Тонкопленочный конденсатор:jceqc:vosh/'t«tili?.jtxhh'^-- •j^бл^«v^^;^^^-,
374668
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советекин
Социалистичесиил
Республик
Зависимое от авт. свидетельства М
Заявлено 11.Ч!.1971 (№ 1668418/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20.lll.1973. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 28.V.1973
М. Кл. Н Olo 3, 135
Квинтет по лелею изобретений и открытий при Сввете Министров
СССР
УДК 621.319,4:546.289 (088.8) Авторы изобретения
В. С. Крикоров, В. Г, Красов, А, Д. Хромов, И. В. Тананаев, Б, П. Джуринский и В. И. Чистова
Заявитель ю
= QE ;i 1,.,-,". . ипво. т твн (-Р, ЯИ,, .т:-.,ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР
Предмет изобретения
Изобретение относится к области технологии производства радиодеталей и может быть использовано для изготовления тонкопленочных конденсаторов гибридных интегральных схем.
Известен тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, в котором диэлектрический слой выполнен из материала, содержащего соединения бора.
В предлагаемом конденсаторе в качестве материала диэлектрического слоя используют бораты редкоземельных элементов. Это позволяет повысить удельную емкость, электрическую прочность и снизить диэлектрические потери.
Для изготовления тонкопленочных конденсаторов в качестве диэлектрика используют борат Эрбия (ErBo3) стехиометрического состава, полученный методом спекан ия или из расплава.
Напыление диэлектрического слоя из ЕгВоа тонкопленочного конденсатора, проводят методом вакуумно-термического испарения (2.10- торр) из резистивного танбалового (вольфрамового) испарителя при температуре испарения 1200 †14 С в течение
5 мин. Температура подложки при напылении 150 С.
Полученный тонкопленочный конденсатор с алюминиевыми электродами имел при тол2 о щине диэлектрика 400 †6 А удельную емкость C,. = 160.000 — 210.000 пф/см2, тангенс угла диэлектрических потерь 1д6=0,01 — 0,009 и пробивное напряжение U„ — = 15 в.
Тонкопленочный конденсатор с алюминиевыми электродами, у которого в качестве диэлектрика использован барат неодима (NdBo>), имел при толщине диэлектрика о то 800 †10 А удельную емкость С,;,=47000—
50000 пф/слР и тангенс угла диэлектрических потерь tory=0,005, пробивное напряжение
Урр = 30 в.
Таким образом, предлагаемый тонкопленочный конденсатор с диэлектриком на основе боратов редкоземельных элементов имеет по сравнению с известными конденсаторами улучшенные электрофизические характеристики: сравнительно высокую удель2р ную емкость (до 200.000 пф/см ) и существенно меньший тангенс угла диэлектрических потерь tg6 (до 0,005), при этом увеличивается воспроизводимость его параметров.
Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, в котором диэлектрический слой
30 выполнен из материала, содержащего соеди374668
4, Составитель Е. Ковалева
Техред Е. Борисова Корректор Е. Сапунова
Редактор Е. Гончар, Заказ 1441/12 Изд. № 370 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип огра фи я, и р. С а и у но в а, 2 нение бора, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной емкости, электрической прочности и снижения диэлектрических потерь, в качестве материала диэлектрического слоя используют бораты редкоземельных элементов.
