3/135
Комитет по делам иао0ретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621,396.69:
: 621. 31 9.4 (088. 8) Авторы нзобрстенпя
В. С. Крикоров, В. Г. Красов, A. Д. Хромов, И. В. Танаиаев, Б. П. Джуринский и В. И. Чистова
Заявитель
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ
И",ooðåòåløå относится к тонкопленочным конденсаторам, используемым в электронной технике,при производстве гибридных интегральных схем.
Известны тонкопленочные конденсаторы системы металл-диэлектрик-металл, в которых в качестве диэлектрика используют фториды кальция, маггния н других элементов II группы периодической системы элементов. Такие конденсаторы имеют невысокую удельную емкость, низкую электрическую прочность п сравнительно большие диэлектрические потери.
В целях повышения удельной емкости и электрической прочности и снижения диэлектрических потерь в предлагаемом конденсаторе в качестве материала диэлектрика используют двойные бораты редкоземельных элементов и элементы II группы периодической системы.
Пример 1. Для изготовления тонкопленочных конденсаторов в качестве диэлектрика ислользуют двойной оорат лаптана с кальцием (1 а Саз(ВО ) ) стехиометрического состава, полученный методом высокотемпературного спекания или из расплава.
Напыление диэлектрического слоя из
1 а Саз(ВОз) < проводят методом вакуумнотермического испарения (2 10 †торр) нз резистнвного та пялового (вольфрамового) нсп»рителя при температуре испарения 1200—
1400 С н температуре подложки 150 С.
Полученный тонкопленочный конденсатор с
5 ягномпниевыми электродами имеет при толщине диэлектрика 3000 — 4000 А удельную емкость 27000 — 30000 пф/с,11-, тангенс диэлектрических потерь 0,009 — 0,01 н прооивное няпря10 жение 100 гг.
IT р и м е р 2. Для изготовления тонкопленочного конденсатора в качестве диэлектрика используют двойной борат лантана со стронцием (1 à.Sr> (ВО;) Напыление диэлектрического слоя пз двойного бор»та лантаня со стронцием производят как в примере 1. Полученньш тонкопленочный 20 конденсатор с алюминиевыми электродами о имеет при толщине диэлектрика 1100 А уде,пьную емкость 70000 г1ф/слг -, тангенс диэлектрических потерь 0,003 п проопвпое напряжение 25 g, Т а к, и м о о р а з о м, Il p e +.!I » r» I! I! >1 I I к, о н д е н с я т о р имеет сравнительно высокую удельную емкость (до 70000 ггф/слг- ) и существенно меньший тангенс диэлектрических потерь (до 30 0,003) . оЩУОБ Предмет изобретения Составитель М. Порфирова Техред 3. Тараненко Корректоры: А. Степанова и Л. Бадылал а Редактор T. Юрчикова Заказ 188 8 Изд. ¹ 1788 Тираж 406 Подписное ЦНИ1!ПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР MocI Типография, пр. Сапунова, 2 Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы»еталл-диэлектрик-металл, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной емкости и электрической прочности и снижения диэлектрических потерь, в качестве материала диэлектрика используют двойные бораты редкоземельных элементов с элсментамн 11 группы периодической системы.
