Установка для нанесения покрытий в вакууме

 

378560

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Сокиалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.Ч.1970 (№ 1434073/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 18.IV.1973. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 14Х1.1973

М. Кл. С 23с 13/10 комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Иинистров

СССР

УДК 621,793,14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

Ю, М. Медведев, А, А. Алексеев, А. И. Беляков, В. Д. Рагузин, В. Л. Лещенко и В. M. Летунов

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая колпак, внутри которого расположены барабан с деталями и испаритель, вакуумную систему и блок управления вакуумной системой, Цель изобретения — повышение надежности работы испарителя и процента выхода годных изделий, улучшение условий труда и обеспечение перемешивания деталей без существенного трения о поверхность барабана.

Для этого испаритель установлен на расположенной под барабаном каретке, на которой жестко укреплен фиксатор в виде эксцентрика, служащий для соединения токоподводящих шин и создания контактного давления, а внутренняя поверхность барабана выполнена в виде многоугольника с числом сторон не менее трех.

На фиг. 1 представлена описываемая установка, общий вид; на фиг. 2 — колпак в разрезе; на фиг. 3 — разрез по А — А на фиг. 2; на фиг. 4 — вид Б на фиг. 2; на фиг. 5 — испаритель с токоподводами.

Установка содержит колпак 1, внутри которой расположен барабан 2 с деталями и испаритель 3, вакуумную систему и блок управления вакуумной системой (на чертеже не показаны). Испаритель 3 установлен на расположенной под барабаном 2 каретке 4, на которой жест|ко закреплен фиксатор 5 в виде эксцентрика, служащий для соединения токоподводящих шин б и создания контактного движения.

Внутренняя поверхность барабана выполне5 на в виде многоугольника с числом сторон не менее трех.

Детали беспорядочно засыпают в барабан

2, который устанавливают на посадочные места, задвигают каретку, установленную на

10 планке 7, с закрепленным на ней испарителем

3 по направляющим 8 в рабочее положение (внутрь барабана). Далее эксцентриком закрепляют испаритель в рабочем положении.

При этом одновременно осуществляется под15 жим контактов 9 к контактам 10. После этого опускают колпак 1 и откачивают его до вакуума, необходимого для нанесения покрытий на детали. Затем включают привод (на чертеже не показан), расположенный снаружи колпака

20 и приводят во вращение барабан. После этого подают напряжение на испаритель и проводят процесс нанесения покрытий на детали, засыпанные навалом в барабан. В процессе нанесения покрытий барабаны должны вращаться

25 вокруг своей оси. Так как внутренняя поверхность барабана выполнена в виде многоугольника, то при вращении происходит перемешивание заготовок плавно без скольжения его по стенкам. Это позволяет наносить однород30 ные покрытия, пе приводит к износу деталей

378560 в процессе нанесения покрытий и не нарушает качество наносимого покрытия.

Предмет изобретения

Установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая колпак, внутри которого расположены барабан с деталями и испаритель, вакуумную систему и блок управления вакуумной системой, отличающаяся тем, что, с целью улучшения условий труда, повышения процента выхода годных изделий, повышения надежности работы испарителя и перемешивания деталей без существенного трения о поверхность барабана, испаритель установлен

5 на расположенной под барабаном каретке, на которой жестко укреплен фиксатор в виде эксцентрика, служащий для соединения токоподводящих шин и создания контактного давления, а внутренняя поверхность барабана

10 выполнена в виде многоугольника с числом сторон не менее трех.

378560

Редактор А. Бер

Заказ 1624/14 Изд. № 494 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4,5

Типография, п р. Сапунова, 2

Составитель А. Смирнова

Техред Л. Грачева

Корректоры: Л, Корогод и М. Коробова

Установка для нанесения покрытий в вакууме Установка для нанесения покрытий в вакууме Установка для нанесения покрытий в вакууме Установка для нанесения покрытий в вакууме 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
Наверх